保持具、保持具单元及刻划装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明是关于一种在玻璃基板等脆性材料基板的分断中，于脆性材料基板表面形成刻划线时使用的保持具、保持具单元及刻划装置。
【背景技术】
[0002]在将玻璃基板等脆性材料基板分断成所要尺寸时，一般使用刻划装置。该刻划装置，在用于保持刻划轮的保持具安装刻划轮而使用。此外，该刻划轮，借由在形成于保持具的保持部的销孔、与形成于刻划轮的侧面的贯通孔，插入圆柱状的销轴，而保持于保持部间(保持槽)。
[0003]而且，安装于保持具的刻划轮，被保持成旋转自如，借由一边在脆性材料基板的表面进行旋转一边前进，而于脆性材料基板形成刻划线。另外，作为如此般的刻划装置，例如有专利文献I中记载般的刻划装置。
[0004]专利文献1:国际专利公开W02007/063979号公报。
[0005]安装于保持具的刻划轮，如上述般为了形成刻划线而有必要在保持槽进行旋转。然而，保持槽的宽度稍微较刻划轮的厚度宽，以在刻划轮与保持部间确保有余隙(clearance)。具体而言，在刻划轮的厚度为0.65mm的情形，保持槽的宽度较其宽约0.02mm左右。如此般，借由在刻划轮与保持部间存在余隙，刻划轮被保持成旋转自如。
[0006]另一方面，因该余隙，而使刻划轮在保持槽内会沿着销轴移动0.02mm左右。因此，在形成刻划线时，刻划轮将于销轴方向移动，而使刻划线的形成位置不稳定，在现有习知的刻划装置中，导致有刻划线从所要的位置偏离的问题。
【发明内容】
[0007]本发明是有鉴于因上述的刻划轮在销轴方向移动而使刻划线的形成位置偏离的问题点而完成，其目的在于提供一种能使刻划线的形成位置稳定，不会产生从所要的位置偏离的保持具、保持具单元及刻划装置。
[0008]为了达成上述目的，本发明的保持具，具备一对保持部、及位于同轴上且分别形成于该保持部的销孔，且用于借由贯通于刻划轮的贯通孔并且插通于该销孔的销轴，而将该刻划轮呈旋转自如地保持在该保持部间，其特征在于:在保持该刻划轮时，收容沿该销轴的方向吸引该刻划轮的磁铁的收容部形成于该保持部的一方。
[0009]根据本发明的保持具，当磁性体的刻划轮被保持在保持具时，借由磁铁而将刻划轮往一侧吸引。借此，限制了因刻划轮与保持部间的余隙而使刻划轮往销轴方向移动的情况。因此，保持具能够使刻划线的形成位置稳定。
[0010]本发明的保持具，可构成为:该收容部形成于与该销孔重叠的位置。
[0011]根据该构成，由于能够借由收容于收容部的磁铁而吸引刻划轮的侧面中心，因此保持具能够使刻划轮直立。因此，保持具能够形成鲜少产生所谓裂变(偏斜)的刻划线。
[0012]此外，本发明的保持具单元，具备有:强磁性体的刻划轮、贯通于该刻划轮的贯通孔的销轴、以及保持具，该保持具是具有保持该刻划轮的一对保持部、及位于同轴上且分别形成于该保持部并且供该销轴插通的销孔，其特征在于:在该保持部的一方，收容有沿该销轴的方向吸引该刻划轮的磁铁。
[0013]根据本发明的保持具单元，由于借由磁铁而将刻划轮往一侧吸引，因此限制了因刻划轮与保持部间的余隙而使刻划轮往销轴方向移动的情况。因此，保持具单元能够使刻划线的形成位置稳定。
[0014]本发明的保持具单元，可构成为:该磁铁收容于与该销轴重叠的位置。
[0015]根据该构成，由于能够借由磁铁而吸引刻划轮的侧面中心，因此保持具单元能够使刻划轮直立。因此，保持具单元能够形成鲜少产生碎肩的刻划线。
[0016]此外，本发明的保持具单元，可构成为:该磁铁，收容于该刻划轮的侧面与该保持部重叠的位置。
[0017]根据该构成，由于能够借由磁铁而均等地吸引刻划轮的侧面与保持部重叠的区域整体，因此保持具单元能够使刻划轮确实地直立。因此，保持具单元能够形成鲜少产生裂变(偏斜)的刻划线。
[0018]此外，本发明的保持具单元，可构成为:该销轴，在该磁铁侧成为较短。
[0019]根据该构成，由于刻划轮与磁铁间的距离变近，因此保持具单元，能够使限制因刻划轮与保持部间的余隙所产生的刻划轮往销轴方向移动的情况的效果更加提高。因此，保持具单元能够使刻划线的形成位置更稳定。
[0020]此外，本发明的刻划装置，其特征在于具备上述的保持具。此外，本发明的刻划装置，其特征在于具备上述的保持具单元。
[0021 ] 根据本发明的刻划装置，能够限制因刻划轮与保持部间的余隙而使刻划轮往销轴方向移动的情况。因此，刻划装置能够使刻划线的形成位置稳定。
【附图说明】
[0022]图1是实施例1的刻划装置的概略图。
[0023]图2 (A)是实施例1的保持具单元的前视图；图2 (B)是左侧视图；图2 (C)是右侧视图；图2(D)是仰视图。
[0024]图3(A)是实施例1的保持具单元的除去止挡件后的状态的右侧视图；图3(B)是图3 (A)的IIIB-1IIB线的剖面图。
[0025]图4是表示实施例1的保持具单元的组装步骤；图4(A)是保持具单元的右侧视图；图4(B)是左侧视图;图4(C)是图4(A)的IVC-1VC线的剖面图。
[0026]图5 (A)是实施例2的保持具单元及安装有该保持具单元的保持具接头的侧视图；图5(B)是保持具单元的立体图；图5(C)是保持具单元的前视放大图。
[0027]图6 (A)是实施例3的保持具单元的侧视图；图6 (B)是图6 (A)的VIB-VIB线的剖面图。
[0028]【主要元件符号说明】
[0029]1:刻划装置10:移动台
[0030]11:滚珠螺杆12:导引轨条
[0031]13:马达14:平台
[0032]15:脆性材料基板16: CCD摄影机
[0033]17:桥架18a、18b:支柱
[0034]19:导引件20:刻划头
[0035]30、130、230:保持具单元40、140、240:刻划轮
[0036]41:贯通孔42、142、242:圆板侧面
[0037]43:刀刃50、150、250:销轴
[0038]51:尖头部60、160、260:保持具
[0039]61、161、261:保持具基体
[0040]62a、62b、l62a、l62b、262a、262b:保持部
[0041]63、163、263:保持槽
[0042]64a、64b、264a、264b:圆柱体
[0043]65a、65b、165a、165b、265a、265b:销孔
[0044]66a、66b、l66a、266a、266b:保持壁
[0045]67、167、267:收容部68、268:安装孔
[0046]69、269:螺栓安装孔70a、70b、270a、270b:螺孔
[0047]71、73a、73b:固定螺栓72、74:止挡件
[0048]75、175、275:磁铁76:圆柱体安装孔
[0049]170:安装部170a:倾斜部
[0050]170b:平坦部200:保持具接头
[0051]201:旋转轴部202:接头部
[0052]203a、203b:轴承204:隔片
【具体实施方式】
[0053]以下，使用图式说明本发明的实施例。但是，以下所示的实施例，是表示用于具体化本发明的技术思想的一例，并无意图将本发明特定于该实施例。本发明亦可适用于专利要求保护范围所包含的其他实施例。
[0054][实施例1]
[0055]图1是本发明的实施例的刻划装置I的概略图。刻划装置1，具备有移动台10。移动台10，与滚珠螺杆11螺合，借由马达的驱动而该滚珠螺杆11进行旋转，借此可沿一对导引轨条12而于Y轴方向移动。
[0056]在移动台10的上面，设置有马达13。马达13，使位于上部的平台14在xy平面旋转而定位于既定角度。借由马达13而可水平旋转的平台14，具备有未图示的真空吸附手段，将载置于平台14上的脆性材料基板15借由该真空吸附手段而保持。
[0057]该脆性材料基板15，是玻璃基板、由低温烧成陶瓷或高温烧成陶瓷构成的陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、石英基板等。此外，脆性材料基板15，亦可为在基板表面或内部附着、或包含有薄膜或半导体材料。此外，脆性材料基板15，亦可在其表面附着有不属于脆性材料的薄膜等。
[0058]刻划装置1，在载置于平台14的脆性材料基板15的上方，具备有对形成于该脆性材料基板15表面的对准标记进行拍摄的2台CCD摄影机16。以跨越移动台10与其上部的平台14的方式，将桥架17架设于支柱18a、18b。
[0059]在桥架17安装有导引件19，而将刻划头20设置成由该导引件19引导而于x轴方向移动。在刻划头20的下端，安装有保持具单元30，该保持具单元30是在保持具60保持有刻划轮40。
[0060]此处，概略地说明使用刻划装置I对脆性材料基板15形成刻划线的步骤。首先，在安装于刻划头20的保持具60安装刻划轮40。然后，刻划装置1，借由一对CCD摄影机16而进行脆性材料基板15的定位。接着，刻划装置I，使刻划头20移动于既定位置，对刻划轮40施加既定的负载，并使其往脆性材料基板15接触。然后，刻划装置1，借由使刻划头20于X轴方向移动，而于脆性材料基板15表面形成既定的刻划线。另外，刻划装置1，可根据需要而旋动平台14并于Y轴方向移动，与上述情形同样地