老炼试验箱的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造及机械加工领域，特别涉及一种老炼试验箱。
【背景技术】
[0002]在集成电路(IC)制造过程中，由于工艺、材料等原因，不可避免地会造成一定的潜在缺陷，用一般的检测和质量控制手段所不能发现，而需要要对器件施加高应力(电、热等)使缺陷激活才能被发现，如硅片表面污染、焊接空洞、芯片和管壳热阻匹配不良等。
[0003]集成电路的老炼试验过程就是通过对其施加高应力，加速其潜在缺陷快速暴露的过程。国军标GJB548B中规定，老炼试验的目的是为了筛选和剔除那些勉强合格的器件，可以剔除有缺陷的、可能会发生早期失效的产品，是一种无损的筛选试验技术。老炼试验时，需要对器件按规定要求施加一种或多种应力进行的试验，以暴露器件的质量缺陷和潜在缺陷，并剔除有缺陷的器件，余下的器件就具有较高的使用可靠性。
[0004]图1为现有老炼试验箱示意图。如图1所示，老炼试验箱中老炼试验板105、加热器104、温度传感器107和风叶104位于箱体内，驱动电机101位于箱体外，驱动电机101通过驱动轴102连接风叶103。箱体内设置有多个老炼试验板105，每个老炼试验板105上设置有多个放置集成电路的试验底座106。老炼试验箱底部设置有加热器104，用以按温度设定值对老炼试验箱进行加热，老炼试验箱上部设置有温度传感器107，利用该温度传感器107可以检测老炼试验箱内的温度并控制加热器104的开启或关闭。
[0005]目前越来越多的产品和装备应用表面贴装器件，而器件管脚表层多为铅锡合金的，锡的含量通常在60%以上，在长时间高温有氧环境中很容易被氧化。随着半导体器件规模越来越大和环保意识的不断增强，器件更多地采用BGA、LGA、TQFP、QFN、TSOP等多种高密度多管脚无铅表面贴装封装形式，此类无铅合金的锡含量通常在96 %以上，高锡合金在长时间高温有氧环境中就更容易被氧化。因此，老炼试验过程中经过排氧充入惰性气体保护后，器件管脚经长时间高温老炼试验也不会被氧化，保证了器件在老炼试验过程中的品质和安全，确保了器件管脚在电装工艺环节中不会出现假焊和虚焊的质量问题，对产品和装备的整体品质提尚有着很大的作用。
[0006]现有的老炼试验箱的驱动电机位于箱体外部，风叶位于箱体内部，驱动轴穿过箱体连接风叶。这就需要在箱体上开一个通孔，使得老炼试验箱的密封性变差。老炼试验时，当有惰性气体充入时，会经过所述通孔泄漏出去，这对惰性气体的使用造成浪费。如果泄漏的量比较大，会使得老炼试验箱周围的惰性气体浓度过高，对人员的呼吸造成困难。而且，老炼试验时，箱体内部的高温会通过驱动轴传导至驱动电机，使得驱动电机工作时发热量进一步增大，对驱动电机造成一定的损伤。
【发明内容】
[0007]本发明提供一种老炼试验箱，解决了现有老炼试验箱中密封性差，驱动电机易损伤的问题。
[0008]为达到上述目的，本发明提供的一种老炼试验箱，包括箱体、至少一个风叶控制模块和至少一个气体充入口，其中，所述风叶控制模块包括位于所述箱体外部的风叶驱动装置，位于所述箱体内部与所述风叶驱动装置相分离的风叶从动装置，以及与所述风叶从动装置相连接的风叶。
[0009]其中，所述风叶驱动装置包括驱动电机、第一驱动轴和驱动片，所述风叶从动装置包括从动片、第二驱动轴。
[0010]其中，所述驱动片与所述从动片之间具有磁感应。
[0011]其中，所述驱动电机转动带动所述第一驱动轴和所述驱动片转动，所述驱动片转动带动所述从动片转动，所述从动片转动带动所述第二驱动轴和风叶转动。
[0012]其中，所述驱动片和所述从动片相对面磁极相反或相同。
[0013]其中，所述箱体设置至少一个气体出口阀门。
[0014]其中，所述箱体内设置至少一个氧气检测装置。
[0015]其中，所述箱体内设置至少一个加热器。
[0016]其中，所述箱体内设置至少一个温度传感器用于检测所述箱体内的环境温度。
[0017]其中，所述箱体外侧装有隔热材料。
[0018]与现有技术相比，本发明具有以下优点:
[0019]本发明的老炼试验箱，可保证箱体的密封性，减少了惰性气体的使用量，同时保护了驱动电机。
【附图说明】
[0020]图1为现有的老炼试验箱示意图；
[0021 ]图2为本发明实施例中的老炼试验箱示意图；
[0022]附图标记:
[0023]101:驱动电机； 102:驱动轴；103:风叶；
[0024]104:加热器；105:老炼试验板；106:老炼试验插座；
[0025]107:温度传感器；
[0026]201:驱动电机； 202:驱动片；203:第一驱动轴；
[0027]204:隔热材料； 205:从动片；206:第二驱动轴；
[0028]207:风叶；208:温度传感器；209:老炼试验板；
[0029]210:加热器；211:老炼试验插座；212:箱体；
[0030]213:气体充入孔；214:氧气检测装置；215:气体出口阀门。
【具体实施方式】
[0031]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明。
[0032]本发明的处理方法可以被广泛地应用于各个领域中，并且可利用许多适当的材料制作，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本发明的保护范围内。
[0033]传统老炼试验箱的整体密封性不好，老炼试验时，充入惰性气体对器件管脚保护时，气体会从安装驱动轴的通孔中泄漏出去，造成气体的浪费，对老炼试验箱周围环境造成影响，严重的话危害到人员健康，同时，热量通过驱动轴传导至驱动电机，对驱动电机也会造成损伤。
[0034]为了应对集成电路器件的高速发展，本发明提出了一种新的老炼试验箱，可保证箱体的密封性，从而大大降低气体泄漏，同时对驱动电机不会造成损伤。
[0035]图2为说明本发明实施例中的老炼试验箱的整体示意图。下面结合图2对本发明的实施例进行详细说明。
[0036]如图2所示，本发明的老炼试验箱，包括箱体212、至少一个风叶控制模块和至少一个气体充入口 213，其中，所述风叶控制模块包括位于所述箱体外部的风叶驱动装置，位于所述箱体内部与所述风叶驱动装置相分离的风叶从动装置，以及与所述风叶从动装置相连接的风叶207。
[0037]本实施例中，安装一个风叶控制模块，其安装于箱体212的侧部，改变箱体212内的气流流向，在箱体212内形成循环气流，令箱体212内的温度分布较为均匀。具体地，加热器210对箱体212内加热，由风叶207平行吹过各老炼试验板209为老炼试验器件加热，加热器210的设定温度可以为箱体212内的温度设定值，其通常是根据老炼试验器件的老炼试验温度要求而设定，可以在20°C-250°C之间，如为20°C、100°C、150°C、200°C或250°C。
[0038]本实施例中，风叶驱动装置位于箱体212外部，风叶从动装置位于箱体212内部，二者相互分离，使得箱体212侧部无需为二者连接而开一个通孔，保证了箱体212的完整性，从而保证了箱体212的密封性。箱体212外部为常温环境，因此，风叶驱动装置可采用常温材料设计，也可采用耐高温材料设