一种植球设备的供球机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆级封装设备，特别涉及一种晶圆级封装设备中植球设备的供球机构。
【背景技术】
[0002]晶圆级封装WLCSP(Wafer Level Chip Scale Packaging)即晶圆级芯片封装方式的植球工艺中，有的时候因为人员的误操作或其它原因，造成作业时混球。也就是说作业时在正确的凸点(bump)球中混入了直径偏小或者偏大的凸点(bump)球。结果是大球卡在网板上，造成网板破损。小球直接作业到晶元上，最终造成良率损失。为预防这类问题的发生，有公司规定只要是上到设备的凸点(bump)球，剩余的，全部废弃，造成大量的材料浪费。即就是如此严格的管控，也未能做到100%的不混球。
【发明内容】
[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，提供一种植球设备的供球机构，包括供球导管、供球瓶、植球导管，所述供球导管、供球瓶和植球导管依次相通连接，该植球设备的供球机构，还包括隔离装置，所述隔离装置安装在供球瓶内用于将通过所述供球导管送入所述供球瓶内大小不一的球相隔离。
[0004]本发明提供的植球设备的供球机构增加了大小球隔离装置，可以有效避免混球事件的发生，保证了植球产品的品质，做到了上机凸点(bump)用不完能够回收，大大节约了材料成本。同时降低了设备内部清洁的频次，大大的提高了产品质量和设备利用率。
【附图说明】
[0005]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0006]图1为现有植球设备的供球机构示意图；
[0007]图2本发明提供的植球设备的供球结构示意图；
[0008]附图标记说明:
[0009]I供球导管;2-供球瓶;3-植球导管;4-第一筛网；
[0010]5-第二筛网;6-第一废球收集导管;7-第二废球收集导管；
[0011]8-抖动电机
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
[0013]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0014]如图2所示，本实施例提供了一种植球设备的供球机构，包括供球导管1、供球瓶2、植球导管3，供球导管1、供球瓶2和植球导管3依次相通连接，本植球设备的供球机构还包括隔离装置，隔离装置安装在供球瓶2内用于将通过供球导管I送入供球瓶2内大小不一的球相隔呙。
[0015]本发明提供的植球设备的供球机构增加了大小球隔离装置，可以有效避免混球事件的发生，保证了植球产品的品质，做到了上机凸点(bump)用不完能够回收，大大节约了材料成本。同时降低了设备内部清洁的频次，大大的提高了产品质量和设备利用率。
[0016]如图2所示，进一步，本实施例提供的隔离装置至少包括一个具有多个筛孔的筛网，根据实际需要，可以是一个筛网，也可以是两个或多个筛网，且每个筛网筛孔的形状、大小根据实际的需要来选择安装。筛网结构简单、制作难度小、成本低，且容易安装。
[0017]进一步，本实施例提供的筛网可拆卸地安装在供球瓶2内，并且筛网的筛孔尺寸可选择。根据不同的球来选择筛网，比较方便、降低成本。
[0018]如图2所示，进一步，本实施例提供的植球设备的供球机构还包括至少一根废球收集导管，废球收集导管用于收集经筛网筛选出的废球。及时将废球排出，利于提高隔离效率。
[0019]如图2所示，进一步，本实施例提供的筛网为两个具有多个筛孔的第一筛网4和第二筛网5，第一筛网4安装在第二筛网5的上方，第一筛网4的筛孔所能通过的球的直径大于第二筛网5的筛孔所能通过的球的直径。在本实施例中，第一筛网4筛孔的能够让正常球和比正常球直径小的球下落，而不能使比正常球直径大的球下落。第二筛网5筛孔能够使比正常球直径小的球，而不能使正常球下落。这样经过第一筛网4和第二筛网5的两次隔离，使得大小和小于正常球被隔离开。因此，由于设置了两重筛网，可以隔离调比正常球直径大以及比正常球直径小的球，有效避免混球事件的发生，保证了植球的品质。
[0020]如图2所示，进一步，本实施例提供的废球收集导管为两根，两根废球收集导管为第一废球收集导管6和第二废球收集导管7，第一废球收集导管6连通第一筛网4上方的供球瓶2内空间，用于收集未通过第一筛网4的废球，第二废球收集导管7连通第二筛网5下方的供球瓶2内空间，用于收集未通过第二筛网5的废球。有利于及时排出废球，提高隔离、植球效率。
[0021]如图2所示，进一步，本实施例提供的第一筛网4所在平面与供球瓶2的任一横截面倾斜一定角度，并且第一废球收集导管6在第一筛网4的低水平处连通供球瓶2内空间；并且第二筛网5所在平面与供球瓶2的任一横截面倾斜一定角度，并且植球导管3在第二筛网5的低水平处连通第二筛网5上方的供球瓶2内空间，第二废球收集导管7在供球瓶2的底部连通供球瓶2内空间。第一筛网4和第二筛网5倾斜的角度最好选择为15度到45度之间，本实施例中倾斜的角度均为30度。通过将第一筛网4和第二筛网5倾斜设置，可以使球在自身重力的作用下滚落、集中到一定的位置，如最下端，然后通过废球收集管回收。可以收集废球，减少供球瓶中废球的数量，提供落球、植球的效率。
[0022]如图2所示，进一步，本实施例提供的第一筛网4所在平面与第二筛网5所在平面倾斜一定的角度，使得第一废球收集导管6和植球导管3能够错开，这样方便后续废球收集导管的安装，与植球导管不发生干涉。
[0023]如图2所示，进一步，本实施例提供的筛网筛孔的形状为圆形。当然可以是四边形、椭圆形等其他形状。由于筛孔为圆形，与植球的形状一致，因此较容易控制、选择筛网的规格。
[0024]如图2所示，进一步，本实施例提供的植球设备的供球机构还包括还包括抖动电机8，抖动电机8可以带动所述供球瓶2发生震动。通过抖动电机的设置，达到隔离大小球的功能，提高隔离球的效率。
[0025]以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
【主权项】
1.一种植球设备的供球机构，包括供球导管、供球瓶、植球导管，所述供球导管、供球瓶和植球导管依次相通连接，其特征在于，还包括隔离装置，所述隔离装置安装在供球瓶内，用于将通过所述供球导管送入所述供球瓶内大小不一的球相隔离。2.根据权利要求1所述的植球设备的供球机构，其特征在于，所述隔离装置至少包括一个具有多个筛孔的筛网。3.根据权利要求2所述的植球设备的供球机构，其特征在于，所述筛网可拆卸地安装在所述供球瓶内，并且所述筛网的筛孔尺寸可选择。4.根据权利要求3所述的植球设备的供球机构，其特征在于，还包括至少一根废球收集导管，所述废球收集导管用于收集经所述筛网筛选出的废球。5.根据权利要求4所述的植球设备的供球机构，其特征在于，所述至少一个筛网包括第一筛网和第二筛网，所述第一筛网安装在所述第二筛网的上方，所述第一筛网的筛孔所能通过的球的直径大于所述第二筛网的筛孔所能通过的球的直径。6.根据权利要求5所述的植球设备的供球机构，其特征在于，所述至少一根废球收集导管包括第一废球收集导管和第二废球收集导管;所述第一废球收集导管连通所述第一筛网上方的所述供球瓶内空间，用于收集未通过所述第一筛网的废球;所述第二废球收集导管连通所述第二筛网下方的所述供球瓶内空间，用于收集通过所述第二筛网的废球。7.根据权利要求6所述的植球设备的供球机构，其特征在于， 所述第一筛网所在平面与所述供球瓶的任一横截面倾斜一定角度，并且所述第一废球收集导管在所述第一筛网的低水平处连通所述供球瓶内空间;并且 所述第二筛网所在平面与所述供球瓶的任一横截面倾斜一定角度，并且所述植球导管在所述第二筛网的低水平处连通所述第二筛网上方的所述供球瓶内空间，所述第二废球收集导管在所述供球瓶的底部连通所述供球瓶内空间。8.根据权利要求7所述的植球设备的供球机构，其特征在于，所述第一筛网所在平面与所述第二筛网所在平面存在一定夹角。9.根据权利要求2-8任一所述的植球设备的供球机构，其特征在于，所述筛网筛孔的形状为圆形。10.根据权利要求9所述的植球设备的供球机构，其特征在于，还包括抖动电机，所述抖动电机能够带动所述供球瓶发生震动。
【专利摘要】本发明公开了一种植球设备的供球机构，包括供球导管、供球瓶、植球导管，供球导管、供球瓶和植球导管依次相通连接；该植球设备的供球机构还包括隔离装置，隔离装置安装在供球瓶内用于将通过供球导管送入供球瓶内大小不一的球相隔离。本发明提供的植球设备的供球机构增加了大小球隔离装置，可以有效避免混球事件的发生，保证了植球产品的品质，做到了上机凸点(bump)用不完能够回收，大大节约了材料成本。同时降低了设备内部清洁的频次，大大的提高了产品质量和设备利用率。
【IPC分类】H01L21/60
【公开号】CN105609435
【申请号】CN201510999361
【发明人】郭其俊
【申请人】南通富士通微电子股份有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月25日