一种基于棱镜扩束的可调谐光栅外腔半导体激光器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及半导体激光器技术，尤其是一种基于棱镜扩束的可调谐光栅外腔半导 体激光器。
【背景技术】
[0002] 半导体激光器由于具有电光直接转换、体积小、寿命长等优点，已经广泛应用于许 多领域，然而其线宽通常比较大。考虑到激光器的线宽与相位噪声成正比关系，为了保证其 相关系统的性能，窄线宽可调谐激光器变得不可或缺。对于半导体激光器来说，受激福射占 据支配地位，但不可避免地存在自发福射，运会造成频率噪声，使激光频谱发生展宽。窄线 宽可调谐激光器是新一代密集波分复用系统W及全光网络中光子交换的关键光电子器件， 目前已经实现了宽波长范围的连续或准连续调谐，并有相应的产品投放市场。
[0003] 可调谐外腔半导体激光器具有线宽窄，调谐范围大，输出功率高、较好的单纵模特 性W及稳定性等优点。为了使半导体激光器输出稳定的频率，首先要保证半导体激光器输 出的激光是单纵模的。为了使半导体激光器能输出单纵模，就要抑制增益带宽内的其他模 式，而只让其中一个模式得到加强。所谓的外腔，是相对于内腔而言的，内腔指的是半导体 激光二极管前后端面所构成的谐振腔，外腔是将谐振腔延伸至半导体激光二极管外面，用 光学反馈原件实现外部反馈从而形成光振荡，光栅正是实现外部反馈的一种光反馈原件。 由于外腔长度远大于内腔，在外腔中振荡的不同激光模式之间的频率间隔，要远小于内腔， 一旦实现单一模式输出，半导体激光器线宽也就被大大的压窄了。通常使用外腔结构有 Littrow和Littman两种，调节它们的反馈原件，从而改变外腔腔长，使外腔中的某一个振荡 模式被选出来，实现单一模式输出。
[0004] Littrow结构外腔半导体激光器由激光二极管(输出光面锻有增透膜、另一面锻有 高反膜）、准直透镜、光栅Ξ个部分构成，如图1所示。激光二极管出射光经过准直透镜后W 一定的角度入射到光栅，选择适当的入射角度，使光栅的输出光只有0级和+1级光，其中0级 光作为激光器出射光，+1级光反馈回激光二极管，构成半导体激光器的外腔振荡。
[0005] Littman结构外腔半导体激光器由激光二极管、准直透镜、光栅、反射镜四部分构 成，如图2所示。在该结构中，激光二极管出射光经准直透镜W-个较好的角度入射到光栅， 同样的，0级光作为激光器出射光，+1级光作为反馈光被反射镜反射后，再经过一次光栅沿 原路返回，构成半导体激光器的外腔振荡。
【发明内容】
[0006] 本发明的目的在于公开一种基于棱镜扩束的可调谐光栅外腔半导体激光器，该激 光器具有结构紧凑，装调简单，腔内损耗小增益高，可W同时获得窄线宽、较高的输出能量 指标和实现宽波长范围的连续可调谐。
[0007] 为了解决上述技术问题，实现上述技术效果，本发明采用的技术方案一是：
[000引一种基于棱镜扩束的可调谐光栅外腔半导体激光器，包括激光二极管11、准直透 镜12、光栅14,其特征在于，还包括二个或两个W上Ξ棱镜13组成的棱镜扩束系统，使得激 光二极管11发出的激光经过准直透镜12后，在经过光栅14之前，被棱镜扩束系统进行色散 放大。每个Ξ棱镜13的入射光角度均为激光二极管11波长对应的布儒斯特角。每个Ξ棱镜 13的出射光匀垂直于该Ξ棱镜13的出射棱边。
[0009] 本发明采用的技术方案二是：一种基于棱镜扩束的可调谐光栅外腔半导体激光 器，包括激光二极管21、准直透镜22、光栅24、反射镜25,其特征在于，还包括若干个Ξ棱镜 23组成的棱镜扩束系统，使得激光二极管21发出的激光经过准直透镜22后，在经过光栅24 之前，被棱镜扩束系统进行色散放大。每个Ξ棱镜23的入射光角度均为激光二极管21波长 对应的布儒斯特角。每个Ξ棱镜23的出射光匀垂直于该Ξ棱镜13的出射棱边。棱镜扩束系 统出射光为光栅24的入射光，光栅24的1级衍射光经过反射镜25反射回光栅24后，沿原路返 回激光二极管21，光栅24的0级光作为可调谐光栅外腔半导体激光器的输出。
[0010] 本发明的有益效果是:基于棱镜扩束的可调谐光栅外腔半导体激光器，在普通外 腔式半导体的基础上，在外腔反馈的光路中加入了棱镜扩束系统，激光经过棱镜扩束系统 后，由于光束的扩大增加了光栅的分辨率，同时Ξ棱镜本身的色散特性使激光器外腔中的 振荡光进一步色散分开，从而使激光器线宽进一步压窄。
【附图说明】
[0011] 图1是现有的Littrow型光栅外腔半导体激光器线的原理示意图；
[0012] 图2是现有的Littman型光栅外腔半导体激光器线的原理示意图；
[0013] 图3是本发明提供的【具体实施方式】一；
[0014] 图4是本发明提供的【具体实施方式】二；
[0015] 图5是本发明提供的棱镜扩束系统的某一【具体实施方式】；
[0016] 图6是本发明所述棱镜扩束系统的扩大光束原理示意图；
[0017] 图7是本发明【具体实施方式】一(即图3)线宽测量对比图；
[0018] 图8是本发明【具体实施方式】二线宽测量对比图。
[0019]
【具体实施方式】
[0020] 下面结合附图和实施例，对本发明进行详细描述。
[0021] 图3是本发明提供的【具体实施方式】一。如图3所示，包括激光二极管11、准直透镜 12、棱镜扩束系统、光栅14。其中，激光二极管11用于输出激光光束，其在电流的作用下导带 中的电子和价带中的空穴复合产生受激福射，在内腔(激光二极管两个端面之间形成的谐 振腔）中谐振产生激光;准直透镜12,有着非常短焦距，用于对激光二极管11输出的光束整 形，形成平行光束;棱镜扩束系统，由若干个Ξ棱镜13组成，用于改变准直透镜12输出平行 光束光斑大小，同时提高系统色散性能，本【具体实施方式】中包括两个Ξ棱镜13;光栅14,用 于对棱镜扩束系统输出的平行光束进一步色散，同时构成该激光器外腔(激光二极管出射 端面与光栅之间形成的谐振腔）的一个谐振面，棱镜扩束系统输出的平行光束打到光栅14 上，1级衍射光原路经过棱镜扩束系统与准直透镜12后，返回到激光二极管11，在光栅14和 激光二极管11输出端面为腔