压电单晶片式惯性压电马达的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于压电马达技术领域，具体涉及一种压电单晶片式惯性压电马达。
【背景技术】
[0002]随着纳米技术的发展，使得以纳米精度著称的压电马达应用日益广泛，它具有控制精度高、响应速度快和运行噪音低等优点，可在扫描探针显微镜(SPM)扫描中作探针驱动，也可作为微纳米作业及定位系统的驱动元件，在高科技领域具有广泛的应用。压电马达的种类有很多种，但它们通常具有利用高压驱动、需要多个压电片和使用价格昂贵的压电管等缺点，因此限制了压电马达的大量普及，并制约了纳米科技的发展。在项目批准号为:11304082的国家自然科学基金“超快速扫描隧道显微镜的改进与应用”的支持下，本专利提出了一种新型压电单晶片式惯性压电马达。
【发明内容】
[0003]本发明解决的技术问题是提供了一种可由低电压驱动、更加安全且成本较低、性能优良的压电单晶片式惯性压电马达。
[0004]本发明为解决上述技术问题采用如下技术方案，压电单晶片式惯性压电马达，其特征在于包括基座、压电片、非压电材料支撑体和导轨，其中压电片和非压电材料支撑体设置于基座和导轨之间，压电片的一端通过胶体垂直固定于基座上，压电片的另一端通过胶体固定有导轨，该压电片为厚度方向或径向极化的压电片，导轨的凹槽方向与压电片的极化方向一致。
[0005]进一步优选，所述非压电材料支撑体通过胶体固定于基座与导轨之间或者非压电材料支撑体与基座和导轨一体成型或者非压电材料支撑体一端与导轨通过胶体连接，另一端与基座一体成型或者非压电材料支撑体一端与基座通过胶体连接，另一端与导轨一体成型。
[0006]进一步优选，所述压电片与基座和导轨的接触部位分别设有未涂电极部位。
[0007]本发明所述的压电单晶片式惯性压电马达，其特征在于包括基座、压电单晶片和导轨，其中压电单晶片由两个平行设置的底片及设置于两底片之间的压电片和非压电材料支撑体构成，压电片通过胶体垂直固定于两底片之间，该压电片为厚度方向或径向极化的压电片，压电单晶片一端的底片固定于基座上，压电单晶片另一端的底片上固定有导轨，该导轨的凹槽方向与压电片的极化方向一致。
[0008]进一步优选，所述底片的材质为蓝宝石、钨、钛、不锈钢、玻璃或铝镁合金，非压电材料支撑体通过胶体固定于两底片之间或者非压电材料支撑体与两底片一体成型或者非压电材料支撑体的一端与底片通过胶体连接，另一端与另一底片一体成型。
[0009]进一步优选，所述压电片与两底片的接触部位分别设有未涂电极部位。
[0010]进一步优选，所述基座和导轨的材质均为蓝宝石、钨、钛、陶瓷或不锈钢。
[0011]进一步优选，所述非压电材料支撑体的材质为金属、陶瓷、玻璃或蓝宝石，胶体为环氧树脂胶、丙烯酸酯胶、α-氰基丙烯酸乙酯胶或氯丁橡胶。
[0012]进一步优选，所述压电马达的驱动信号为不对称的周期性信号。
[0013]进一步优选，所述压电马达的驱动信号为不对称的锯齿波。
[0014]本发明的工作原理为:当压电片在交变驱动信号的作用下时，将发生伸长或收缩，而非压电材料支撑体的长度不变，如果将压电片和非压电材料支撑体的两端通过底片或与导轨和基座固定在一起，那么压电片将不能在驱动信号的作用下自由伸长或收缩，而是将在非压电材料支撑体的拉力作用下发生弯曲，因此在压电片上施加不对称的周期性锯齿波信号时，能够利用惯性力驱动位于导轨上的物体移动，实现与现有压电马达同样的功能。
[0015]本发明与现有技术相比具有以下优点:(I)借助于压电片较大的长度厚度比，因此较小的驱动电压也能够使得压电片发生较明显的弯曲形变;(2)在锯齿波的作用下，只要压电片的形变速度发生较陡的改变，就像锯齿波信号的斜率的陡变一样，即使压电片没有很大的形变量，也能够产生足够大的惯性力；(3)由于驱动信号为斜率不相等的锯齿波，因此当调换压电片正负电极上的驱动信号时，压电片驱动力的方向也将发生变化。结合以上三点，压电单晶片式惯性压电马达将能够在安全电压范围内工作，这样既避免了高压控制器的高成本，也避免了高压操作的危险性。而且，本发明用一个压电片替换了现有压电马达必须要用到的多个压电片或价格昂贵的压电管，将现在至少数千元压电马达的成本，降到了不足50元，极大的降低了压电马达的制作成本。总之，本发明易于制作，结构稳定且多样，在降低成本的同时节省材料，因此具有极大的开发应用前景。
【附图说明】
[0016]图1是本发明实施例1中压电单晶片式惯性压电马达的主视图；
图2是本发明实施例1中压电单晶片式惯性压电马达的侧视图；
图3是本发明实施例1中压电单晶片式惯性压电马达的俯视图；
图4是本发明实施例2中压电单晶片式惯性压电马达的主视图；
图5是本发明实施例2中压电单晶片式惯性压电马达的侧视图；
图6是本发明实施例2中压电单晶片式惯性压电马达的俯视图；
图7是本发明实施例3中压电单晶片式惯性压电马达的主视图；
图8是本发明实施例3中压电单晶片式惯性压电马达的侧视图；
图9是本发明实施例4中压电单晶片式惯性压电马达的侧视图；
图10是本发明实施例5中压电单晶片式惯性压电马达的侧视图。
[0017]图中:1、导轨，2、压电片，3、胶体，4、基座，5、未涂电极部位。
【具体实施方式】
[0018]结合附图详细描述本发明的具体内容。制备压电单晶片式惯性压电马达的工艺流程如下:
(1)选取一定结构的压电片2，使其垂直立在基座4和导轨I之间；
(2)在压电片2与不锈钢基座4和导轨I的接触面处涂上一定量合适硬度和强度的胶体3，如环氧树脂胶353ND;
(3)将其烘干，即可得到压电单晶片式惯性压电马达。
[0019]该压电马达的驱动方式为在压电片上施加不对称的周期性锯齿波信号。
[0020]实施例1
压电片与非压电材料支撑体最宽面完全粘接的压电单晶片制作的惯性压电马达，本实施例中压电陶瓷片最宽面两端各有Imm未涂电极部位5，基座和导轨均为不锈钢。
[0021]本实施