可变形镜、包括可变形镜的光学系统以及眼科装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及可变形镜、包括可变形镜的光学系统以及眼科装置。
【背景技术】
[0002] 被静电引力或电磁力变形的可变形镜期望在使用光的各种领域中找到应用。例 如，该可变形镜可以用作用于眼底镜检查装置、天文望远镜等的自适应光学系统中的波前 校正设备。
[0003] 美国专利No. 6, 384, 952公开了一种可变形镜，其中，由梳状电极构成的致动器被 接合到薄膜镜。每个致动器包括多个可移动梳状电极和多个固定梳状电极，所述多个可移 动梳状电极和所述多个固定梳状电极按其之间所提供的缝隙以交替方式被设置在面内方 向上。各个致动器中的可移动梳状电极在与面内方向垂直的方向上分离地移动，并且因此 薄膜镜的形状可以被控制。
[0004] 同时，具有致动器的致动器基板被安装在具有用于驱动致动器的驱动电路的安装 基板上，或者直接地或者在之间附连有另一基板等间接地安装。
[0005] 美国专利No. 6, 384, 952中所公开的将致动器接合到薄膜镜的接合部分在大小方 面与致动器基板和薄膜镜相比非常小。因此，如果当致动器基板附接到安装基板时接合部 分被加压，则接合部分中的一些承受负载并且可能变形，这可能导致损坏产生。
【发明内容】
[0006] 本发明旨在抑制具有安装基板的可变形镜中的这些接合部分的变形。
[0007] 本发明一方面提供一种用于制造可变形镜的方法，所述可变形镜包括：第一基板， 具有多个致动器；第二基板，具有反射构件，反射构件用插入在反射构件与多个致动器之间 的接合部分接合到多个致动器；以及第三基板，具有驱动电路，用于驱动多个致动器。在 此，由当第一基板或第二基板的阴影投影在与反射构件的面内方向平行的平面上时获得的 阴影的外周所限定的面积被称为投影面积。用于制造可变形镜的方法包括步骤：制备具有 多个致动器的第一基板以及具有反射构件的第二基板，第二基板用插入在第一基板与第二 基板之间的接合部分接合到第一基板；设置具有用于驱动多个致动器的驱动电路的第三基 板，以使得面对具有较大投影面积的第一基板和第二基板中的一个基板；以及在第一基板 和第二基板在与反射构件的面内方向平行的面内方向上彼此不交叠的区域中将具有较大 投影面积的第一基板和第二基板中的一个基板接合到第三基板。
[0008] 本发明另一方面提供一种可变形镜，其包括：第一基板，具有多个致动器；第二基 板，具有反射构件，反射构件用插入在反射构件与多个致动器之间的接合部分接合到多个 致动器；以及第三基板，具有用于驱动多个致动器的驱动电路。在此，由当第一基板或第二 基板的阴影投影在与反射构件的面内方向平行的平面上时获得的阴影的外周所限定的面 积被称为投影面积。第三基板面对具有较大投影面积的第一基板和第二基板中的一个基 板，并且接合到具有较大投影面积的第一基板和第二基板中的一个基板。
[0009] 从参照附图的示例性实施例的以下描述，本发明的其它特征将变得清楚。
【附图说明】
[0010] 图1A、图1B、图1C示意性地示出根据第一示例性实施例的可变形镜的示例。
[0011] 图2A和图2B是用于描述问题的图示。
[0012] 图3A和图3B示意性地示出根据第一示例性实施例的将镜基板接合到安装基板的 处理的示例。
[0013] 图4A、图4B和图4C示意性地示出根据第一示例性实施例的可变形镜中的致动器 基板和致动器的配置的示例。
[0014] 图5A、图5B、图5C和图?是用于描述致动器的驱动的图示。
[0015] 图6A至图6H示意性示出根据第一示例性实施例的用于制造致动器的方法以及将 致动器接合到镜基板的处理的示例。
[0016] 图7A和图7B示意性示出根据第一示例性实施例的暴露反射构件的处理的示例。
[0017] 图8A、图8B和图8C示意性示出根据第二示例性实施例和第三示例性实施例的可 变形镜的示例。
[0018] 图9A和图9B不意性不出根据第二不例性实施例的将镜基板接合到安装基板的处 理的示例。
[0019] 图10A和图10B分别示意性示出根据第二示例性实施例和第三示例性实施例的致 动器基板和镜基板的不例。
[0020] 图11A和图11B示意性示出根据第四示例性实施例的可变形镜的示例。
[0021] 图12示意性示出根据第五示例性实施例的眼科装置的示例。
【具体实施方式】
[0022] 将参照附图详细描述根据本发明一些示例性实施例的可变形镜。应注意，本发明 不限于这些示例性实施例的配置。
[0023] 图1A至图1C示意性示出根据该示例性实施例的可变形镜。图1A示意性示出从 暴露反射构件的反射表面R的一侧（+Z方向）看的可变形镜。图1B是沿着图1A所示的直 线IB-IB取的可变形镜的示意性截面图。可变形镜包括：致动器基板（第一基板）100,具 有多个致动器101 ;以及镜基板（第二基板）200,具有反射构件202,其用插入在多个致动 器101与反射构件202之间的接合部分201接合到多个致动器101。可变形镜还包括安装 基板（第三基板）300,具有用于驱动多个致动器101的驱动电路。
[0024] 图1C示出由当致动器基板100和镜基板200的阴影投影在与反射构件202的面 内方向平行的平面（XY平面）上时所获得的阴影的各个外周限定的各面积（下文中指代为 投影面积）之间的关系。在该示例性实施例中，致动器基板100的投影面积S1小于镜基板 200的投影面积S2。被投影在与反射构件202的面内方向平行的平面（XY平面）上的致动 器基板100的阴影具有外周L1，投影在与反射构件202的面内方向平行的平面（XY平面） 上的镜基板200的阴影具有外周L2。
[0025] 如图1B所示，安装基板300被设置为面对具有比致动器基板100更大的投影面积 的镜基板200。安装基板300在与反射构件202的面内方向平行的面内方向上在镜基板200 和致动器基板100不重叠的区域K中接合到镜基板200。下文中将描述该配置的影响。
[0026] 图2Α示出在致动器基板100的投影面积等于镜基板200的投影面积的情况下将 镜基板200接合到安装基板300的处理。在该处理中，由于制造设备的约束，外力被施加在 致动器基板100上，以便将镜基板200接合到致动器基板100和接合到安装基板300。图 2Α中通过箭头指示外力的方向。在所叙述的情况下，一些外力还传递到致动器基板100与 反射构件202之间所设置的接合部分201。通常，接合到致动器101或反射构件202的每个 接合部分201 (每个接合部分201的宽度）上的接合面积不小于镜基板200的投影面积的 万分之一并且不大于百分之一，并且接合部分201非常小。换言之，接合部分201具有低机 械强度。因此，接合部分201由于外力而变形。这种变形可防止致动器101的驱动以足够 的级别传递到反射构件202,或可能在驱动期间产生损坏。以相似方式，当致动器基板100 要接合到安装基板300时，外力施加在接合部分201上，并且相似问题可能出现。
[0027] 现将考虑镜基板200的投影面积大于致动器基板100的投影面积的情况。图2Β 示出将安装基板300接合到具有比镜基板200更小的投影面积的致动器基板100的处理。 在该配置中，具有更大的投影面积的镜基板200被加压，以将镜基板200接合到致动器基板 100和安装基板300。因此，外力施加在接合部分201上，与参照图2Α所描述的问题相似的 问题出现。相似问题还出现在这样的情况下：其中，致动器基板100的投影面积大于镜基板 200的投影面积，并且安装基板300要接合到具有比致动器基板100更小的投影面积的镜基 板 200。
[0028] 同时，如图3Α所示，在该示例性实施例中，安装基板300接合到具有比致动器基板 100更大的投影面积的镜基板200。在该配置中，为了将镜基板200接合到致动器基板100 和安装基板300,外力可以在镜基板200被直接接合到安装基板300的区域中施加在镜基板 200上。具体地说，外力可以施加在与反射构件202的面内方向平行的面内方向上镜基板 200与致动器基板100不重叠的区域Κ中（如箭头所指示的那样）。因此，镜基板200可以 接合到安装基板300,而无需外力施加在接合部分201上。相应地，可以抑制接合部分201 的变形。
[0029] 如图1Β所示，镜基板200包括反射构件202,具有反射待校正的光的光学反射功 能。在反射构件202的两个表面中，纸张平面中的上侧上的表面充当反射表面R。反射构件 202被配置为覆盖致动器基板100。镜基板200由绝缘体上硅（SOI)基板构成，并且在已经 移除处理层（Si)和箱