作者。
[0129]像这样根据第I实施方式，一边使载台12移动，一边向形成有缝隙STl?ST6的遮光部40投影由条形图案PLl?PL4构成的图案列PT，由此从光电传感器H)输出光量信号。然后，基于根据光量信号求出的振幅比M，判断是否维持在对焦状态。
[0130]不使用分辨能力受像素尺寸等限制的CCD，而对基板W扫描焦点检测用的图案光，由此判断成像光学系统23的对焦或焦点模糊，因此能够精度良好地检测对焦状态。此外，在相对于存储于存储器中的主数据而确定的对焦范围AR中，由于振幅比的变化率单调地减少，因此在产生了焦点模糊的情况下，能够可靠地检测到焦点位置偏离对焦范围AR的方向。另一方面，光检测部28被兼用于曝光位置检测，因此无需为了焦点检测而设置专用CXD，能够抑制成本。
[0131]并且，图案光通过多个缝隙，根据其相对的移动量计算平均中心值，由此，即使在产生光源的波动或光电传感器的感光度偏差等的情况下，也能够抑制其影响。此外，多个条形图案通过多个缝隙，由此平均值的参数增大，从而精度良好地计测振幅比。
[0132]焦点检测用图案列的条形图案可以不与主扫描方向垂直，也可以与缝隙形成方向对应地确定图案形状，并以能够得到上述连续的光量分布的方式确定缝隙的主扫描方向宽度和图案光的主扫描方向宽度。关于光电传感器，还能够针对各扫描带设置光电传感器。
[0133]接下来，使用图10?13对第2实施方式进行说明。第2实施方式中，对成像光学系统的分辨性能进行监测。除此以外的结构与第I实施方式实质相同。
[0134]图10是示出维持分辨性能的情况下的光量分布和分辨性能下降的情况下的光量分布的图。
[0135]在成像光学系统23的分辨性能高(没问题)的情况下，如在第I实施方式中说明的那样，使接近分辨性能极限的条形图案的光通过I个缝隙而得到的空间的光量分布GD成为以其峰值为中心的高斯分布，在条形图案的边缘部，光量变化(倾斜度)比较大。但是，当分辨性能下降时，空间的光量分布GDl在条形图案的边缘部处的光量变化变缓，并且，峰值光量下降，从而成为平坦的波形光量分布。
[0136]其结果是，在由图案列PT形成的连续的空间的光量分布中，波形的山(峰值光量)和谷(底部光量)双方与中心位置的距呙变小。即，空间的光量分布的振幅变小。因而，将与所要求的最低限的分辨性能对应的振幅确定为基准振幅，与第I实施方式同样地，通过检测空间的光量分布的振幅，计算振幅比，由此能够监测分辨性能。
[0137]图11是示出了表示分辨率与振幅比之间的关系的曲线图的图。图12是示出具有作为基准的振幅的空间的光量分布的图。
[0138]在图11中，描绘出示出分辨率与振幅比之间的对应关系的曲线CG。其中，表示图11的曲线图横轴的分辨率表示相对于成像光学系统23的每单位长度(Imm)能够成像的直线根数。当分辨性能下降时振幅减小，所以随着振幅比的值变小而分辨率下降。因而，若所测量的振幅比比作为极限(下限)的振幅比DO大，则维持所要求的分辨性能。
[0139]图12所示的空间的光量分布GD’示出使与所要求的分辨性能的极限对应的相对于I个条形图案的空间的光量分布GD1、GD2邻接时得到的光量分布。与分辨性能极限对应的空间的光量分布GD1、GD2的波形是按照曝光装置的规格和成像光学系统23等的光学性能而确定的。
[0140]在将空间的光量分布GD’的振幅AO与分辨性能最高的情况下的最大振幅B之比(Α0/Β)确定为极限振幅比DO时，只要检测到的振幅A与基准振幅B之比A/B在DO以上，就能够判断为满足所需要的分辨性能。关于极限振幅比DO和曲线CG的数据被事先存储在存储器32中。
[0141]图13是示出分辨性能的监测处理的流程的图。与第I实施方式同样地，在任意的时机(批量生产开始时或每当经过规定时间时等)进行处理。
[0142]控制器30对DMD驱动电路24进行控制，使得一边使载台12移动一边朝向遮光部40照射条形图案列PT(S201)。然后，当基于从光电传感器H)输出的光量信号计算出振幅比M时(S202)，判断振幅比M是否在极限振幅比DO以上(S203)。在振幅比M小于极限振幅比DO的情况下，通过警报音蜂鸣等向操作者通知分辨性能下降(S204)。
[0143]像这样根据第2实施方式，一边使载台12移动，一边向形成有缝隙STl?ST6的遮光部40投影由条形图案PLl?PL4构成的图案列PT，由此从光电传感器H)输出光量信号。然后，基于根据光量信号求出的振幅比M，判断分辨率是否低于作为极限的分辨率。
[0144]在第I实施方式和第2实施方式中，由于图案列的线与间隙宽度相等，视为光量振幅的中心位置(平均光量)是恒定的，根据平均光量和图案非投影状态的光量计算对焦状态下的基准振幅，不过也可以利用除此以外的方法计算基准振幅，并且，即使在图案列的线与间隙宽度不相等的情况下，也能够求出振幅比。例如，在一边使光学系统或者基板移动一边进行的焦点调整中，也可以计算对焦状态或具有分辨率的状态下的波形光量的振幅，根据光源输出变动而在焦点检测时确定基准振幅。
[0145]另外，也可以不是一边使载台移动一边投影条形图案列，而是对CCD等图像传感器投影L/S图案光，根据其空间的光量分布判断对焦状态或分辨性能的状态。
[0146]下面，采用图14?20对第3实施方式进行说明。在第3实施方式中，对曝光区整体的光量分布进行检测，并监测是否存在光量下降。
[0147]第3实施方式的曝光装置采用与图1所示的第I实施方式同样的结构。不过，也可以不设置棱镜和棱镜驱动部。
[0148]为了调查是否不存在光学系统的劣化，每当批量的间歇或曝光作业时间经过规定时间，就进行光量测量。具体而言，一边使载台12以恒定速度移动，一边投影光量分布检测用的图案光。控制器30根据来自光检测部28的输出信号判断是否产生了光量下降。
[0149]并且，为了在准确的位置形成图案，在曝光动作开始之前进行关于曝光开始位置的校正处理。具体而言，一边使载台12以恒定速度移动，一边投影位置检测用的图案光。控制器30根据从运算部27传送来的位置信息来校正曝光开始位置。
[0150]下面，采用图14?15对对焦状态的检测、监测进行说明。
[0151]图14是不出光量分布测量用的图案列和遮光部的图。
[0152]光量分布测量用的图案PT是将分别具有图案长度Ly的多个条形图案PL1、PL2...沿着主扫描方向等间隔地排列而成的图案列(以下也称为线与间隙(L/S)图案)，与副扫描方向平行的各条形图案以节距PP等间隔地排列。此处的条形图案各自的宽度相当于沿着副扫描方向的I行的微镜的微小投影区宽度。
[0153]形成于遮光部40的缝隙SL具有比图案PT的沿着副扫描方向的长度Ly大的沿着副扫描方向的长度SLL。并且，缝隙SL相对于图案PT的线方向(长度方向)倾斜微小角度Θ。此处，如上所述，图案PT形成为相对于在载台12上限定的X — Y坐标系的Y方向(副扫描方向)倾斜微小角度Θ O (图3中未图示)。因而，缝隙SL相对于副扫描方向Y倾斜Θ 土 Θ O。
[0154]配置于缝隙SL的下方的光电传感器ro在此由具有I个受光面的I个光电二极管构成，仅接收穿过了具有条形的细长区域(测光区域)PDS的缝隙SL的光。S卩，在光电传感器ro的受光面整体区域PDS中，穿过了缝隙SL的光入射到其一部分区域。并且，光电传感器ro构成为，其沿副扫描方向的长度SB比图案长度Ly长，且具有比缝隙SL的宽度大的光电传感器宽度PDW，使得透过了缝隙SL的光全部到达光电传感器H)。另一方面，如后所述，缝隙宽度SLB比各条形图案的宽度小。
[0155]图案PT的节距PP被确定为比缝隙SL的沿着主扫描方向的占有长度B大。在此，占有长度B表示从缝隙SL的任意的点Tl (在此为与图案PT对应的缝隙位置)到沿副扫描方向离开Ly的点T2之间的、沿主扫描方向所占的长度(射影时的长度)，由于倾斜角度Θ微小，所以能够表示为:主扫描方向占有长度B N Lytan Θ。
[0156]通过像这样将图案节距PP设定为比缝隙SL的主扫描方向的占有长度B大，在图案PT通过缝隙SL时，从I个条形图案开始通过缝隙SL到通过结束之前，下一个条形图案不会开始通过缝隙SL。S卩，作为线性传感器的光电传感器ro按照时间序列一个一个地依次接收条形图案的光。
[0157]图15A?图15D是示出一个条形图案PLl通过缝隙SL的过程的图。图16是在一个条形图案PLl通过缝隙SL时所获得的沿着副扫描方向的光量分布。另外，为了说明，将缝隙SL相对于图案PT的倾斜角度夸张描绘出。
[0158]缝隙SL相对于条形图案PLl倾斜，因此条形图案PLl的长度方向一侧LTl在其端部EL处开始与缝隙SL交叉(参照图15A)。随着条形图案PLl的相对移动，图案PLl与缝隙SL的交叉范围R变宽(参照图15B)，从而缝隙SL与条形图案PLl的两侧LT1、LT2交叉。
[0159]在持续缝隙SL与条形图案PLl的两侧LTl、LT2交叉的状态之后(参照图15C)，转移到仅一侧LT2与条形图案PLl交叉的阶段，最终条形图案PLl整体超过缝隙SL (参照图 MD) ο
[0160]图16中示出在一个条形图案PLl通过缝隙SL时所检测到的沿着副扫描方向的光量分布。作为线性传感器的光电传感器H)按照时间序列对光量进行检测，但是如上所述，在从一个条形图案PLl开始与缝隙SL交叉直到结束交叉这期间，相邻的条形图案PL2不与缝隙SL交叉。
[0161]因而，在光电传感器H)中按时间序列地检测到的I个条形图案中的光量分布相当于沿着副扫描方向的光量分布。图16的㈧?⑶分别示出了条形图案PLl位于图15A?图lf5D所示的位置时的光量。
[0162]图17是示出按照光电传感器的光量检测时间间隔的缝隙的移动节距的图。
[0163]在每当缝隙SL沿着主扫描方向移动了移动节距d时在光电传感器H)中检测出光量的情况下，测量长度L( = Lx/tan Θ )移动沿着副扫描方向的节距P ( = d/tan Θ )。其中，测量长度L表不在光电传感器F1D中被检测光量的沿着副扫描方向的缝隙长度。
[0164]在此，图案PLl的宽度Lx与沿着主扫描方向的移动节距d相比足够大，测量长度L与沿着副扫描方向的节距P相比足够长(L > > P)。节距P表示沿着副扫描方向的分辨率，因此节距P比I个微镜的微小投影区尺寸(单元尺寸)小。
[0165]其结果是，在将每隔移动节距d检测到的光量分布视作沿着副扫描方向的光量分布时，该光量变化用单元尺寸以下的变化来表示，从而光量分布曲线变得平滑。即，能够得到图16所示那样的无阶梯差的光量分布曲线。每当条形图案依次通过缝隙SL时检测沿着副扫描方向的光