一种真空镀膜裂解器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜裂解器。
【背景技术】
[0002]聚对二甲苯具有良好的防护性和绝缘性以及生物相容性，其在真空环境中完全包覆产品，形成一个完整的防护。对于目前的制程来说，形成聚对二甲苯薄膜的方法一般为化学气相沉积法。首先，将粉末状的聚对二甲苯置于蒸发室中，并加热到150°C以使粉末状的聚对二甲苯汽化。然后，将聚对二甲苯气体传送至裂解室，并加热到650-800 V以进行裂解，再导入内部沉积装置中在室温下沉积聚合于产品表面。
[0003]目前的聚对二甲苯真空卧式沉积系统裂解装置与沉积装置间的密封结构采用主机内裂解管与真空腔室左侧延伸出的连接管管口通过法兰密封圈连接。由于裂解温度较高，法兰密封圈距离裂解高温段较近，热量直接由裂解管传导而来，法兰密封圈在此高温环境下容易老化，需要经常更换，同时在使用中存在漏气隐患易导致产品报废。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种真空镀膜裂解器，其具有结构简单，密封性好，不易老化，便于维修和更换的特点。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下:
[0006]一种真空镀膜裂解器，包括裂解室、连接管和缠绕于裂解室外侧的感应线圈，还包括连接头，所述连接头中部开设有通孔，连接头的一端设有连接环，连接头的另一端设有嵌接槽，连接头上开设有螺栓孔，所述螺栓孔分布于连接环的四周，所述裂解室与嵌接槽连接，所述连接头为两个，分别连接于裂解室两端，装配状态中，两个所述连接头分别通过连接环与连接管连接。
[0007]其中，所述嵌接槽的宽度h与裂解室的壁厚相匹配。则裂解室嵌入嵌接槽时可以互相紧密相接，增加密封性。
[0008]其中，所述连接环的内径大于所述通孔的直径。连接管的端口可放置于连接环内，并产生嵌套的效果，使连接管与连接头实现多位置紧密相接。
[0009]其中，所述连接环的内径与通孔的直径差值与连接管的壁厚相匹配。则连接管和通孔内壁无错开连通，蒸汽通过时不会产生额外的阻力，且可避免连接管与通孔的错开产生缝隙，减少泄露的可能。
[0010]其中，所述所述裂解室和连接头均由不锈钢材料制成。不锈钢材料的耐高温性和耐腐蚀，可延长裂解室和连接头的使用寿命。
[0011 ] 其中，真空镀膜裂解器还包括测温热电偶，所述测温热电偶设于裂解室外壁。
[0012]本实用新型的有益效果在于:使用时，两个连接头通过嵌接槽与裂解室连接，蒸发室和沉积装置分别通过连接管与裂解室两端连接头连接，其中连接管的端口嵌入连接头的连接环，然后用螺栓通过螺栓孔将连接管与连接头旋紧，本实用新型结构简单，使用方便，密封性良好，其中，
[0013]1、裂解室的端口嵌接入嵌接槽，由于是嵌接式，裂解室与嵌接槽紧密连接，则在不使用密封圈的情况下亦可保持裂解室与连接头的密封性，无需担心密封圈老化的问题；
[0014]2、连接管的连接端口嵌入连接头的连接环，则连接管与连接环紧密相接，然后用螺栓通过螺栓孔将连接管与连接头旋紧，增加连接管与连接头之间的密封性；
[0015]3、连接头与裂解室及连接管分别可拆卸连接，便于维修和更换。
【附图说明】
[0016]利用附图对实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[0017]图I是本实用新型的一种真空镀膜裂解器的结构示意图；
[0018]图2是图I的侧视图；
[0019]图3是本实用新型的连接头的剖视图；
[0020]图4是图3的右视图；
[0021]图5是图3的左视图；
[0022]图6本实用新型一种真空镀膜裂解器应用于真空镀膜机的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]结合以下实施例对本实用新型作进一步描述。
[0024]如图I至5所示，一种真空镀膜裂解器，包括裂解室2、连接管5和缠绕于裂解室2外侧的加热丝3，还包括连接头1，所述连接头I中部开设有通孔14，连接头I的一端设有连接环11，连接头I的另一端设有嵌接槽13，连接头I上开设有螺栓孔12，所述螺栓孔12分布于连接环11的四周，所述裂解室2与嵌接槽13连接，所述连接头I为两个，分别连接于裂解室2两端，使用时，两个所述连接头I通过连接环11与连接管5连接。
[0025]如图6所示，使用时，两个连接头I通过嵌接槽13与裂解室2连接，蒸发室4和沉积装置6分别通过连接管5与裂解室2两端连接头I的连接，其中连接管5的端口嵌入连接头I的连接环11，然后用螺栓通过螺栓孔12将连接管5与连接头I旋紧，其中，
[0026]1、裂解室2的端口嵌接入嵌接槽13，由于是嵌接式，裂解室2与嵌接槽13紧密连接，则在不使用密封圈的情况下亦可保持裂解室2与连接头I的密封性，无需担心密封圈老化的问题；
[0027]2、连接管5的端口嵌入连接头I的连接环11，则连接管5与连接环11紧密相接，然后用螺栓通过螺栓孔12将连接管5与连接头I旋紧，增加连接管5与连接头I之间的密封性；
[0028]3、连接头I与裂解室2及连接管5分别可拆卸连接，便于维修和更换。
[0029]其中，所述嵌接槽13的宽度h与裂解室2的壁厚相匹配。则裂解室2嵌入嵌接槽13时可以互相紧密相接，增加密封性。
[0030]其中，所述连接环11的内径大于所述通孔14的直径。连接管5的端口可放置于连接环11内，并产生嵌套的效果，使连接管5与连接头I实现多位置紧密相接。
[0031]其中，所述连接环11与通孔14的直径差值等于连接管5的壁厚。则连接管5和通孔14内壁无错开连通，蒸汽通过时不会产生额外阻力，且可避免连接管5与通孔14的错开产生缝隙，减少泄露的可能。
[0032]其中，所述螺栓孔12的数量为十六个，均匀分布于连接环11的四周。螺栓的锁紧力可均匀分布于连接头I与连接管5端口，避免受力不均匀引起连接处翘起，而产生的泄露问题。在实际应用中，螺栓孔12的数量可以为两个，三个，四个，或者更多，其作用与数量为十六个的作用等同。
[0033]其中，所述裂解室2和连接头I均由不锈钢材料制成。不锈钢材料耐高温和耐腐蚀，适用于高温裂解，延长裂解器的使用寿命。
[0034]本实施例中，真空镀膜裂解器还包括测温热电偶7，所述测温热电偶7设于裂解室2外壁。可随时监控裂解室2的温度，防止裂解材料产生焦化，或者因为温度过高而损坏仪器。
[0035]综上，本实用新型结构简单，使用方便，密封性良好，便于安装和维修。
[0036]最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
【主权项】
1.一种真空镀膜裂解器，包括裂解室(2)、连接管(5)和缠绕于裂解室(2)外侧的加热丝(3)，其特征在于:还包括连接头(1)，所述连接头(I)中部开设有通孔(14)，连接头(I)的一端设有连接环(11 )，连接头(I)的另一端设有嵌接槽(13)，连接头(I)上开设有螺栓孔(12)，所述螺栓孔(12)分布于连接环(11)的四周，所述裂解室(2)与嵌接槽(13)连接，所述连接头(I)为两个，两个连接头(I)分别连接于裂解室(2 )两端，装配状态中，两个所述连接头(I)分别通过连接环(11)与连接管(5 )连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜裂解器，其特征在于:所述嵌接槽(13)的宽度与裂解室(2)的壁厚相匹配。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜裂解器，其特征在于:所述连接环(11)的内径大于所述通孔(14)的直径。4.根据权利要求1或3所述的一种真空镀膜裂解器，其特征在于:所述连接环(11)的内径与通孔(14)的直径的差值等于连接管(5)的壁厚。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜裂解器，其特征在于:所述螺栓孔(12)的数量为至少两个，均匀分布于连接环(11)的四周。6.根据权利要求1或2所述的一种真空镀膜裂解器，其特征在于:所述裂解室(2)和连接头(I)均由不锈钢材料制成。7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜裂解器，其特征在于:还包括测温热电偶(7)，所述测温热电偶(7 )设于裂解室(2 )外壁。
【专利摘要】本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜裂解器，包括裂解室、连接管和缠绕于裂解室外侧的感应线圈，还包括连接头，所述连接头中间部分开设有通孔，连接头的一端设有连接环，连接头的另一端设有嵌接槽，连接头上开设有螺栓孔，所述螺栓孔分布于连接环的周围，所述裂解室与嵌接槽连接，所述连接头为两个，分别连接于裂解室两端，使用时，两个所述连接头分别通过连接环与连接管连接，其具有结构简单，密封性好，不易老化，便于维修和更换的特点。
【IPC分类】C23C16/448
【公开号】CN204779798
【申请号】CN201520413670
【发明人】肖桥兵
【申请人】广东易能纳米科技有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年6月16日