一种便于调节的硅晶棒倒角设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅晶片制造技术领域，具体讲是一种便于调节的硅晶棒倒角设备。
【背景技术】
[0002]在娃晶片生广制造的过程中，首先需要将娃晶棒进行切片，但是在切片之前为了保证切片后硅晶片的质量需要将硅晶棒倒角，未倒角的硅晶棒切片后的硅晶片边缘表面会存在有棱角毛刺崩边甚至有裂缝等缺陷，边缘表面比较粗糙，为了增加硅晶片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，因此需要将硅晶棒的边缘磨削呈圆弧状或梯形。倒角工序大都在硅晶棒倒角设备上进行，目前有一种硅晶棒倒角设备包括机体，机体内设有打磨组件，机体上设有两块限位块，所述两限位块之间形成有适于对放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部设有打磨口，所述打磨组件的打磨部件位于打磨口内，所述限位块分为活动限位块和固定限位块，所述活动限位块通过驱动组件驱动其在水平方向上靠近或远离所述固定限位块。在实践操作中，通过对活动限位块与固定限位块之间间距的调节，实现在实际生产时根据不同规格的硅晶棒对V形槽底部的打磨口宽度的调整，但是目前活动限位块的固定方式大都是采用螺栓固定的方式，在调整打磨口宽度时，先手动松动螺栓，将活动限位块沿水平方向平移到合适位置时再锁紧螺栓，此种调整的方式往往不够准确需要多次调节活动限位块的位置，操作极为繁琐。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种便于调节的硅晶棒倒角设备，此设备可以快捷的对V形槽底部打磨口的宽度进行调节，提高工作效率。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型提出一种便于调节的硅晶棒倒角设备，包括机体，机体内设有打磨组件，机体上设有两块限位块，所述两限位块之间形成有适于对放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部设有打磨口，所述机体内与所述打磨口对应的位置设有打磨组件，两限位块中的一个为固定限位块，另一个为活动限位块，所述机体上设有带动所述活动限位块在水平方向上靠近或远离所述固定限位块的驱动组件，驱动组件包括设于机体上的至少两根水平且平行设置的丝杆和一根传动轴，所述各丝杆的一端与所述活动限位块上的螺孔配合，所述各丝杆的另一端设有第一锥齿轮，所述传动轴垂直于丝杆设置，并在其上设有与所述第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，所述传动轴的端部设有利于旋转其的旋拧部。
[0005]采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点:与原有的手工调整相比，通过旋拧传动轴端部的旋拧部驱动传动轴转动，由于传动轴的两端设有与丝杆上第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，因此在传动轴转动时能够带动各丝杆同步转动，又因丝杆和活动限位块上的螺孔配合，因而在丝杆转动时能够带动活动限位块在水平方向上平移至合适位置，从而实现对V形槽下端的打磨口宽度的调节，以应对不同规格的硅晶棒，调节方便快捷，有效节省调整时间，提高工作效率。
[0006]作为改进，V形槽的上方设有用于将硅晶棒翻转的翻转机构，所述翻转机构包括固定在机体上的支架、水平设置的第一活动板、驱动第一活动板上下移动的第一气缸、两相对设置的第二活动板、固定在所述第一活动板上的用于驱动两第二活动板相向或相离运动的第二气缸，所述第二气缸为两端均设有气缸杆的双轴气缸，两第二活动板内侧相对位置装设有适于夹持硅晶棒的夹块，各夹块可绕自身轴线转动，其中一夹块由驱动电机驱动旋转，这样，打磨完成后通过翻转机构将硅晶棒翻转90度再对下一棱角打磨，节省人工翻转硅晶棒所需要消耗的人力和时间，有效提高工作效率。
[0007]作为改进，第一活动板上设有沿第二气缸轴向设置的燕尾凸台或/和燕尾槽，所述第二活动板的上端设有适于与所述燕尾凸台或/和燕尾槽滑动配合的燕尾槽或/和燕尾凸台，这样，通过燕尾凸台与燕尾槽的配合从而将第一活动板与第二活动板活动连接，所述第二活动板在受第二气缸驱使移动的过程中，燕尾凸台与对应的燕尾槽位置随之发生相对移动，在翻转硅晶棒时，硅晶棒的重量由第一活动板和第二气缸的气缸杆共同承担，从而能够避免仅由第二气缸的气缸杆承受硅晶棒重量时容易发生弯曲变形的问题，延长使用寿命。
[0008]作为改进，所述第二气缸通过螺栓组件固定在第一活动板上，所述第一活动板上对应安装第二气缸的位置设有定位凸台，所述第二气缸上设有与所述定位凸台配合的定位槽，这样，将定位凸台与定位槽配合后，能够将第二气缸快速定位，从而便于第二气缸上的螺孔与第一活动板上的螺孔对齐，方便螺栓组件固定。
[0009]作为改进，螺栓组件包括紧固螺栓和与之配合的弹性垫片及力矩螺母，这样一来就能够将第二气缸牢靠的固定在第一活动板上。
[0010]作为改进，驱动组件外部设有罩壳，这样，可以避免杂质和油污进入对丝杆和传动轴造成损坏，提尚设备的可靠性。
[0011]作为改进，旋拧部为外六角、内六角或旋柄，这样，可通过多种方式驱动传动轴转动，便于实现，同时方便实际使用。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型中硅晶棒倒角设备的结构示意图。
[0013]图2为本实用新型中驱动组件的透视图。
[0014]图3为本实用新型中，第二活动板与第一活动板连接时的左视图。
[0015]图中所示，1、机体，3、支架，5、第一活动板，6、第一气缸，7、第二活动板，8、第二气缸，9、夹块，10、导向杆，11、燕尾槽，12、燕尾凸台，13、螺栓组件，14、电机，15、打磨口，16、活动限位块，17、固定限位块，18、丝杆，19、传动轴，20、第一锥齿轮，21、第二锥齿轮，22、旋拧部，23、罩壳。
【具体实施方式】
[0016]下面对本实用新型作进一步详细的说明:
[0017]本实用新型提出一种便于调节的硅晶棒倒角设备，包括机体I，机体I内设有打磨组件，机体I上设有两块限位块，所述两限位块之间形成有适于对放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部设有打磨口 15，所述机体I内与所述打磨口 15对应的位置设有打磨组件，两限位块中的一个为固定限位块17，另一个为活动限位块16，所述机体I上设有带动所述活动限位块16在水平方向上靠近或远离所述固定限位块17的驱动组件，驱动组件包括设于机体I上的至少两根水平且平行设置的丝杆18和一根传动轴19，所述各丝杆18的一端与所述活动限位块16上的螺孔配合，所述各丝杆18的另一端设有第一锥齿轮20，所述传动轴19垂直于丝杆18设置，并在其上设有与所述第一锥齿轮20相啮合的第二锥齿轮21，所述传动轴19的端部设有利于旋转其的旋拧部22。本实用新型与原有的手工调整相比，通过旋拧传动轴19端部的旋拧部22驱动传动轴19转动，由于传动轴19的两端设有与丝杆18上第一锥齿轮20相啮合