Mo源合成装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及有机化合物加工技术领域，特别涉及一种MO源合成装置。
【背景技术】
[0002]“MO源”即高纯金属有机化合物或化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。其中:主要MO源品种有三甲基镓(CH3)3Ga TMGa、三乙基镓(C2H5)3Ga TEGa、三甲基铟(CH3)3In TMIn等。
[0003]对于三甲基镓源合成时，传统使用液体卤代烷生产MO源，为了降低MO源的生产成本，企业使用气体卤代烷代替液体卤代烷进行MO源生产，虽然气体卤代烷相对于液体卤代烷价格便宜，但是直接将液化齒代烷单纯气化输送至反应釜，齒代烷浓度较高，且反应釜气压不稳定，导致MO源合成装置反应难以控制，使得MO源合成过程的安全性较低。
[0004]因此，如何提高MO源合成过程的安全性，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种MO源合成装置，以提高MO源合成过程的安全性。
[0006]为实现上述目的，本实用新型提供一种MO源合成装置，包括反应釜、液化卤代烷储存装置、惰性气体气源、水分处理装置、气体缓冲装置和尾气处理装置，所述液化齒代烷储存装置与水分处理装置通过第一管路连通，所述惰性气体气源与所述第一管路连通，所述水分处理装置与所述气体缓冲装置通过第二管路连通，所述气体缓冲装置与所述反应釜通过第三管路连通，所述尾气处理装置与所述反应釜的排气端连通。
[0007]优选地，所述水分处理装置包括分子筛。
[0008]优选地，所述水分处理装置还包括用于加热所述分子筛的分子筛加热装置。
[0009]优选地，还包括设置在所述第三管路上的气体流量计。
[0010]优选地，还包括连通在所述反应釜与所述尾气处理装置之间的冷凝器。
[0011]优选地，所述冷凝器与所述第一管路连通。
[0012]优选地，还包括连通在所述冷凝器与所述尾气处理装置之间的尾气收集装置，所述尾气收集装置设有液化齒代烷加热装置，所述尾气收集装置通过第四管路与所述反应釜连通。
[0013]在上述技术方案中，本实用新型提供的MO源合成装置包括反应釜、液化卤代烷储存装置、惰性气体气源、水分处理装置、气体缓冲装置和尾气处理装置，其中，液化齒代烷储存装置与水分处理装置通过第一管路连通，惰性气体气源与第一管路连通，水分处理装置与气体缓冲装置通过第二管路连通，气体缓冲装置与反应釜通过第三管路连通，尾气处理装置与反应釜的排气端连通。当需要进行MO源合成时，液化卤代烷输出气化，与惰性气体混合，通过水分处理装置除去水分，进过气体缓冲装置，保证气化齒代烷输入平稳，在反应釜内发生反应后，反应后剩余气体经尾气处理装置净化处理。
[0014]通过上述描述可知，在本实用新型提供的MO源合成装置中，通过设置惰性气体，便于安全运输气态齒代烷，同时通过水分处理装置，避免水分影响反应，通过气体缓冲装置将气态卤代烷按预设量稳定向反应釜输送，保证反应釜内气压稳定，因此，本申请提供的MO源合成装置能够提高MO源合成过程的安全性。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型实施例所提供的MO源合成装置的结构示意图。
[0016]其中图1中:1-水分处理装置、2-气体缓冲装置、3-反应釜、4-尾气收集装置、5-尾气处理装置、6-冷凝器、7-气体流量计、8-惰性气体气源、9-液化卤代烷储存装置。
【具体实施方式】
[0017]本实用新型的核心是提供一种MO源合成装置，以提高MO源合成过程的安全性。
[0018]为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。
[0019]请参考图1，在一种【具体实施方式】中，本实用新型提供的MO源合成装置包括反应釜
3、液化齒代烷储存装置9、惰性气体气源8、水分处理装置1、气体缓冲装置2和尾气处理装置5，其中，液化卤代烷储存装置9与水分处理装置I通过第一管路连通，惰性气体气源8与第一管路连通，水分处理装置I与气体缓冲装置2通过第二管路连通，其中水分处理装置I可以为传统性性能稳定干燥剂。气体缓冲装置2与反应釜3通过第三管路连通，尾气处理装置5与反应釜3的排气端连通，尾气处理装置5将尾气中的卤代烷处理，减少对环境污染。
[0020]当需要进行MO源合成时，液化卤代烷输出气化，与惰性气体混合，通过水分处理装置I除去水分，进过气体缓冲装置2，保证气化卤代烷输入平稳，在反应釜3内发生反应后，反应后剩余气体经尾气处理装置5净化处理。
[0021]通过上述描述可知，在本实用新型具体实施例所提供的MO源合成装置中，通过设置惰性气体，便于安全运输气态齒代烷，同时通过水分处理装置I，避免水分影响反应，通过气体缓冲装置2将气态齒代烷按预设量稳定向反应釜3输送，使得反应釜3内气压稳定，因此，本申请提供的MO源合成装置能够提高MO源合成过程的安全性。
[0022]为了提高水分处理装置I的吸附性能，优选，水分处理装置I包括分子筛。为了延长分子筛的使用寿命，优选，该水分处理装置I还包括用于加热分子筛的分子筛加热装置。通过将分子筛加热，可以使分子筛吸附上水分子连续地失去，而分子筛晶体骨架结构不变，便于重复使用。
[0023]进一步，该MO源合成装置还包括设置在第三管路上的气体流量计7。通过设置气体流量计7，便于工作人员及时得知进入反应釜3内气体的流量，进一步提高了 MO源合成过程的安全性。
[0024]更进一步，该MO源合成装置还包括连通在反应釜3与尾气处理装置5之间的冷凝器
6。通过设置冷凝器6，便于将未反应的气体卤代烷液化成液态储存，便于再次使用，降低的MO源合成的成本。
[0025]优选的，冷凝器6与第一管路连通。由于冷凝器6与第一管路连通，冷凝后的卤代烷可以再次参加反应，避免单独储存的情况，优化了 MO源合成装置的整体结构。
[0026]进一步，该MO源合成装置还包括连通在冷凝器6与尾气处理装置5之间的尾气收集装置4，具体的，该尾气收集装置4可以为夹套式收集装置，其中尾气收集装置4可以贯穿由冷却液输送管，便于对未反应的气态齒代烷进一步液化收集，尾气收集装置4设有液化卤代烷加热装置，尾气收集装置4通过第四管路与反应釜3连接，尾气收集装置4可以为两个，在工作时，可以一备一用。液化卤代烷加热装置将液化的卤代烷气化，通过第四管路输送至反应釜3进行反应，避免原料浪费。
[0027]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0028]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【主权项】
1.一种MO源合成装置，其特征在于，包括反应釜(3)、液化卤代烷储存装置(9)、惰性气体气源(8)、水分处理装置(1)、气体缓冲装置(2)和尾气处理装置(5)，所述液化卤代烷储存装置(9)与水分处理装置(I)通过第一管路连通，所述惰性气体气源(8)与所述第一管路连通，所述水分处理装置(I)与所述气体缓冲装置(2)通过第二管路连通，所述气体缓冲装置(2)与所述反应釜(3)通过第三管路连通，所述尾气处理装置(5)与所述反应釜(3)的排气端连通。2.根据权利要求1所述的MO源合成装置，其特征在于，所述水分处理装置(I)包括分子筛。3.根据权利要求2所述的MO源合成装置，其特征在于，所述水分处理装置(I)还包括用于加热所述分子筛的分子筛加热装置。4.根据权利要求1所述的MO源合成装置，其特征在于，还包括设置在所述第三管路上的气体流量计(7)。5.根据权利要求4所述的MO源合成装置，其特征在于，还包括连通在所述反应釜(3)与所述尾气处理装置(5)之间的冷凝器(6)。6.根据权利要求5所述的MO源合成装置，其特征在于，所述冷凝器(6)与所述第一管路连通。7.根据权利要求5所述的MO源合成装置，其特征在于，还包括连通在所述冷凝器(6)与所述尾气处理装置(5)之间的尾气收集装置(4)，所述尾气收集装置(4)设有液化卤代烷加热装置，所述尾气收集装置(4)通过第四管路与所述反应釜(3)连通。
【专利摘要】本实用新型公开了一种MO源合成装置，包括反应釜、液化卤代烷储存装置、惰性气体气源、水分处理装置、气体缓冲装置和尾气处理装置，其中，液化卤代烷储存装置与水分处理装置通过第一管路连通，惰性气体气源与第一管路连通，水分处理装置与气体缓冲装置通过第二管路连通，气体缓冲装置与反应釜通过第三管路连通，尾气处理装置与反应釜的排气端连通。通过设置惰性气体，便于安全运输气态卤代烷，同时通过水分处理装置，避免水分影响反应，通过气体缓冲装置将气态卤代烷按预设量，稳定向反应釜输送，保证反应釜内气压稳定，本申请提供的MO源合成装置能够提高MO源合成过程的安全性。
【IPC分类】C07F5/00
【公开号】CN205295198
【申请号】
【发明人】肖辉, 朱刘, 于金凤, 刘留
【申请人】清远先导材料有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2015年12月15日