技术编号：10018180
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在WET etching (湿式蚀刻)进行蚀刻时，去光阻时会使用喷洒头进行定量喷洒并连动机台左右摇摆以达成蚀刻的需求。但是这种蚀刻药液喷洒结构，一直存在因喷洒头进行喷洒时水雾重叠问题，如图1所示，水雾重叠处因流动性不佳容易导致蚀刻不均的现象，且因一单一机台喷洒头数量很多(一机台有三个蚀刻槽，每个蚀刻槽有54个喷洒头，一台机台总共喷洒头数量就有162个)，为了确保喷洒头喷洒状况正常不堵塞，需花费更多的人力进行维护、点检。实用新型内容针对上述问题，本实用新型提...
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