湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种湿式蚀刻机领域，具体来说涉及一种湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构。
【背景技术】
[0002]在WET etching (湿式蚀刻)进行蚀刻时，去光阻时会使用喷洒头进行定量喷洒并连动机台左右摇摆以达成蚀刻的需求。
[0003]但是这种蚀刻药液喷洒结构，一直存在因喷洒头进行喷洒时水雾重叠问题，如图1所示，水雾重叠处因流动性不佳容易导致蚀刻不均的现象，且因一单一机台喷洒头数量很多(一机台有三个蚀刻槽，每个蚀刻槽有54个喷洒头，一台机台总共喷洒头数量就有162个)，为了确保喷洒头喷洒状况正常不堵塞，需花费更多的人力进行维护、点检。
【实用新型内容】
[0004]针对上述问题，本实用新型提供一种湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，以解决现有技术中喷洒头进行喷洒时存在水雾重叠问题的问题。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0006]湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，包括一空心管，所述空心管的中部与带动其转动的转轴连接，所述转轴与驱动电机连接，所述空心管的下端设置有轴向的以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙。
[0007]在本实用新型的一个优选实施例中，所述空心管的长度不小于被蚀刻基板的长度。
[0008]在本实用新型的一个优选实施例中，所述空心管为方形空心管，所述喷洒间隙设置在所述方形空心管的下端面。
[0009]在本实用新型的一个优选实施例中，所述空心管为圆形空心管，所述喷洒间隙设置在所述圆形空心管的下端。
[0010]在本实用新型的一个优选实施例中，所述喷洒间隙为“V”形结构。
[0011 ] 在本实用新型的一个优选实施例中，所述喷洒间隙为开口槽结构。
[0012]本实用新型采用驱动电机带动空心管转动，在空心管上开设以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙，因空心管旋转可使蚀刻药液在基板表面由中心往外均匀扩散，藉以达到较好的蚀刻均匀性。因本实用新型只使用一根空心管进行药液喷洒即可，减少机台使用喷洒头的数量，可有效降低维护、备料与人力点检的成本。
[0013]本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
【附图说明】
[0014]图1为现有技术中湿式蚀刻机机台内的喷洒头进行喷洒的示意图。
[0015]图2为本实用新型在实施例中的示意图。
[0016]图3为空心管的一种结构示意图。
[0017]图4为空心管的另一种结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进一步阐述本实用新型。
[0019]参见图2，湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，包括一空心管10，空心管10的长度不小于被蚀刻基板30的长度。
[0020]空心管的中部与带动其转动的转轴20连接，转轴20与驱动电机(图中未标示)连接，空心管的下端设置有轴向的以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙。
[0021]参见图3，空心管为方形空心管11，喷洒间隙设置在所述方形空心管的下端面。在本实施例中，喷洒间隙为开口槽结构12。
[0022]当然，空心管也可以是其他形状，参见图4，空心管为圆形空心管13，所述喷洒间隙设置在所述圆形空心管的下端。在本实施例中，喷洒间隙“V”形结构14。
[0023]本实用新型采用驱动电机带动空心管转动，在空心管上开设以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙，因空心管旋转可使蚀刻药液在基板表面由中心往外均匀扩散，藉以达到较好的蚀刻均匀性。因本实用新型只使用一根空心管进行药液喷洒即可，减少机台使用喷洒头的数量，可有效降低维护、备料与人力点检的成本。
[0024]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，包括一空心管，所述空心管的中部与带动其转动的转轴连接，所述转轴与驱动电机连接，所述空心管的下端设置有轴向的以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙。2.根据权利要求1所述的湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，所述空心管的长度不小于被蚀刻基板的长度。3.根据权利要求1所述的湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，所述空心管为方形空心管，所述喷洒间隙设置在所述方形空心管的下端面。4.根据权利要求1所述的湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，所述空心管为圆形空心管，所述喷洒间隙设置在所述圆形空心管的下端。5.根据权利要求1所述的湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，所述喷洒间隙为“V”形结构。6.根据权利要求1所述的湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，其特征在于，所述喷洒间隙为开口槽结构。
【专利摘要】本实用新型公开了一种湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构，包括一空心管，所述空心管的中部与带动其转动的转轴连接，所述转轴与驱动电机连接，所述空心管的下端设置有轴向的以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙。本实用新型采用驱动电机带动空心管转动，在空心管上开设以便于蚀刻药液流出的喷洒间隙，因空心管旋转可使蚀刻药液在基板表面由中心往外均匀扩散，藉以达到较好的蚀刻均匀性。因本实用新型只使用一根空心管进行药液喷洒即可，减少机台使用喷洒头的数量，可有效降低维护、备料与人力点检的成本。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN204927251
【申请号】CN201520684905
【发明人】江昌隆
【申请人】上海和辉光电有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年9月7日