技术编号:10043588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅烷是生产多晶硅的基本原料,广泛应用电子及半导体工业中。传统硅烷生产塔内部从上往下依此设置为填料压圈、填料、支撑栅栏、液体再分布器、填料压圈、填料、支撑栅栏。传统硅烷塔的填料及进料结构存在反应速度慢、反应效率低和原材料利用率低的缺点。发明内容本实用新型的目的是提供一种结构简单,安全可靠,反应效率高的新型的硅烷生产塔。本实用新型的目的是这样实现的—种硅烷生产塔,包括塔身,所述塔身内部从上往下依次设有冷凝器、填料压圈、上填料层、叔胺类催化剂层、下填料层、支撑栅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。