技术编号:10272018
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在多晶硅片的制造过程中,需要把硅棒粘在一起形成硅锭,然后对硅锭进行切片处理。硅锭在切片时,硅锭两端的受力情况、浆料工作状态和中间部分的工况不同中间部分的品质均一,而两端部分(约3毫米)的硅锭往往不能达到质量要求。因此,如果硅锭的两端不能达到质量要求,切片时就需要在硅锭的两端留出3_的宽度不再布线网切片,以保证中间部分的硅片质量良好。这种硅锭两端留下来的部分就被称作线网厚片。线网厚片是硅锭两端约3mm厚156x156的厚片,由于在切片工艺中线网厚片粘了约2m...
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