摆动台及其传动机构的制作方法技术资料下载

技术编号:10349390

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在半导体加工、工件检测、航空航天器件姿态调整、机床分度等场合中,经常要用到摆动台(尤其是小角度摆动台)。摆动台包括基底和通过弧形导轨被支撑在基底上的台面,该台面上表面为用于支撑工件的支撑面,当台面沿弧形导轨滑动时,支撑面则摆动,从而实现其上工件的摆动。为给台面提供动力,现有的摆动台传动机构一般是蜗轮蜗杆形式,即蜗杆连接电机,而蜗轮的下半部有齿并与蜗杆啮合,蜗轮上半部则直接连接台面,从而当蜗杆转动时带动蜗轮转动,蜗轮进一步带动台面摆动。但是,要产生足够的力带...
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