摆动台及其传动机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于摆动台技术领域，具体涉及一种摆动台及其传动机构。
【背景技术】
[0002]在半导体加工、工件检测、航空航天器件姿态调整、机床分度等场合中，经常要用到摆动台(尤其是小角度摆动台)。摆动台包括基底和通过弧形导轨被支撑在基底上的台面，该台面上表面为用于支撑工件的支撑面，当台面沿弧形导轨滑动时，支撑面则摆动，从而实现其上工件的摆动。
[0003]为给台面提供动力，现有的摆动台传动机构一般是蜗轮蜗杆形式，即蜗杆连接电机，而蜗轮的下半部有齿并与蜗杆啮合，蜗轮上半部则直接连接台面，从而当蜗杆转动时带动蜗轮转动，蜗轮进一步带动台面摆动。
[0004]但是，要产生足够的力带动台面，蜗轮必须有较大的尺寸，这导致其难加工，成本高；同时，涡轮蜗杆间是滑动配合，必然存在反向间隙，导致其摆动精度低，且蜗轮蜗杆的磨损严重，使用寿命短。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型针对现有摆动台的传动机构难加工、成本高、摆动精度低、使用寿命短的问题，提供一种成本低、摆动精度高、使用寿命长的摆动台及其传动机构。
[0006]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种摆动台传动机构，其包括:
[0007]螺杆，其一端用于与转动输出结构连接；
[0008]螺母，其套设于所述螺杆上并与螺杆匹配；
[0009]弹片，在所述螺杆的轴向方向上弹片的一端与所述螺母连接，另一端用于与台面连接，且所述弹片在螺杆的轴向方向上能被压缩或拉伸。
[0010]优选的是，所述弹片的一端与所述螺母的上侧连接，另一端用于与所述台面的下侧连接。
[0011]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种摆动台，其包括:
[0012]基底，其包括第一弧形导轨；
[0013]台面，其包括与所述第一弧形导轨匹配的第二弧形导轨，并通过所述第二弧形导轨被支撑在基底上；
[0014]转动输出结构，其用于输出转动运动；
[0015]螺杆，其一端与所述转动输出结构连接；
[0016]螺母，其套设于所述螺杆上并与螺杆匹配；
[0017]弹片，在所述螺杆的轴向方向上弹片的一端与所述螺母连接，另一端与台面连接，且所述弹片在螺杆的轴向方向上能被压缩或拉伸。
[0018]优选的是，所述螺杆和弹片均设于所述台面下方。
[0019]进一步优选的是，所述弹片的一端与所述螺母的上侧连接，另一端与所述台面的下侧连接。
[0020]优选的是，所述螺杆和第一弧形导轨在水平方向上的投影相互平行。
[0021]优选的是，所述第一弧形导轨和第二弧形导轨的弧形的凸出部指向下方。
[0022]优选的是，所述基底还包括支撑部，所述螺杆远离转动输出结构的一端被所述支撑部支撑。
[0023]优选的是，所述转动输出结构为电机或手柄。
[0024]本实用新型的摆动台通过“螺杆(螺母)+弹片”的方式进行传动，由此，其至少可达到以下的有益效果:
[0025](a)螺杆与螺母间紧密配合，不存在反向间隙，故摆动精度高；
[0026](b)不需要使用大型蜗轮等，故易于加工，成本低；
[0027](C)不存在滑动，故磨损小，使用寿命长；
[0028](d)螺杆可通过弹片持续施加很大的作用力，使大型摆动台成为可能。
[0029]本实用新型用于摆动台，尤其是小角度摆动台。
【附图说明】
[0030]图1为本实用新型的实施例的一种摆动台的局部透视的俯视结构示意图；
[0031]图2为本实用新型的实施例的一种摆动台的一个剖面结构示意图；
[0032]图3为本实用新型的实施例的一种摆动台的另一个方向的剖视结构示意图；
[0033]其中，附图标记为:1、基底；11、第一弧形导轨；19、支撑部;2、台面;21、第二弧形导轨;29、支撑面;3、转动输出结构;4、螺杆;5、螺母;6、弹片;9、滚珠。
【具体实施方式】
[0034]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0035]实施例1:
[0036]如图1至图3所示，本实施例提供一种摆动台。
[0037]该摆动台用于在半导体加工、工件检测、航空航天器件姿态调整、机床分度等场合中支撑工件，其优选为小角度摆动台。
[0038I具体的，以上摆动台包括:
[0039]基底I，其包括第一弧形导轨11;
[0040]台面2，其包括与第一弧形导轨11匹配的第二弧形导轨21，并通过第二弧形导轨21被支撑在基底I上；
[0041 ]转动输出结构3，其用于输出转动运动；
[0042]螺杆4，其一端与转动输出结构3连接；
[0043]螺母5，其套设于螺杆4上并与螺杆4匹配；
[0044]弹片6，在螺杆4的轴向方向上弹片6的一端与螺母5连接，另一端与台面2连接，且弹片6在螺杆4的轴向方向上能被压缩或拉伸。
[0045]也就是说，与常规的摆动台类似，本实施例的摆动台也包括基底I和台面2，台面2具有用于支撑工件的支撑面29，而基底I则是台面2的基础。台面2通过相互配合的弧形导轨被支撑在基底I上，从而当台面2和基底I中的弧形导轨相对滑动时，台面2即在基底I上摆动，并带动支撑面29上的工件摆动。
[0046]优选的，以上第一弧形导轨11和第二弧形导轨21的弧形的凸出部指向下方。
[0047]也就是说，以上的弧形导轨优选是相对于水平面“下凹”的凹弧形，从而有利于保证台面2运动的稳定性。
[0048]其中，作为本实施例的一种方式，如图3所示，以上两个弧形导轨可包括设在基底I和台面2的相对侧面上的弧形凹槽，而弧形凹槽中设有滚珠9，故