技术编号：10423021
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷和烧结六大工序。其中，镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜，减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。目前，光伏行业大多采用管式PECVD对硅片镀膜，操作员工将花篮中的硅片插入专门的石墨舟里，然后将石墨舟放入炉管中镀膜。石墨舟的单元舟片上设置有3个卡槽，卡住硅片的三条边，将硅片固定住。由于卡槽对硅片有一定的遮挡，导致硅片的卡槽处没有镀上氮化硅膜或氮化硅膜很...
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