一种真空吸附石墨舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种真空吸附石墨舟。
【背景技术】
[0002]在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷和烧结六大工序。其中，镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜，减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。
[0003]目前，光伏行业大多采用管式PECVD对硅片镀膜，操作员工将花篮中的硅片插入专门的石墨舟里，然后将石墨舟放入炉管中镀膜。石墨舟的单元舟片上设置有3个卡槽，卡住硅片的三条边，将硅片固定住。由于卡槽对硅片有一定的遮挡，导致硅片的卡槽处没有镀上氮化硅膜或氮化硅膜很薄，颜色明显不同，卡槽也容易使硅片产生崩边和缺口，从而增加电池的不合格率。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种能形成整面均匀的氮化硅镀膜，减少太阳能电池产品的不良率的真空吸附石墨舟。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空吸附石墨舟，所述石墨舟设有有可装载硅片的若干个单元舟片，每个单元舟片为中空结构，每个单元舟片设置有吸附孔和石墨插销，每个单元舟片均与石英管道相连接。
[0006]作为上述方案的改进，所述若干个单元舟片均匀分布在石墨舟上。
[0007]作为上述方案的改进，所述每个单元舟的厚度为8mm-10mm。
[0008]作为上述方案的改进，所述石英管道的直径为3mm-5mm。
[0009]作为上述方案的改进，所述每个单元舟片设置有五个吸附孔。
[0010]作为上述方案的改进，所述五个吸附孔设在单元舟片的一侧壁上。
[0011]作为上述方案的改进，所述石墨插销固定在单元舟片的上表面。
[0012]作为上述方案的改进，所述石英管道与单元舟片的上表面相连接。
[0013]实施本实用新型实施例，具有如下有益效果:本实用新型通过设有若干个有可装载硅片的单元舟片，每个单元舟片为中空结构，每个单元舟片设置有吸附孔和石墨插销，每个单元舟片均与石英管道相连接，石英管道抽去每个单元舟片内的空气后就通过吸附孔吸入氮气，不同于传统石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片产生崩边和缺口，使硅片形成整面均匀的氮化硅镀膜，减少太阳能电池产品的不良率的优点。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型一种真空吸附石墨舟示意图；
[0015]图2是本实用新型单元舟片的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述。
[0017]如图1、图2所示，本实用新型的一种真空吸附石墨舟，所述石墨舟设有可装载硅片的多个单元舟片I，每个单元舟片I为中空结构，每个单元舟片I设置有吸附孔11和石墨插销12，每个单元舟片I均与石英管道2相连接。
[0018]作为实施例的改进，多个单元舟片I均匀分布在石墨舟上。每个单元舟I的厚度为8mm-10mm。所述石英管道的直径为3mm-5mm。每个单元舟片I设置有五个吸附孔11。五个吸附孔11设在单元舟片I的一侧壁上。石墨插销12固定在单元舟片I的上表面。石英管道2与单元舟片I的上表面相连接。
[0019]本实用新型的一种真空吸附石墨舟通过设有可装载硅片的多个单元舟片I，每个单元舟片I为中空结构，每个单元舟片设置有吸附孔11和石墨插销12，每个单元舟片I均与石英管道2相连接，石英管道2抽去每个单元舟片I内的空气后就通过吸附孔吸入氮气，不同于传统石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片产生崩边和缺口，使硅片形成整面均匀的氮化硅镀膜，减少太阳能电池产品的不良率的优点。
[0020]最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
【主权项】
1.一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨舟设有可装载硅片的若干个单元舟片，每个单元舟片为中空结构，每个单元舟片设置有吸附孔和石墨插销，每个单元舟片均与石英管道相连接。2.如权利要求1所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述若干个单元舟片均匀分布在石墨舟上。3.如权利要求1所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述每个单元舟的厚度为8mm-1Omm04.如权利要求1所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石英管道的直径为3mm-5mm ο5.如权利要求1所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述每个单元舟片设置有五个吸附孔。6.如权利要求5所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述五个吸附孔设在单元舟片的一侧壁上。7.如权利要求1所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨插销固定在单元舟片的上表面。8.如权利要求1所述一种真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石英管道与单元舟片的上表面相连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空吸附石墨舟，所述石墨舟设有若干个单元舟片，每个单元舟片为中空结构，每个单元舟片设置有吸附孔和石墨插销，每个单元舟片均与石英管道相连接。与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型通过设有若干个单元舟片，每个单元舟片为中空结构，每个单元舟片设置有吸附孔和石墨插销，每个单元舟片均与石英管道相连接，石英管道抽去每个单元舟片内的空气后就通过吸附孔吸入氮气，不同于传统石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片产生崩边和缺口，使硅片形成整面均匀的氮化硅镀膜，减少太阳能电池产品的不良率的优点。
【IPC分类】H01L21/673, H01L31/18
【公开号】CN205335233
【申请号】CN201521142692
【发明人】方结彬, 秦崇德, 石强, 黄玉平, 何达能, 陈刚
【申请人】广东爱康太阳能科技有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2015年12月31日