一种双层扩散石英舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种石英舟，具体涉及一种双层扩散石英舟，属于太阳能电池技术领域。
【背景技术】
[0002]在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷和烧结六大工序。其中，扩散工序的目的是在硅片正面形成PN结，PN结在太阳光的照射下产生光生伏打效应。
[0003]目前，光伏行业普遍采用管式扩散炉对硅片扩散，每管500多片硅片，操作员工使用吸笔将花篮中的硅片吸住插入专门的石英舟里，然后将石英舟放入炉管中扩散。扩散后，待石英舟从炉管中出来冷却后，操作员工再用吸笔将硅片卸到花篮中。现有石英舟为单层，有500多个凹槽，长度为1.5-2米。扩散气体从炉尾运动到炉口，需要一定的时间，气体运动速度会下降，气体浓度会逐渐降低，导致硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性很差，进而制约电池光电转换效率的提升。
【发明内容】
[0004]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种双层扩散石英舟，提高扩散气体在炉管内的均匀性，从而提高硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性，进而提升电池的光电转换效率。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用的一种双层扩散石英舟，所述石英舟采用上下双层结构，包括第一层石英舟体及位于第一层石英舟体正上方的第二层石英舟体，所述第一层石英舟体、第二层石英舟体上均设有200-300个插槽，该石英舟的长度为0.5-1米。
[0006]作为改进，所述第一层石英舟体、第二层石英舟体分别包括四根横梁，每层石英舟体的上下两端各为两根横梁，水平横梁之间的距离和上下横梁之间的距离均小于156mm，每根横梁上设有若干用于固定硅片的插槽。
[0007]作为改进，所述第一层石英舟体包括位于上端的第一层上横梁I和第一层上横梁Π、及位于下端的第一层下横梁I和第一层下横梁Π，所述第一层上横梁I和第一层上横梁Π位于同一水平面，所述第一层下横梁I和第一层下横梁π位于同一水平面，所述第一层石英舟体中各横梁分别相互平行。
[0008]作为改进，所述第二层石英舟体包括位于上端的第二层上横梁I和第二层上横梁Π、及位于下端的第二层下横梁I和第二层下横梁Π，所述第二层上横梁I和第二层上横梁Π位于同一水平面，所述第二层下横梁I和第二层下横梁π位于同一水平面，所述第二层石英舟体中各横梁分别相互平行。
[0009]作为改进，横梁上的各插槽宽度相同。
[00?0]作为进一步改进，所述插槽宽度为l_3mm。
[0011]作为改进，横梁上的各插槽间的槽间隔宽度相同。
[0012]作为进一步改进，所述槽间隔宽度为1-3_。
[0013]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:该扩散石英舟为双层结构，长度仅是传统扩散石英舟的一半左右，将有效减少扩散气体的传输距离，提高扩散气体在炉管内的均匀性，从而提高硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性，进而提升电池的光电转换效率。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构不意图；
[0015]图2为本实用新型中横梁上插槽结构示意图；
[0016]图中:1、第一层石英舟体，11、第一层上横梁I，12、第一层上横梁Π，13、第一层下横梁1，14、第一层下横梁Π，2、第二层石英舟体，21、第二层上横梁1，22、第二层上横梁Π，23、第二层下横梁1，24、第二层下横梁Π，3、插槽。
【具体实施方式】
[0017]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。
[0018]如图1、图2所示，一种双层扩散石英舟，所述石英舟采用上下双层结构，包括第一层石英舟体I及位于第一层石英舟体I正上方的第二层石英舟体2，所述第一层石英舟体1、第二层石英舟体2上均设有200-300个插槽，该石英舟的长度为0.5-1米。
[0019]作为实施例的改进，所述第一层石英舟体1、第二层石英舟体2分别包括四根横梁，每层石英舟体的上下两端各为两根横梁，水平横梁之间的距离和上下横梁之间的距离均小于156mm，每根横梁上设有若干用于固定硅片的插槽3，结构设计合理，有效降低了石英舟的长度，同时采用双层结构，每次硅片的扩散加工量不会降低，且能明显提高扩散气体在炉管内的均匀性，从而提高硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性。
[0020]作为实施例的改进，所述第一层石英舟体I包括位于上端的第一层上横梁Ill和第一层上横梁Π 12、及位于下端的第一层下横梁113和第一层下横梁Π 14，所述第一层上横梁Ill和第一层上横梁Π 12位于同一水平面，所述第一层下横梁113和第一层下横梁Π 14位于同一水平面，所述第一层石英舟体I中各横梁分别相互平行。
[0021]作为实施例的改进，所述第二层石英舟体2包括位于上端的第二层上横梁121和第二层上横梁Π 22、及位于下端的第二层下横梁123和第二层下横梁Π 24，所述第二层上横梁121和第二层上横梁Π 22位于同一水平面，所述第二层下横梁123和第二层下横梁Π 24位于同一水平面，所述第二层石英舟体2中各横梁分别相互平行。结构设计合理，将待扩散硅片放入不同横梁的插槽内时，相互间不影响，确保各个硅片有序扩散加工；同时依靠对不同横梁的合理布局，能有效减少扩散气体的传输距离，提高扩散气体在炉管内的均匀性，从而提高硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性。
[0022]作为实施例的改进，横梁上的各插槽3宽度相同，所述插槽3宽度为l_3mm，加工简单，安装硅片方便。
[0023]作为实施例的改进，横梁上的各插槽3间的槽间隔宽度相同，所述槽间隔宽度为1-3mm，结构设计合理，加工简单，安装娃片方便。
[0024]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述石英舟采用上下双层结构，包括第一层石英舟体(I)及位于第一层石英舟体(I)正上方的第二层石英舟体(2)，所述第一层石英舟体(1)、第二层石英舟体(2)上均设有200-300个插槽，该石英舟的长度为0.5-1米。2.根据权利要求1所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述第一层石英舟体(I)、第二层石英舟体(2)分别包括四根横梁，每层石英舟体的上下两端各为两根横梁，水平横梁之间的距离和上下横梁之间的距离均小于156mm，每根横梁上设有若干用于固定硅片的插槽⑶。3.根据权利要求2所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述第一层石英舟体(I)包括位于上端的第一层上横梁I(Il)和第一层上横梁Π (12)、及位于下端的第一层下横梁I(13)和第一层下横梁Π (14)，所述第一层上横梁I(Il)和第一层上横梁Π (12)位于同一水平面，所述第一层下横梁1(13)和第一层下横梁Π (14)位于同一水平面，所述第一层石英舟体(I)中各横梁分别相互平行。4.根据权利要求2或3所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述第二层石英舟体(2)包括位于上端的第二层上横梁1(21)和第二层上横梁Π(22)、及位于下端的第二层下横梁1(23)和第二层下横梁Π (24)，所述第二层上横梁1(21)和第二层上横梁Π (22)位于同一水平面，所述第二层下横梁1(23)和第二层下横梁Π (24)位于同一水平面，所述第二层石英舟体(2)中各横梁分别相互平行。5.根据权利要求2所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，横梁上的各插槽(3)宽度相同。6.根据权利要求5所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述插槽(3)宽度为1-3mm ο7.根据权利要求2所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，横梁上的各插槽(3)间的槽间隔宽度相同。8.根据权利要求7所述的一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述槽间隔宽度为l-3mm。
【专利摘要】本实用新型公开一种双层扩散石英舟，属于太阳能电池技术领域，所述石英舟采用上下双层结构，包括第一层石英舟体(1)及位于第一层石英舟体(1)正上方的第二层石英舟体(2)，所述第一层石英舟体(1)、第二层石英舟体(2)上均设有200-300个插槽，该石英舟的长度为0.5-1米。该扩散石英舟为双层结构，长度仅是传统扩散石英舟的一半左右，将有效减少扩散气体的传输距离，提高扩散气体在炉管内的均匀性，从而提高硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性，进而提升电池的光电转换效率。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN205335234
【申请号】CN201521142785
【发明人】方结彬, 秦崇德, 石强, 黄玉平, 何达能, 陈刚
【申请人】广东爱康太阳能科技有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2015年12月31日