一种双层扩散石英舟的制作方法技术资料下载

技术编号:10423022

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在光伏太阳能行业,太阳能电池的制造要经过制绒,扩散,刻蚀,镀膜,丝网印刷和烧结六大工序。其中,扩散工序的目的是在硅片正面形成PN结,PN结在太阳光的照射下产生光生伏打效应。目前,光伏行业普遍采用管式扩散炉对硅片扩散,每管500多片硅片,操作员工使用吸笔将花篮中的硅片吸住插入专门的石英舟里,然后将石英舟放入炉管中扩散。扩散后,待石英舟从炉管中出来冷却后,操作员工再用吸笔将硅片卸到花篮中。现有石英舟为单层,有500多个凹槽,长度为1.5-2米。扩散气体从炉尾运...
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