一种石英舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种石英制品用到的设备，尤其涉及一种可存放硅片的石英舟。
【背景技术】
[0002]石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时用到的工具。
[0003]授权公告号为CN202503019U，授权公告日为2012年10月24日的中国发明专利公开了一种能够承载不同规格硅片的多功能石英舟，属于石英制品技术领域。多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨和龙筋，所述龙骨和龙筋上均设置有成排的卡槽，所述龙骨和龙筋上的卡槽均设置在内上角。本发明创造性地采用“内上角”技术固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式较之以往发生了改变，使得原本石英舟只适应一种规格大小的硅片变成了可以适应多种大小规格的硅片。但是该发明存在如下不足之处:设置的卡槽为矩形槽，硅片在插入时不容易定位，容易破坏硅片两边的结构，影响硅片的质量;该发明虽然能够存放不同规格大小的硅片，但是却不能同时存放不同形状的硅片，例如不同既存放矩形硅片又能存放圆形硅片，适用范围较窄。
【发明内容】
[0004]为了克服上述石英舟存在的卡槽损坏硅片结构的缺陷，本发明提供了一种石英舟，该石英舟改进了卡槽的形状，能够快速放入娃片，定位娃片，且不会造成娃片结构的破坏，不影响硅片的质量。
[0005 ]本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是:
一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于:所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。
[0006]所述支座上设置有上横向滑槽和下横向滑槽，上连接杆穿过上横向滑槽，下连接杆穿过下横向滑槽，上连接接杆和下连接杆上均套接有紧固螺母，紧固螺母能够将上连接杆和下连接杆分别固定在上横向滑槽内和下横向滑槽内。
[0007]所述上连接杆至少有两根，所述下连接杆至少有一根。
[0008]与现有技术相比，本发明具有以下有益效果:
本发明包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于:所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本发明的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。
[0009]本发明支座上设置有上横向滑槽和下横向滑槽，上连接杆穿过上横向滑槽，下连接杆穿过下横向滑槽，上连接接杆和下连接杆上均套接有紧固螺母，紧固螺母能够将上连接杆和下连接杆分别固定在上横向滑槽内和下横向滑槽内。上连接杆至少有两根，所述下连接杆至少有一根，通过调节上连接杆之间的距离以及下连接杆的在下横向滑槽的位置，可以满足不同规格和不同形状的硅片的放置。适用范围大大扩大。
【附图说明】
[0010]图1是本发明整体结构示意图；
图2是图1的侧视图；
图3是本发明卡槽的结构示意图。
[0011]图中标记:1、支座，2、上连接杆，3、下连接杆，4、卡槽，5、过渡圆角，6、紧固螺母，7、上横向滑槽，8、下横向滑槽。
【具体实施方式】
[0012]下面结合实施例对本发明作进一步的描述，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的其他所用实施例，都属于本发明的保护范围。
[0013]实施例1
本实施例包括两个支座1、上连接杆2和下连接杆3，两个支座I通过上连接杆2和下连接杆3连接成一个整体，上连接杆2连接在支座I的上半部，下连接杆3连接在支座I的下半部，上连接杆2和下连接杆3上均设置有多个卡槽4，其特征在于:所述卡槽4为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角5。本实施例的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有一根。
[0014]实施例2
本实施例包括两个支座1、上连接杆2和下连接杆3，两个支座I通过上连接杆2和下连接杆3连接成一个整体，上连接杆2连接在支座I的上半部，下连接杆3连接在支座I的下半部，上连接杆2和下连接杆3上均设置有多个卡槽4，其特征在于:所述卡槽4为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角5。本实施例的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有一根。
[0015]本实施例支座I上设置有上横向滑槽7和下横向滑槽8，上连接杆2穿过上横向滑槽7，下连接杆3穿过下横向滑槽8，上连接接杆2和下连接杆3上均套接有紧固螺母6，紧固螺母6能够将上连接杆2和下连接杆3分别固定在上横向滑槽7内和下横向滑槽8内。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有两根，通过调节上连接杆之间的距离以及下连接杆的在下横向滑槽的位置，可以满足不同规格和不同形状的硅片的放置。适用范围大大扩大。
[0016]实施例3
本实施例包括两个支座1、上连接杆2和下连接杆3，两个支座I通过上连接杆2和下连接杆3连接成一个整体，上连接杆2连接在支座I的上半部，下连接杆3连接在支座I的下半部，上连接杆2和下连接杆3上均设置有多个卡槽4，其特征在于:所述卡槽4为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角5。本实施例的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有两根。
【主权项】
1.一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于:所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。2.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于:所述支座上设置有上横向滑槽和下横向滑槽，上连接杆穿过上横向滑槽，下连接杆穿过下横向滑槽，上连接接杆和下连接杆上均套接有紧固螺母，紧固螺母能够将上连接杆和下连接杆分别固定在上横向滑槽内和下横向滑槽内。3.根据权利要求1或2所述的一种石英舟，其特征在于:所述上连接杆至少有两根，所述下连接杆至少有一根。
【专利摘要】本发明公开了一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本发明能够快速放入硅片，定位硅片，且不会造成硅片结构的破坏，不影响硅片的质量。
【IPC分类】H01L21/673, H01L21/68
【公开号】CN105514005
【申请号】CN201610007466
【发明人】沈根法, 宋伟宏
【申请人】湖州奥博石英科技有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2016年1月7日