一种新型石英舟架的制作方法

文档序号:8787919阅读:494来源:国知局
一种新型石英舟架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶硅太阳能电池制作工装领域,尤其涉及一种扩散用石英舟架。
【背景技术】
[0002]扩散是太阳能硅电池片生产过程中关键的一步工序,扩散时首先在扩散设备的硅碳桨上放置石英舟架,然后将插满多晶硅片的石英舟放置在石英舟架上,通过硅碳桨将石英舟架送入扩散炉。在扩散工程中扩散炉中的待反应气体是垂直于硅片吹入,易造成两侧的多晶硅片扩散不均匀,为避免这种现象,我们在石英舟架两侧各放置一块挡板,起到均匀气体、平衡扩散炉中的待反应气体的气氛的作用。但是由于挡板是直接挂靠在石英舟架两侦U,如果摆放不到位的时候,当硅碳桨把石英舟送入扩散炉时,挡板会碰到扩散炉,随着电机的运动,挡板有发生滑落的可能,挡板滑落时,会把硅片砸碎,导致工艺中断,增加了生产成本,同时降低了产量。

【发明内容】

[0003]本实用新型为了解决现有技术中的不足而提供一种新型新型石英舟架,随着扩散次数的增多,不会发生挡板的移位,可以保证扩散工艺安全持续地进行。
[0004]为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
[0005]一种新型石英舟架,包括横杆、侧板、挡板,横杆两端固定侧板,所述的挡板与侧板固定连接,随着扩散次数的增多,不会发生挡板的移位,可以保证扩散工艺安全持续地进行。
[0006]作为本实用新型所述的新型石英舟架的一种优选方案,所述的挡板与侧板焊接固定,固定牢靠,焊接工艺简单成熟,不会破坏石英舟架主体结构,使用寿命长。
[0007]作为本实用新型所述的新型石英舟架的一种优选方案,所述的挡板与侧板卡扣式连接,优选的卡扣设在挡板的外表面上,卡扣分别向下、左、右三个方向,卡扣包括限位边和固定边,优选的卡扣呈L型,与挡板直接连接的为限位边,限位边的厚度与侧板厚度相同,将挡板紧贴侧板内壁向下插,三个卡扣从左、右和上方三个方向卡住侧板,通过卡扣式连接,既能避免侧板移位,同时由可以在挡板损坏或需要清洗时,向上移动挡板,取下挡板进行更换及清洗。
[0008]作为本实用新型所述的新型石英舟架的一种优选方案,所述的挡板与侧板合二为一,一体成型,减少了石英的用量及重量。
【附图说明】
[0009]图1是现有的石英舟架结构示意图。
[0010]图2为本实用新型所述的一种新型石英舟架结构示意图。
[0011]图3为本实用新型所述的另一种新型石英舟架结构示意图。
[0012]其中:1、横杆2、侧板3、挡板4、卡扣
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0014]实施例1
[0015]图1为现有的石英舟架结构,包括横杆1、侧板2、挡板3,两根横杆I并行排列,横杆两端固定侧板2,挡板3与侧板非固定设置,直接靠在侧板两侧,当硅碳桨把石英舟送入扩散炉时,挡板可能会碰到扩散炉,随着电机的运动,挡板有发生滑落的可能,挡板滑落时,会把硅片砸碎,导致工艺中断,增加了生产成本,同时降低了产量。
[0016]本实用新型所述的新型石英舟架,包括横杆1、侧板2、挡板3,两根横杆I并行排列,横杆两端固定侧板2,挡板3与侧板2固定连接,优选的挡板3与侧板2可以通过焊接固定,也可以通过卡扣连接。如图2所示,为一种卡扣连接的石英舟架,卡扣4设在挡板3的外表面上,卡扣4分别向下、左、右三个方向,卡扣包括限位边和固定边,优选的卡扣呈L型,与挡板直接连接的为限位边,限位边的厚度与侧板厚度相同,将挡板紧贴侧板内壁向下插,三个卡扣从左、右和上方三个方向卡住侧板,通过卡扣式连接,既能避免侧板移位,同时由可以在挡板损坏或需要清洗时,向上移动挡板,取下挡板进行更换及清洗。
[0017]如图3所示,我们也可以将挡板与侧板合二为一,一体成型,直接将挡板3与横杆I连接,减少了石英的用量及重量。
[0018]虽然说明书中对本实用新型的实施方式进行了说明,但这些实施方式只是作为提示,不应限定本实用新型的保护范围。在不脱离本实用新型宗旨的范围内进行各种省略、置换和变更均应包含在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种新型石英舟架,包括横杆、侧板、挡板,横杆两端固定侧板,其特征在于:所述的挡板与侧板固定连接。
2.根据权利要求1所述的新型石英舟架,其特征在于:所述的挡板与侧板焊接固定。
3.根据权利要求1所述的新型石英舟架,其特征在于:所述的挡板与侧板卡扣式连接。
4.根据权利要求3所述的新型石英舟架,其特征在于:所述的挡板外表面设有三个卡扣,卡扣分别向下、左、右三个方向。
5.根据权利要求4所述的新型石英舟架,其特征在于:所述的卡扣包括限位边和固定边,与挡板直接连接的为限位边,限位边的厚度与侧板厚度相同。
6.根据权利要求1所述的新型石英舟架,其特征在于:所述的挡板与侧板合二为一,一体成型。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型石英舟架,包括横杆、侧板、挡板,横杆两端固定侧板,所述的挡板与侧板固定连接,可以通过焊接或者通过卡扣方式进行固定。既能平衡扩散气体,又能防止挡板移位而碰到扩散炉而发生挡板滑落,可以保证扩散工艺安全持续地进行,提高了产量、节约了生产成本。
【IPC分类】H01L21-673, H01L31-18
【公开号】CN204497206
【申请号】CN201520261886
【发明人】钱小芳, 杨征, 杨冬生
【申请人】中建材浚鑫科技股份有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年4月27日
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