旋转扩散石英舟的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种旋转扩散石英舟，由四块呈矩形结构的石英挡板以长边为衔接端两两相接围合而成，其一端设置有用于连接旋转电机的接头，并且每块石英挡板的其中一条长边上设置有硅片卡扣；所述石英挡板之间通过石英板卡扣可拆式连接；所述硅片卡扣呈L形。这种旋转扩散石英舟会保证每片硅片四周所接受到的P元素量相当，最终控制了方阻极差，可达到5欧以下，这样下来电池的电性能也将得到可观的改善。
【专利说明】旋转扩散石英舟
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及太阳能电池片扩散领域，尤其涉及一种旋转扩散石英舟。
【背景技术】
[0002]太阳能电池片扩散工序需在高温炉管中进行PN结制作，其中硅片以石英舟作为载体，使硅片置于高温炉管中进行工艺。一般的太阳能电池扩散用石英舟都是安装在扩散炉管上进行的。原有扩散设备采用炉尾进源，上方喷淋磷源的方法进行扩散，这样会导致P元素的分布在同一片上不够均匀，因为表面浓度的差异导致的方阻极差可达到10欧以上，最终造成了开压和FF的一定程度的损失。
【发明内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种能够保证每片硅片四周接受到的P元素相当的旋转扩散石英舟。
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种旋转扩散石英舟，由四块呈矩形结构的石英挡板以长边为衔接端两两相接围合而成，其一端设置有用于连接旋转电机的接头，并且每块石英挡板的其中一条长边上设置有硅片卡扣。
[0005]作为优选，所述石英挡板之间通过石英板卡扣可拆式连接。
[0006]作为优选，所述硅片卡扣呈L形。
[0007]与现有技术相比，本实用新型的有益之处是:这种旋转扩散石英舟会保证每片硅片四周所接受到的P元素量相当，最终控制了方阻极差，可达到5欧以下，这样下来电池的电性能也将得到可观的改善。
[0008]【专利附图】
【附图说明】:
[0009]下面结合附图对本实用新型进一步说明。
[0010]图1是本实用新型旋转扩散石英舟的结构示意图。
[0011]图中:1、石英挡板；2、硅片卡扣；3、石英板卡扣；4、接头。
[0012]【具体实施方式】:
[0013]下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型进行详细描述:
[0014]图1所示一种旋转扩散石英舟，由四块呈矩形结构的石英挡板I以长边为衔接端两两相接围合而成，所述石英挡板I之间通过石英板卡扣3可拆式连接，其一端设置有用于连接旋转电机的接头4，并且每块石英挡板I的其中一条长边上设置有硅片卡扣2，所述硅片卡扣2呈L形,方便放置娃片。
[0015]其具体使用方式如下，将硅片插接在石英挡板I上的硅片卡扣2内，然后将组装好的石英舟安装固定在改进后能够360度自旋式的炉管桨上，保证在旋转时候片和舟不会脱离桨，桨采用电机旋转带动，转速控制在I转/分，整个扩散工艺保持不变。
[0016]这种旋转扩散石英舟会保证每片硅片四周所接受到的P元素量相当，最终控制了方阻极差，可达到5欧以下，这样下来电池的电性能也将得到可观的改善。
[0017]需要强调的是:以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【权利要求】
1.一种旋转扩散石英舟，其特征在于:由四块呈矩形结构的石英挡板(I)以长边为衔接端两两相接围合而成，其一端设置有用于连接旋转电机的接头(4)，并且每块石英挡板Cl)的其中一条长边上设置有硅片卡扣(2)。
2.根据权利要求1所述的旋转扩散石英舟，其特征在于:所述石英挡板(I)之间通过石英板卡扣(3)可拆式连接。
3.根据权利要求1所述的旋转扩散石英舟，其特征在于:所述硅片卡扣(2)呈L形。
【文档编号】H01L31/18GK203983313SQ201420363463
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2014年7月3日 优先权日:2014年7月3日
【发明者】费存勇, 鲁伟明, 初仁龙, 王志刚 申请人:泰州德通电气有限公司