专利名称：一种扩散石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种扩散石英舟。
背景技术：
扩散エ艺是太阳能硅电池的生产エ艺的关键エ序之一，一般是将P型硅片在扩散后表面变成N型，形成P-N结，使得硅片具有光伏效应。扩散エ艺需要使用ー种夹具以夹住硅片，然后将夹有硅片的夹具送入扩散炉内进行集中扩散，而石英材料因其纯度高、耐高温、耐酸、耐碱的特性成为制作这种夹具的极佳材料，用石英材料制成的夹具人们称之为石英舟。大多数扩散用的石英舟主要包括舟架和四根横杆，横杆上开设有娃片插槽，扩散时娃 片可插在四根横杆的插槽内，目前大多数扩散エ艺采用的是单面扩散，每个插槽插两片硅片，一次扩散一般要扩散200个娃片,相应地姆根横杆上才插槽为102个，姆个插槽宽度为0. 75 0. 85mm，插槽间距为4. 71 4. 81mm，扩散时只能扩散到硅片的其中一面，这样硅片在扩散过程中吸杂不彻底，存在比较多的缺陷造成硅片少子寿命偏低，硅片的光电转换效率也较低，大约在17. 60%左右，此时对应的エ艺參数为
权利要求1.一种扩散石英舟，包括底座以及固定设置于底座上的舟体，其特征是 所述舟体包括舟架和横杆，所述横杆为四根，所述四根横杆固定设置于所述舟架上，所述每根横杆呈柱状且长度相等，所述每根横杆的两个端面分别位于同一平面内， 所述每根横杆上设有多个插槽，所述每根横杆上的插槽的数目一祥，所述每个插槽的宽度相等，所述每两个相邻插槽之间的间距亦相等，所述每个插槽的中心线垂直于所述横杆。
2.根据权利要求I所述的扩散石英舟，其特征是所述每根横杆上的插槽的数目为201个。
3.根据权利要求I所述的扩散石英舟，其特征是所述每根插槽的宽度为0.35 0. 45mm。
4.根据权利要求I所述的扩散石英舟，其特征是所述每两个相邻插槽之间的间距为2. 33 2. 43mm。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散石英舟，包括底座以及固定设置于底座上的舟体，所述舟体包括舟架和横杆，所述横杆为四根，所述四根横杆固定设置于所述舟架上，所述每根横杆呈柱状且长度相等，所述每根横杆的两个端面分别位于同一平面内，所述每根横杆上设有多个插槽，所述每根横杆上的插槽的数目一样，所述每个插槽的宽度相等，所述每两个相邻插槽之间的间距亦相等，所述每个插槽的中心线垂直于所述横杆。本实用新型可在保证产量不变的情况下实现双面扩散，有效提高硅片的少子寿命和光电转换效率。
文档编号H01L21/673GK202394853SQ201120502558
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者季健, 李艳苹, 陆赟, 黄林锋 申请人:苏州盛隆光电科技有限公司