一种组合式石英舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到硅单晶生产领域中检测样块用到的石英舟，具体的说是一种组合式石英舟。
【背景技术】
[0002]单晶硅的生产过程中，需要对晶棒的氧、碳、电阻率等参数进行检测，而在单晶硅中因为氧施主的存在，会导致测量数据失真。因此在单晶棒拉制完成后，在单晶棒特定位置切取1~5_的样块若干个，在样块检测前需要对样块进行退火处理，消除氧施主，确保检测数据的准确性。在进行一些特殊工艺时，对检测样块进行退火也是不可缺少的。退火是将单晶硅样块放在石英舟内，在720°C的退火炉中恒温20分钟，然后将单晶硅样块从退火炉中取出，快速冷却至室温的过程。石英舟在退火过程中是必不可少的载体，它既能承受高温又能保证单晶硅样块的洁净度，是退火工艺中非常关键的辅助器件。
[0003]通常的石英舟根据样块的直径不同分为不同的规格，例如，样块的直径分为4英寸、5英寸和6英寸，那么就会有4英寸、5英寸和6英寸三种规格的石英舟。退火前，根据样块直径不同将样块放入不同规格的石英舟中，因退火炉空间限制每次只能将一种规格的石英舟放入退火炉。这样的退火方法存在以下几个方面的问题:(1)效率低，不利于大规模生产；(2)退火次数多，浪费资源；(3)操作频繁，增加员工工作量。
【实用新型内容】
[0004]为解决现有技术的石英舟只能装载一种规格的单晶硅样块，本实用新型提供了一种组合式石英舟，该石英舟能够装载4英寸、5英寸和6英寸三种规格的单晶硅片，从而解决了传统石英舟在使用过程中要对不同直径检测样块分次进行退火问题。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种组合式石英舟，包括舟体和覆盖在舟体上部的石英玻璃护板，所述石英玻璃护板的中部设有矩形槽，该矩形槽的长度方向与舟体的长度方向相同，且沿矩形槽长度方向的两侧对称分布有若干横槽；所述舟体的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽，该沟槽的位置和宽度与石英玻璃护板上横槽的位置和宽度对应；所述舟体的两侧壁倾斜设置，且两侧壁下部的间距小于上部的间距，六根横柱中的横柱五、横柱六、横柱三和横柱四分成两组对称设置在舟体的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板配合放置6英寸单晶硅样块和5英寸单晶硅样块；六根横柱中的横柱一和横柱二设置在舟体的底部，以使其与横柱三、横柱四配合放置4英寸单晶硅样块。
[0006]所述横柱五和横柱六距离舟体底部的垂直高度为90mm，两者的间距为131mm ;所述横柱三和横柱四距离舟体底部的垂直高度为50mm，两者的间距为106mm ;所述横柱一和横柱二设置在舟体的底部，两者的间距为45mm。
[0007]所述石英玻璃护板上矩形槽的长为280mm，宽为50mm，其两侧横槽的长度55mm。
[0008]所述沟槽的深度为3mm，宽度为2~6mm。
[0009]本实用新型中，横柱一和横柱二设置在舟体的底部，其与两侧壁中部的横柱三、横柱四配合放置4英寸单晶硅样块；舟体两侧壁中部的横柱三和横柱四与上部的横柱五和横柱六配合放置5英寸单晶硅样块；舟体两侧壁上部的横柱五和横柱六与石英玻璃护板的横槽配合放置6英寸单晶硅样块。
[0010]有益效果:本实用新型通过在石英舟舟体的侧壁和底部设置横柱以及沟槽，使其与石英玻璃护板配合实现兼容4英寸、5英寸、6英寸的单晶硅样块，减少现场石英舟配置，操作方便、劳动效率高，并且能够兼容1~5_厚度的单晶硅样块。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]图2为图1的左视图；
[0013]图3为石英玻璃护板的结构示意图；
[0014]图4为沟槽的放大示意图；
[0015]附图标记:1、舟体，2、横柱一，3、横柱二，4、横柱三，5、横柱四，6、横柱五，7、横柱六，8、石英玻璃护板，9、4英寸单晶硅样块，10、5英寸单晶硅样块，11、6英寸单晶硅样块，12、矩形槽，13、横槽，14、沟槽。
【具体实施方式】
[0016]如图所不，一种组合式石英舟，包括舟体I和覆盖在舟体I上部的石英玻璃护板8，所述石英玻璃护板8的中部设有矩形槽12，该矩形槽12的长度方向与舟体I的长度方向相同，且沿矩形槽12长度方向的两侧对称分布有若干横槽13，矩形槽12的长为280mm，宽为50mm，其两侧横槽13的长度55mm ;所述舟体I的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽14，该沟槽14的位置和宽度与石英玻璃护板8上横槽13的位置和宽度对应，沟槽14的深度为3mm，宽度为2~6mm ;所述舟体I的两侧壁倾斜设置，且两侧壁下部的间距小于上部的间距，六根横柱中的横柱五6、横柱六7、横柱三4和横柱四5分成两组对称设置在舟体I的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板8配合放置6英寸单晶硅样块11和5英寸单晶硅样块10:舟体I两侧壁中部的横柱三4和横柱四5与上部的横柱五6和横柱六7配合放置5英寸单晶硅样块；舟体I两侧壁上部的横柱五6和横柱六7与石英玻璃护板8的横槽13配合放置6英寸单晶硅样块；六根横柱中的横柱一 2和横柱二 3设置在舟体I的底部，以使其与横柱三4、横柱四5配合放置4英寸单晶硅样块9 ；
[0017]所述横柱五6和横柱六7距离舟体I底部的垂直高度为90mm，两者的间距为131mm ;所述横柱三4和横柱四5距离舟体I底部的垂直高度为50mm，两者的间距为106mm ;所述横柱一 2和横柱二 3设置在舟体I的底部，两者的间距为45mm。
【主权项】
1.一种组合式石英舟，包括舟体(I)和覆盖在舟体(I)上部的石英玻璃护板(8)，其特征在于:所述石英玻璃护板(8)的中部设有矩形槽(12)，该矩形槽(12)的长度方向与舟体(O的长度方向相同，且沿矩形槽(12)长度方向的两侧对称分布有若干横槽(13);所述舟体(I)的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽(14)，该沟槽(14)的位置和宽度与石英玻璃护板(8)上横槽(13)的位置和宽度对应；所述舟体(I)的两侧壁倾斜设置，且两侧壁下部的间距小于上部的间距，六根横柱中的横柱五(6)、横柱六(7)、横柱三(4)和横柱四(5)分成两组对称设置在舟体(I)的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板(8)配合放置6英寸单晶硅样块(11)和5英寸单晶硅样块(10);六根横柱中的横柱一(2)和横柱二(3)设置在舟体(I)的底部，以使其与横柱三(4)、横柱四(5)配合放置4英寸单晶硅样块(9)。2.根据权利要求1所述的一种组合式石英舟，其特征在于:所述横柱五(6)和横柱六(7)距离舟体(I)底部的垂直高度为90mm，两者的间距为131mm ;所述横柱三(4)和横柱四(5)距离舟体(I)底部的垂直高度为50mm，两者的间距为106mm;所述横柱一(2)和横柱二(3)设置在舟体(I)的底部，两者的间距为45mm。3.根据权利要求1所述的一种组合式石英舟，其特征在于:所述石英玻璃护板(8)上矩形槽(12)的长为280mm，宽为50mm，其两侧横槽(13)的长度55mm。4.根据权利要求1所述的一种组合式石英舟，其特征在于:所述沟槽(14)的深度为3mm,宽度为 2~6mm。
【专利摘要】一种组合式石英舟，包括舟体和覆盖在舟体上部的石英玻璃护板，舟体的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽，其中，横柱五、横柱六、横柱三和横柱四分成两组对称设置在舟体的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板配合放置6英寸和5英寸单晶硅样块；横柱一和横柱二设置在舟体的底部，以使其与横柱三、横柱四配合放置4英寸单晶硅样块。本实用新型通过在石英舟舟体的侧壁和底部设置横柱以及沟槽，使其与石英玻璃护板配合实现兼容4英寸、5英寸、6英寸的单晶硅样块，减少现场石英舟配置，操作方便、劳动效率高，并且能够兼容1~5mm厚度的单晶硅样块。
【IPC分类】C30B33/02
【公开号】CN204874829
【申请号】CN201520609257
【发明人】李京涛, 王新, 李中军, 方丽霞
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年8月14日