一种石墨舟定位夹紧装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片的自动化生产设备领域，尤其涉及一种石墨舟定位夹紧装置。
【背景技术】
[0002]现有电池生产线PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)工序需要使用石墨舟来承载硅片，而石墨舟在使用一段时间后常存在变形问题。现有石墨舟装卸片设备中石墨舟定位夹紧装置不能有效矫正石墨舟的变形，而变形的石墨舟导致设备机械手在装卸硅片时产生碎片。
【发明内容】
[0003]本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，提供一种石墨舟定位夹紧装置。
[0004]本实用新型提出的石墨舟定位夹紧装置包括:底板、固定在底板上相互平行设置的第一组支柱和第二组支柱、设置在第一组支柱上且上下隔开的四个活动夹紧单元和设置在第二组支柱上且上下隔开的四个固定夹紧单元；
[0005]所述活动夹紧单元包括:活动端固定座，其上依次安装有活动端气缸、活动端导轨和活动端弹簧装置，这三个部件的一端通过活动端压杆固定座与一压杆连接，使压杆可以做伸缩移动，活动端固定座的一个端部弯折通过螺钉固定在第一组支柱的侧边；
[0006]所述固定夹紧单元包括:固定端固定座，其上依次安装有固定端气缸、固定端导轨和固定端螺杆限位装置，这三个部件的一端通过固定端压杆固定座与一压杆连接，使压杆做伸缩移动，上下压杆间设有至少一根压杆连接杆，固定端固定座的一端弯折通过螺钉与第二组支柱的侧边连接；
[0007]所述活动端固定座上连接的压杆和固定端固定座上连接的压杆相对设置。
[0008]进一步，活动端弹簧装置包括:弹簧固定杆，套装在弹簧固定杆上的弹簧和固定弹簧固定杆的弹簧固定座。
[0009]进一步，固定端螺杆限位装置包括:螺杆限位座，安装在螺杆限位座上的限位螺杆以及限位螺杆上的限位螺母。
[0010]进一步，活动端导轨包括:导轨和沿导轨运动用于固定活动端压杆固定座的导轨固定板。
[0011]进一步，固定端导轨包括:导轨和沿导轨运动用于固定固定端压杆固定座的导轨固定板。
[0012]与现有技术相比，本实用新型在固定端夹紧模块设置的压杆连接杆使得上下两根固定端压杆处于同一平面，从而可使石墨舟单边处于统一平面；在活动端夹紧模块，通过合适的弹簧压紧，可有效的矫正石墨舟，通过固定夹紧模块的预定位和活动夹紧模块的最终压紧可以有效的减少设备机械手在装卸硅片时产生碎片的技术问题。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型一实施例的结构图；
[0014]图2是图1实施例活动夹紧单元的结构图；
[0015]图3是图1实施例固定夹紧单元的结构图；
[0016]图4是图1实施例的工作状态示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步进行说明。
[0018]如图1所示，本实用新型一实施例包括:机架I和两组夹紧机构，机架I包括:底板10、第一组支柱11和第二组支柱12，因为两组夹紧机构完全相同，现仅对一个夹紧机构进行说明，夹紧机构包括:固定在第一组支柱11上且上下隔开的四个活动夹紧单元2和固定在第二组支柱12上且上下隔开的四个固定夹紧单元3 ；
[0019]所述活动夹紧单元2包括:活动端固定座20，其上依次安装有活动端气缸21、活动端导轨22和活动端弹簧装置23，这三个部件的一端通过活动端压杆固定座24与一压杆25连接，使压杆可以做伸缩移动，活动端固定座20的一个端部弯折通过螺钉固定在第一组支柱11的侧边；
[0020]所述固定夹紧单元3包括:固定端固定座30，其上依次安装有固定端气缸31、固定端导轨32和固定端螺杆限位装置33，这三个部件的一端通过固定端压杆固定座34与一压杆35连接，使压杆做伸缩移动，上下压杆间设有至少一根压杆连接杆36，固定端固定座30的一端弯折通过螺钉与第二组支柱12的侧边连接；
[0021]所述活动端固定座30上连接的压杆25和固定端固定座20上连接的压杆35相对设置。
[0022]如图2所示，活动端弹簧装置23包括:弹簧固定杆230，套装在弹簧固定杆上的弹簧231和固定弹簧固定杆的弹簧固定座232。活动端导轨包括:导轨和沿导轨运动用于固定活动端压杆固定座的导轨固定板。
[0023]如图3所示，固定端螺杆限位装置33包括:螺杆限位座330，安装在螺杆限位座上的限位螺杆331以及限位螺杆上的限位螺母332。固定端导轨包括:导轨和沿导轨运动用于固定固定端压杆固定座的导轨固定板。
[0024]现根据图4对本实用新型的工作原理做进一步说明，首先石墨舟通过输送机构进入活动夹紧单元2和固定夹紧单元3的压杆中间，固定端气缸31驱动固定端压杆固定座34沿固定端导轨32 A向运动，固定端压杆固定座34带动固定端压杆35压紧石墨舟，固定夹紧单元的压杆连接杆36连接固定端压杆35使得上下压杆处于同一平面上，在固定夹紧单元A向运动后可使石墨舟单边处于统一平面，为石墨舟进一步夹紧提供了基准位置，此外，固定夹紧单元固定端固定座30上设置的固定端螺杆限位装置33可以通过调节限位螺杆331上限位螺母332的位置限定固定端压杆夹紧运动的最大行程；随后活动夹紧单元2的活动端气缸21排气释放活动端弹簧231，活动端弹簧推动活动端压杆固定座24沿活动端导轨22A向运动，活动端压杆固定座24带动活动端压杆25 A向压紧石墨舟。固定夹紧单元靠气缸力为石墨舟提供一基准平面使石墨舟单侧位置固定，活动夹紧单元靠弹簧力最终压紧石墨舟，这种夹紧方式可以有效矫正石墨舟，从而解决设备机械手在装卸硅片时产生碎片的技术问题。
[0025]以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种石墨舟定位夹紧装置，其特征在于，包括:底板(10)、固定在底板上相互平行设置的第一组支柱(11)和第二组支柱(12)、设置在第一组支柱上且上下隔开的四个活动夹紧单元(2)和设置在第二组支柱上且上下隔开的四个固定夹紧单元(3); 所述活动夹紧单元(2)包括:活动端固定座(20)，其上依次安装有活动端气缸(21)、活动端导轨(22)和活动端弹簧装置(23)，这三个部件的一端通过活动端压杆固定座(24)与一压杆(25)连接，使压杆可以做伸缩移动，活动端固定座(20)的一个端部弯折通过螺钉固定在第一组支柱(11)的侧边； 所述固定夹紧单元(3)包括:固定端固定座(30)，其上依次安装有固定端气缸(31)、固定端导轨(32)和固定端螺杆限位装置(33)，这三个部件的一端通过固定端压杆固定座(34)与一压杆(35)连接，使压杆做伸缩移动，上下压杆间设有至少一根压杆连接杆(36)，固定端固定座(30)的一端弯折通过螺钉与第二组支柱(12)的侧边连接； 所述活动夹紧单元(2)上连接的压杆和固定夹紧单元(3)上连接的压杆相对设置。2.如权利要求1所述的石墨舟定位夹紧装置，其特征在于，所述活动端弹簧装置(23)包括:弹簧固定杆(230)，套装在弹簧固定杆上的弹簧(231)和固定弹簧固定杆的弹簧固定座(232)。3.如权利要求1所述的石墨舟定位夹紧装置，其特征在于，所述固定端螺杆限位装置(33)包括:螺杆限位座(330)，安装在螺杆限位座上的限位螺杆(331)以及限位螺杆上的限位螺母(332)。4.如权利要求1所述的石墨舟定位夹紧装置，其特征在于，所述活动端导轨(22)包括:导轨和沿导轨运动用于固定活动端压杆固定座的导轨固定板。5.如权利要求1所述的石墨舟定位夹紧装置，其特征在于，所述固定端导轨(32)包括:导轨和沿导轨运动用于固定固定端压杆固定座的导轨固定板。
【专利摘要】本实用新型公开了一种石墨舟定位夹紧装置，包括底板、固定在底板的两组支柱、设置在支柱上的活动夹紧单元和固定夹紧单元，固定夹紧单元先从一侧通过气缸对石墨舟进行定位，随后活动夹紧单元从另一侧对石墨舟进行弹簧夹紧。本实用新型通过预定位和随后的弹簧夹紧可有效的矫正石墨舟，从而解决了机械手在装卸硅片时产生碎片的问题。
【IPC分类】H01L21/687
【公开号】CN205194678
【申请号】CN201520902759
【发明人】磨建新, 谢鑫, 林华, 张勇
【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年11月13日