高产出晶片固着装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种高产出晶片固着装置，尤指一种能够同时顶出多个第一工件，并将多个第一工件同时压合于一第二工件的装置。
【背景技术】
[0002]顶出、吸取与压合的步骤系常见于半导体制程中。顶出系利用顶针推顶一晶片(晶粒)，以使晶片与一膜体相互分离。吸取系利用一吸取头将前述之被推顶的晶片移动至另一位置。压合系利用一压合头将晶片压合于一基板处。
[0003]然上述顶针、吸取头或压合头系设计仅能顶出一晶片或吸取一晶片，但对于讲求效率的半导体产业而言，仅能顶出单一晶片的顶针、仅能吸取单一晶片的吸取头或仅能压合单一晶片的压合头，其产能有限。特别是当因晶片厚度很薄或材质脆弱时，顶出需要很长的制程时间，或当晶片需要一定的压合时间时，习知的方法不论机构的运作的速度如何提升，生产效率依然低落，故需要有一全新的作业方式，来突破旧有方式的限制，有效提升产會K。
【发明内容】
[0004]本实用新型目的在于提供一种高产出晶片固着装置，其系利用同时顶出至少二第一工件，并将该至少二第一工件同于压合于一第二工件处，藉以达到提升产能的效果。
[0005]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种高产出晶片固着装置，其包含有:
[0006]一载台；
[0007]—多吸放单元，其系位于该载台的上方；
[0008]一调整台，其系相邻于该载台；
[0009]一承台，其系相邻于该调整台；以及
[0010]一多压合单元，其系设于该承台的上方；
[0011]其中，该载台系供至少二第一工件设置；该多吸放单元系吸取该至少二第一工件，并将该至少二第一工件放置于该调整台；该承台系供一第二工件设置；该多压合单元系进行一旋转运动，该多压合单元系吸取位于该调整台的至少二第一工件，并将该至少二第一工件压合于该第二工件。
[0012]上述方案中，所述调整台系调整该至少二第一工件的相对位置，该调整台具有一位移模块，以使该调整台能够进行一纵向往复运动、一直线往复运动或一横向往复运动。
[0013]上述方案中，其更具有一翻转单元，该翻转单元系位于该调整台与该多压合单元之间。
[0014]上述方案中，其更具有一第一视觉定位模块，该第一视觉定位模块系位于该多吸放单元的上方。
[0015]上述方案中，其更具有一第二视觉定位模块，该第二视觉定位模块系位于该调整台的上方。
[0016]上述方案中，其更具有一第三视觉定位模块，该第三视觉定位模块系位于该承台与该多压合单元的上方。
[0017]上述方案中，所述载台具有一位移模块，以使该载台进行一直线往复运动、一横向往复移动或一旋转运动；该承台具有一位移模块，以使该承台进行一直线往复运动、一横向往复移动或一旋转往附运动。
[0018]上述方案中，其更具有一多顶出单元，该多顶出单元系设于该载台的下方，该多顶出单元具有至少二顶针，该多顶出单元更具有一位移模块，以使该多顶出单元系相对于该载台呈一纵向往复运动、一直线往复运动或一横向往复运动。
[0019]上述方案中，所述多吸放单元具有一位移模块，以使该多吸放单元进行一纵向往复移动、一直线往复运动或一横向往复运动，该多吸放单元具有至少二吸取头。
[0020]上述方案中，所述多压合单元具有一位移模块，以使该多压合单元进行一纵向往复运动或该旋转运动，该多压合单元具有至少二压合头。
[0021]综合上述，本实用新型高产出晶片固着装置，其系同时顶出多个第一工件，并将所顶出的多个第一工件同时压合于第二工件处，藉以达到提升产能的效果。为使多压合单元的效率更高，多压合单元可采用旋转多群组的方式进行。
[0022]载台的第一工件之所以必需由一顶出单元顶出，其系因在半导体制程中，第一工件常为晶片，其黏合在一蓝膜上，蓝膜黏在一铁环上，铁环则置放在载台上，故欲使晶片与蓝膜分离，必需有一顶出行为方能达成。
【附图说明】
[0023]图1为第一实施例的示意图；
[0024]图2为一调整台调整至少二第一工件之相对位置的示意图；
[0025]图3为一调整台调整至少二第一工件之相对位置之另一示意图；
[0026]图4为一多压合单元进行一旋转运动的示意图；
[0027]图5为第二实施例的示意图；
[0028]图6为第一实施例的流程示意图；
[0029]图7为第二实施例的流程示意图；
[0030]图8为一高产出晶片固着装置的第三种流程示意图。
[0031]以上附图中:10、载台；100、位移模块；11、多顶出单元；110、顶针；111、位移模块；
12、多吸放单元；120、位移模块；121、吸取头；13、；调整台；130、位移模块；131、调整座；14、承台；140、位移模块；141、加热模块；15、多压合单元；150、位移模块；151、压合头；152、加热模块；16、第一视觉定位模块；17、第二视觉定位模块；18、第三视觉定位模块；19、翻转单元；20、第一工件；21、第二工件；S1~S13、步骤。
【具体实施方式】
[0032]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0033]实施例一:
[0034]请配合参考第I图所示，本实施例是一种高产出晶片固着装置，其具有一载台10、一多顶出单元11、一多吸放单元12、一调整台13、一承台14、一多压合单元15、一第一视觉定位模块16、一第二视觉定位模块17与一第三视觉定位模块18。
[0035]载台10具有一位移模块100，以使载台10能够进行一直线往复运动(X轴向往复运动)、一横向往复移动(Y轴向往复运动)或一旋转运动。载台10系能够供至少二第一工件20设置。该第一工件20为一基板、一晶圆、一晶片或一晶粒。
[0036]多顶出单元11系设于载台10的下方，多顶出单元11具有至少二顶针110，多顶出单元11更具有一位移模块111，以使多顶出单元11能够相对于载台10呈一纵向往复运动(Z轴向往复运动)、一直线往复运动或一横向往复运动。顶针110系能够顶出至少二位于载台10的第一工件20。然顶针110可以依需要顶出的第一工件20数量，以控制单针或多针同步顶出。
[0037]多吸放单元12系设于载台10的上方，多吸放单元12具有一位移模块120，以使多吸放单元12能够进行一纵向往复移动、一直线往复运动或一横向往复运动。多吸放单元12具有至少二吸取头121，多吸放单元12系耦接一真空模块，以提供一负压吸力或一正压推力给吸取头121，而使各吸取头121能够吸放至少二第一工件20。
[0038]调整台13系相邻于载台10，调整台13具有一位移模块130，以使调整台13能够进行一纵向往复运动、一直线往复运动或一横向往复运动，调整台13具有至少二调整座131，各调整座131系能够进行一直线往复运动或一横向往复运动。调整座13的功能在于调整其上方的第一工件20的位置，以使二个以上的第一工件20之间的距离符合要置于于第二工件21上的距离，并使位置更加精准。
[0039]承台14系相邻于调整台13，承台14系供至少一第二工件21设置，该第二工件21为一基板、一膜体、一晶圆、一晶片或一晶粒。承台14具有一位移模块140，以使承台14能够进行一直线往复运动、一横向往复运动或一旋转运动。该承台14具有一加热模块141，该加热模块141系用于加热第二工件21，以使第一工件20易于压合第二工件21。
[0040]多压合单元15系设于承台14的上方，多压合单元15具有一位移模块150，以使多压合单元15能够进行一纵向往复运动、一横