一种清理管式pecvd石墨舟舟内粉尘的辅助装置的制造方法
【专利摘要】一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，包括柜体，所述柜体内部顶端设置有进气孔，所述柜体外部顶端设置有与进气孔相通的进气管，所述进气管与气源连通，所述进气孔下部的柜体内部安装有匀气板；所述柜体内部底端设置有排气孔，所述柜体外部底端设置有排气管，所述排气管与吸尘装置连通；所述柜体外部底端还安装有行走轮，本实用新型结构简单，操作方便，能有效的解决舟内粉尘问题不会对车间造成污染和降低使用成本。
【专利说明】
一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置
技术领域
[0001 ] 一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置。【背景技术】
[0002]目前，管式PECVD用石墨舟在使用一段时间后，或是设备卡栗等因素造成石墨舟的舟页上会有氮化硅粉尘，如果不能及时处理掉会对舟内的硅片造成污染镀膜后会出现白点粉尘片，目前的主要处理方法为一:在现场直接使用压缩空气枪对石墨舟进行吹扫二:放到固定的地方在有抽排风的设备内进行吹扫，其上两种方法存在明显的不足之处一是现场吹扫会导致氮化硅粉尘到处乱飞影响车间洁净度也会对在制品造成污染，二是固定的地方设置抽排系统费用较高。
【发明内容】
[0003]为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，该装置结构简单，操作方便，能有效的解决舟内粉尘问题不会对车间造成污染和降低使用成本。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，包括柜体，所述柜体内部顶端设置有进气孔，所述柜体外部顶端设置有与进气孔相通的进气管，所述进气管与气源连通，所述进气孔下部的柜体内部安装有匀气板； 所述柜体内部底端设置有排气孔，所述柜体外部底端设置有排气管，所述排气管与吸尘装置连通;所述柜体外部底端还安装有行走轮。
[0005]进一步，柜体侧端活动安装有开关门。
[0006]进一步，所述柜体采用透明的PVC材质。
[0007]本实用新型结构简单，操作方便，能有效的解决舟内粉尘问题不会对车间造成污染和降低使用成本。【附图说明】
[0008]为对本实用新型做进一步说明，下面列举附图和【具体实施方式】。
[0009]图1，一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置；
[0010]图2, 一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置的柜体的内部视图一；
[0011]图3，一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置的柜体的内部视图二。【具体实施方式】
[0012]如图1-3所示，一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，包括柜体1，所述柜体1内部顶端设置有进气孔2,所述柜体1外部顶端设置有与进气孔2相通的进气管3,所述进气管3与气源连通，所述进气孔2下部的柜体1内部安装有匀气板4,匀气板4能把气体均匀的吹扫到石墨舟的每个部位;所述柜体1内部底端设置有排气孔5,所述柜体1外部底端设置有排气管6，所述排气管6与吸尘装置连通;所述柜体1外部底端还安装有行走轮7，所述行走轮7为带有锁定功能的行走轮。[0013 ]进一步，柜体1侧端活动安装有开关门8。[0〇14]进一步，所述柜体1采用透明的PVC材质。
[0015]本实用新型是这样工作的:使用时只需将此装置推放到有压缩空气接口的地方， 连接好进气口端(连接压缩空气)和排气端接口(连接吸尘器)，然后将待吹扫的石墨舟抬放到此装置内关闭好门，先打开连接在抽排端的吸尘器后再打开进气端的开关进行对石墨舟进行吹扫，通过透明的腔体我们可以观察到石墨舟吹扫的情况，吹扫完毕后，先关闭此装置的进气然后关闭吸尘器，暂时不需要使用此装置时可以将它推放到指定地方。
[0016]显而易见，上述实施方式仅仅为本实用新型的其中一个实施例，任何在本实用新型基础上做出的简单改进均属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，其特征在于包括柜体，所述柜体内 部顶端设置有进气孔，所述柜体外部顶端设置有与进气孔相通的进气管，所述进气管与气 源连通，所述进气孔下部的柜体内部安装有匀气板;所述柜体内部底端设置有排气孔，所述 柜体外部底端设置有排气管，所述排气管与吸尘装置连通;所述柜体外部底端还安装有行 走轮。2.根据权利要求1所述的一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，其特征在于 柜体侧端活动安装有开关门。3.根据权利要求1所述的一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，其特征在于 所述柜体采用透明的PVC材质。
【文档编号】B08B15/02GK205599642SQ201620321884
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年4月18日
【发明人】孟鑫, 李旺, 陈阳泉, 钱金梁
【申请人】润峰电力有限公司