一种新型增强型iii-v异质结场效应晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:10471858

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某些III族和V族元素构成的二元或者三元化合物(甚至多元化合物)具有自发极化和压电极化效应,当它们结合在一起构成异质结时(如AlGaN/GaN),会在异质结的界面处形成高浓度的二维电子气(2DEG),以异质结界面处的2DEG为导电机构的器件称为异质结场效应管(HFET),也可以称为高电子迀移率晶体管(HEMT)。HFET器件具有高电子迀移率、器件工作频率高以及高效率的特点。在微波功率发射极传输以及电力电子领域具有非常重要的应用前景。但是,迄今为止,HFET...
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