一种新型增强型iii-v异质结场效应晶体管的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种新型增强型III?V异质结场效应晶体管，在衬底材料层上形成第二半导体层，在第二半导体层上构造出漏电极和源电极，漏电极和源电极之间通过第一半导体层相连且与第一半导体层欧姆接触从而形成沟道；第一半导体层比第二半导体层具有更大的禁带宽度；第二半导体层和第一半导体层结合在一起构成异质结构；第一半导体层的厚度不大于在异质结构上形成二维电子气2DEG的临界厚度，使异质结构中天然的二维电子气2DEG被耗尽。相对于现有技术，本发明提供的新型增强型III?V异质结场效应晶体管，利用薄势垒层方案获得耗尽的沟道，采用高栅电压重新诱导出2DEG，从而实现性能稳定的增强型器件。
【专利说明】
一种新型増强型M 1-V异质结场效应晶体管
技术领域
[0001]本发明涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种新型增强型II1-V异质结场效应晶体管。
【背景技术】
[0002]某些III族和V族元素构成的二元或者三元化合物(甚至多元化合物)具有自发极化和压电极化效应，当它们结合在一起构成异质结时(如AlGaN/GaN)，会在异质结的界面处形成高浓度的二维电子气(2DEG)，以异质结界面处的2DEG为导电机构的器件称为异质结场效应管(HFET)，也可以称为高电子迀移率晶体管(HEMT)。
[0003]HFET器件具有高电子迀移率、器件工作频率高以及高效率的特点。在微波功率发射极传输以及电力电子领域具有非常重要的应用前景。但是，迄今为止，HFET器件作为增强型器件时存在一个天然的缺憾，以AlGaN/GaNHFET为例，由于极强的自发极化和压电极化，在无任何外加电压的情况下，异质结界面形成了高浓度的2DEG，HFET器件天然为耗尽型(常开型KHFET器件的缺陷限制了器件在逻辑电路和电力电子电路中的应用，前者需要增强型和耗尽型的逻辑互补，而后者出于安全性及节能的考虑，更需要的是增强型器件。参阅图1，所示为现有技术耗尽型II1-V HFET器件的剖视图，包含衬底材料层9，第二半导体层10，第一半导体层14，二维电子气11，漏电极12，源电极13，栅介质层15和栅电极16，其中，第二半导体层10和第一半导体层14之间构成异质结构，由于现有技术中第一半导体层14的厚度超过临界厚度，所以在不加任何外加电压的情况下，由于材料体系的压电极化和自发极化，在异质结界面，即第一半导体和第二半导体的界面处，即存在高浓度的二维电子气2DEG。
[0004]现有技术为了实现增强型HFET器件，通常有以下几种方式获得:
[0005]栅下沟道F离子注入技术:即在栅极下部的势皇层中注入F的负离子，靠负电势将栅下的沟道电子耗尽，实现器件的正向阈值(增强型)。
[0006]槽栅技术:用干法刻蚀技术将栅下部分势皇层刻薄，当厚度低于临界厚度时，栅下的2DEG将耗尽。只有当栅压高于某一电压时，才会重新诱导出2DEG。实现了增强型器件。
[0007]利用P-AlGaN层的器件，这种器件是在栅下部位增加了一层ρ-AlGaN层，由于能带的均衡作用，使沟道的2DEG耗尽。
[0008]以上几种技术存在不同的劣势，其中F离子注入技术在可靠性及获得较大的阈值方面存在问题，槽栅技术在工艺控制方面存在较大难度，P-AlGaN技术存在材料生长困难、器件开关频率低等缺点。
[0009]故，针对目前现有技术中存在的上述缺陷，实有必要进行研究，以提供一种方案，解决现有技术中存在的缺陷。
【发明内容】
[0010]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，以解决上述问题。
[0011]—种新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，包括衬底材料层、第二半导体层、第一半导体层、漏电极、源电极、第一介质层，第二介质层和栅电极，其中，
[0012]在所述衬底材料层上形成所述第二半导体层，在所述第二半导体层上构造出漏电极和源电极，所述漏电极和源电极之间通过第一半导体层相连且与第一半导体层欧姆接触从而形成沟道;所述第一半导体层比所述第二半导体层具有更大的禁带宽度；
[0013]所述第二半导体层和所述第一半导体层结合在一起构成异质结构;所述第一半导体层的厚度不大于在异质结构上形成二维电子气2DEG的临界厚度，使所述异质结构中天然的二维电子气2DEG被耗尽；
[0014]所述第一半导体层表面还设有第一介质层，所述第一介质层上设有所述栅电极，所述栅电极覆盖整个沟道长度且所述栅电极的两个边缘延伸分别超过所述漏电极和源电极靠近沟道一侧的边缘，在所述栅电极与所述漏电极、源电极之间设有所述第二介质层。
[0015]优选地，所述第二介质层仅位于所述栅电极与所述漏电极和源电极的交迭的边缘部分。
[0016]优选地，所述第一半导体层与第二半导体层之间还设有用以提高异质结界面的二维电子气的迀移率的插入层，所述插入层的厚度为lnm。
[0017]优选地，所述插入层为AlN层。
[0018]优选地，所述第一半导体层为AlGaN层，其厚度为3?1nm;所述第二半导体层为GaN层，其厚度为2μπι。
[0019]优选地，所述第一半导体层为AlN层，其厚度为5nm;所述第二半导体层为GaN层，其厚度为2μηι。
[0020]优选地，所述第一介质层为生长异质结构材料时原位生长的Si3N4,其厚度为5?25nm0
[0021]优选地，所述的栅电极和第一介质层之间还设有第三介质层，所述第三介质层用于进一步降低器件的栅泄漏电流。
[0022]优选地，所述第二介质层为Si02层，其厚度为lOOnm。
[0023]优选地，所述第二介质层朝向沟道一侧边缘分别超出所述漏电极、源电极的长度均为 0.5μηι。
[0024]优选地，所述漏电极与所述源电极之间的距离为2.5μπι。
[0025]相对于现有技术，本发明提供的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，利用薄势皇层方案获得耗尽的沟道，并采用MIS栅结构，采用高栅电压重新诱导出2DEG，从而实现性能稳定的增强型器件。
【附图说明】
[0026]图1是现有技术常规增强型II1-VHFET器件的剖面示意图。
[0027]图2是本发明新型增强型II1-V异质结场效应晶体管的剖面示意图。
[0028]图3是本发明新型增强型II1-V异质结场效应晶体管的俯视图。
[0029]标号说明:
[0030]衬底材料层I，第二半导体层2，第一半导体层3，漏电极4，源电极5，第一介质层6，第二介质层7，栅电极8。
【具体实施方式】
[0031]以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
[0032]针对现有技术存在的缺陷，
【申请人】对现有技术中HFET器件的结构进行了深入的研究，
【申请人】发现，常规器件的势皇层，即第一半导体层的厚度超过临界厚度，所以在不加任何外加电压的情况下，由于材料体系的压电极化和自发极化，在异质结界面，即第一半导体和第二半导体的界面处，即存在高浓度的二维电子气2DEG。要想获得增强型器件，必须采用槽栅、F离子注入掺杂等特殊工艺。这些工艺存在难以精确控制和额外延长工艺周期的缺点，另外，槽栅结构由于工艺过程中要采用刻蚀工艺，对器件沟道存在损伤，因此，对于器件的性能有损伤，另外，在器件的可靠性方面也存在一定隐患。F注入工艺很难进行精确的控制，并且在可靠性方面存在隐患。
[0033]为了克服以上缺点，本发明提出一种新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，参见图2和图3所示，其中图2为器件的剖面图，图3为其俯视图，包括衬底材料层1、第二半导体层
2、第一半导体层3、漏电极4、源电极5、第一介质层6，第二介质层7和栅电极8，其中，
[0034]在衬底材料层I上形成第二半导体层2，在第二半导体层2上构造出漏电极4和源电极5，漏电极4和源电极5之间通过第一半导体层3相连且与第一半导体层3欧姆接触从而形成沟道;第一半导体层3比第二半导体层2具有更大的禁带宽度；
[0035]第二半导体层2和第一半导体层3结合在一起构成异质结构;第一半导体层3的厚度不大于在异质结构上形成二维电子气2DEG的临界厚度，使第一半导体层3异质结构中天然的二维电子气2DEG被耗尽；通过薄结构的第一半导体层的设计，由于第一半导体层的厚度低于临界厚度，消除了在异质结构上天然存在高浓度的二维电子气2DEG，因此，在无外加栅压的情况下，第一半导体层和第二半导体层的异质界面不存在2DEG，只有当外加栅压超过某一正阈值电压，才能在沟道中诱导出高浓度的2DEG，从而实现了增强型形态;从而大大简化了形成增强型器件的工艺。
[0036]第一半导体层3表面还设有第一介质层6，第一介质层6上设有栅电极8，栅电极8覆盖整个沟道长度且栅电极8的两个边缘延伸分别超过漏电极4和源电极5靠近沟道一侧的边缘，在栅电极8与漏电极4、源电极5之间设有第二介质层7。由于采用栅电极完全覆盖的沟道结构，实现了栅电压对于沟道2DEG的完全控制，从而实现无电流崩塌效应的器件。
[0037]在一种优选实施方式中，第二介质层7仅位于栅电极8与漏电极4和源电极5的交迭的边缘部分。第二介质层7的目的是为了阻止栅电极8与漏电极4和源电极5的电连通，但第二介质层7又会对栅电容造成影响，进而影响栅控能力和放大能力。该结构使第二介质层7仅仅覆盖栅电极8与漏电极4和源电极5的交迭的边缘部分，与第二介质层完全覆盖第一介质层相比，在实现良好电隔离的前提下，能够保证更大的栅电容，具有更大的器件跨导，使器件具有更大的栅控能力和放大能力。优选地，第二介质层的厚度应尽量小。这样，在栅的正投影下方，第二介质层非常少，使栅电容的减少降到最低。
[0038]同时，本发明新型增强型II1-V异质结场效应晶体管的实现工艺与现有技术HFET器件的工艺基本相同，无需额外增加器件的工艺复杂程度。本发明的器件可通过如下主要工艺步骤实现:(I)基片材料生长:在合适衬底材料上(如Si衬底)，按照材料生长规律生长相应缓冲层、第二半导体层、选择性生长插入层、第一半导体层、原位Si3N4层。(2)基片材料清洗:采用合适的清洗方案，获得洁净的材料表面。(3)源漏电极构造。(3)第二介质层生长。
(4)第二栅介质层选区刻蚀。(5)栅电极构造。(6)钝化及封装。
[0039]因此，采用上述技术方案，并没有额外增加器件的工艺复杂程度，阈值电压可通过设置第一半导体层厚度和第一介质层厚度等参数设定，实现了器件工艺的可重复性，有利于器件的工业生产。
[0040]实施例1:本实施例新型增强型II1-V异质结场效应晶体管包括以下几部分:衬底材料包含Si材料和在其上生长的低温AlN缓冲层，第二半导体层为GaN材料层(厚度约为2μm)，第一半导体层为AlGaN层(厚度约为3?1nm)，在第一和第二半导体层之间设有AlN插入层(厚度约为Imii)，用于提高2DEG的电学特性。第一介质层为原位生长Si3N4层，厚度约为5?25nm。源、漏电极都采用Ti/Al/Ni/Au(20/120/50/200nm)经金属淀积与高温热退火形成。源漏电极之间的距离为2.5μηι。第二介质层为Si02层，其厚度约为lOOnm。第二介质层朝向沟道中心一层边缘超出源、漏电极的长度皆为0.5μπι。栅电极采用Ni/Au(50/150nm)。
[0041]实施例2:本实施例新型增强型II1-V异质结场效应晶体管包括以下几部分:衬底材料包含SiC材料和在其上生长的低温AlN缓冲层，第二半导体层为GaN材料层(厚度约为2μm)，第一半导体层为AlN层(厚度约为5nm)，第一介质层为原位生长Si3N4层，厚度约为5?25nm。源、漏电极都采用Ti/Al/Ni/Au(20/120/50/200nm)经金属淀积与高温热退火形成。源漏电极之间的距离为2.5μηι。第二介质层为Si02层，其厚度约为lOOnm。第二介质层朝向沟道中心一层边缘超出源、漏电极的长度皆为0.5μπι。栅电极采用Ni/Au(50/150nm)。
[0042]以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说是显而易见的，本申请中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本申请所示的这些实施例，而是要符合与本申请所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【主权项】
1.一种新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，包括衬底材料层(I)、第二半导体层(2)、第一半导体层(3)、漏电极(4)、源电极(5)、第一介质层(6)，第二介质层(7)和栅电极(8)，其中， 在所述衬底材料层(I)上形成所述第二半导体层(2)，在所述第二半导体层(2)上构造出漏电极(4)和源电极(5)，所述漏电极(4)和源电极(5)之间通过第一半导体层(3)相连且与第一半导体层(3)欧姆接触从而形成沟道;所述第一半导体层(3)比所述第二半导体层(2)具有更大的禁带宽度； 所述第二半导体层(2)和所述第一半导体层(3)结合在一起构成异质结构;所述第一半导体层(3)的厚度不大于在异质结构上形成二维电子气2DEG的临界厚度，使所述异质结构中天然的二维电子气2DEG被耗尽； 所述第一半导体层(3)表面还设有第一介质层(6)，所述第一介质层(6)上设有所述栅电极(8)，所述栅电极(8)覆盖整个沟道长度且所述栅电极(8)的两个边缘延伸分别超过所述漏电极(4)和源电极(5)靠近沟道一侧的边缘，在所述栅电极(8)与所述漏电极(4)、源电极(5)之间设有所述第二介质层(7)。2.根据权利要求1所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述第二介质层(7)仅位于所述栅电极(8)与所述漏电极(4)和源电极(5)的交迭的边缘部分。3.根据权利要求1或2所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述第一半导体层(3)与第二半导体层(2)之间还设有用以提高异质结界面的二维电子气的迀移率的插入层，所述插入层的厚度为Inm04.根据权利要求3所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述插入层为AlN层。5.根据权利要求1或2所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述第一半导体层(3)为AlGaN层，其厚度为3?1nm;所述第二半导体层(2)为GaN层。6.根据权利要求1或2所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述第一半导体层(3)为AlN层;所述第二半导体层(2)为GaN层。7.根据权利要求1或2所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述第一介质层(6)为生长异质结构材料时原位生长的Si3N4，其厚度为5?25nm。8.根据权利要求1或2所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述的栅电极(8)和第一介质层(6)之间还设有第三介质层，所述第三介质层用于进一步降低器件的栅泄漏电流。9.根据权利要求1或2所述的新型增强型II1-V异质结场效应晶体管，其特征在于，所述第二介质层(7)为Si02层。
【文档编号】H01L29/778GK105826369SQ201610297662
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年5月6日
【发明人】董志华, 程知群, 刘国华, 柯华杰, 周涛
【申请人】杭州电子科技大学