技术编号：10484211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 目前，单晶娃的制备大部分采用切克劳斯基(Czochralski)直拉法。单晶炉的热场 内，石英蜗的上方放置有石墨导流筒，一方面起到疏导氣气流的作用；另一方面减少加热器 对单晶的福射。在单晶生长过程中，石英蜗的位置随着娃液的减少逐步上升，直到娃液拉 完。石英蜗的容积决定着单晶炉产能的大小，如果要增加石英蜗的高度就要增加导流筒的 长度。石墨导流筒采用一整块石墨料加工而成，因为高度不能适应石英蜗高度，所W石英蜗 高度增加后必然会淘汰一批较短的导流筒，由于石墨制...
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