技术编号:10487098
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对于芯片失效分析而言,失效点的定位非常关键,一般通过确定失效点来确定在芯片中失效点的具体位置,从而对芯片的失效机理进行分析。在失效点的定位方法中,电势对比定位法是一种被广泛应用的精确定位方法,它是利用电子束对样品待测表面进行扫描以获得失效点位置。现有技术中利用扫描电镜(SEM)的电势对比定位法的步骤为首先把样品处理到待观测的当前层;然后利用SEM中具有I?2kV加速电压的一次电子束对当前层(即待测表面)进行扫描;最后通过扫描的SEM图像上显示的不同深浅度来...
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