技术编号：10490663
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在对晶圆(又称硅片)执行刻蚀工艺时，机械手臂从片盒(Cassette)中取出晶圆，根据工艺流程的需要，将晶圆依次放入到不同的工艺模块(Process Module)中进行加工，并将加工后的晶圆放回到片盒中。操作员可以通过控制台选择不同工艺的计算机程序(又称做子配方)，以及晶圆历经不同工艺模块的晶圆路径，由此编辑出完整的晶圆工艺流程(又称做父配方)。计算机根据操作员选择的结果，通过调度模块(Scheduler)自动生成晶圆的传输序列任务(Job)，机械手臂执...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。