技术编号:10529242
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。类金刚石碳(Diamond-Like Carbon,简称DLC)薄膜是由sp3和sp2两种杂化形式的碳构成的无定型非晶态碳膜,具有许多与金刚石薄膜相似的优良特性,如极高的硬度、高电阻率、良好的导热性、良好的电学性能、优异的化学惰性、良好的生物相容性,使其在摩擦学、真空微电子学、光电子学、化学、机械工程、医学材料等领域都有着巨大的应用前景。DLC薄膜的制备方法主要有物理气相沉积、化学气相沉积和液相法。由于气相沉积方法所需设备复杂昂贵,绕镀性差,以及膜/基结合...
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