技术编号：10536738
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着半导体工艺的发展，束流的稳定性及测量的精准度对于离子注入系统愈发重要，对注入产品的质量、效率和离子注入机的产业化有着很大的影响。束流采集装置在离子注入过程中起到至关重要的作用，束流采集装置是在注入工艺实现之前的前道测量系统，不论在任何时候只要硅片注入首先必须先进行束流的采集、测量。在经过精确的离子剂量校准之后才可以进行后期的工艺注入。束流采集装置在离子注入机中的重要性显而易见。发明内容本发明公开了一种离子束流采集装置，主要用于离子注入机系统，离子束流采...
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