技术编号:10540979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 用于液晶显示器、有机EL显示器、触摸面板等的平板显示器的电极材料的配线膜 中,使用的是电阻率低的A1薄膜。但是,A1熔点低,耐热性小。此外A1在大气中被氧化,容易 形成钝态皮膜。因此,即使将A1薄膜与半导体层或透明像素电极直接连接,由于在其界面所 生成的A1氧化物的绝缘层,接触电阻仍会上升,有画面的显示品质降低这样的问题。 关于这些问题,至今为止,提出有以下这样的对策。首先,关于耐热性,是在A1的表 面,经由Mo、Ti、Cr、W和Ta等的高恪点金属所构成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。