技术编号:10603965
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。作为在玻璃基板、半导体基板等板状体上形成规定的图案或薄膜的技术,将担载于其它板状体的图案或薄膜(下面,称为“图案等”)转印至基板。在该技术中,在使两张板状体紧贴来将图案等从一方转印至另一方之后,需要在不损坏图案等的情况下将两张板状体剥离。为了该目的,例如在日本特开2008-287949号公报所记载的技术中,将粘接的两张基板保持为水平姿势,在对上下板分别进行真空吸附的状态下,使上下板分别向分离方向移动。此时,通过使局部吸附上侧基板的多个吸附垫从基板的一端部侧...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。