剥离装置的制造方法

剥离装置的制造方法
【专利摘要】本发明的剥离装置，具有：第一保持单元(310)，其用于保持第一板状体(BL)；剥离开始单元(321)，其通过使第一板状体(BL)的一端部向与第二板状体(SB)相反的方向弯曲成柱面状，将第二板状体(SB)中的与第一板状体(BL)紧贴的紧贴区域的局部转变为第一板状体(BL)被剥离的剥离区域，在紧贴区域和剥离区域之间的边界处形成一条且直线状边界线；第二保持单元(122)，其用于保持形成有剥离区域的第二板状体(SB)；分离单元，其使第一保持单元(310)和第二保持单元(122)之间的间隔增大，来使第一板状体(BL)和第二板状体(SB)分离。
【专利说明】
剥离装置[0001 ] 本申请是申请号为201410043949.X、申请日为2014年1月29日、发明名称为“剥离 装置以及剥离方法”的专利申请的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及用于使相互紧贴的两张板状体剥离并分离的剥离装置以及剥离方法。 【背景技术】
[0003]作为在玻璃基板、半导体基板等板状体上形成规定的图案或薄膜的技术，将担载于其它板状体的图案或薄膜(下面，称为“图案等”)转印至基板。在该技术中，在使两张板状体紧贴来将图案等从一方转印至另一方之后，需要在不损坏图案等的情况下将两张板状体剥离。
[0004]为了该目的，例如在日本特开2008-287949号公报所记载的技术中，将粘接的两张基板保持为水平姿势，在对上下板分别进行真空吸附的状态下，使上下板分别向分离方向移动。此时，通过使局部吸附上侧基板的多个吸附垫从基板的一端部侧起依次上升，使剥离从基板的一端朝向另一端地进行。而且，公开了如下结构:为了在剥离初始阶段引发基板的分离，顶起一个基板的端部的结构。另外，在日本特开2003-072123号公报中记载了如下技术，即，为了取出载置于载物台上的板，向载物台和板之间插入楔状剥离爪来在两者之间形成间隙。
[0005]这种转印技术应用于各种器件制造工序中。随着图案等材料的多样化、图案的微细化、基板的大型化等，需要在剥离工艺中进行更细致的移动管理。在剥离工艺中，在两张板状体之间，通过使已剥离区域和未剥离区域之间的边界线向未剥离区域侧移动，最终使整体剥离。当该边界线的移动速度，即剥离速度发生变动时，容易因应力集中而使图案等损坏。尤其，在剥离工艺的初始阶段，由于边界线的形状不稳定，因此容易因边界线的形状变化而使剥离速度发生变动。
[0006]但是，在上述现有技术中，并未构成能够这样严格管理剥离速度的结构，尤其无法抑制因边界线的局部形状变化使剥离速度发生变动的情况。因此，从防止图案等损坏的方面来说，上述现有技术还存在改进的余地。
【发明内容】

[0007]本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种技术，在用于使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的剥离装置中，即使在两张板状体之间担载有图案等的情况下， 也能够在不损坏该图案等的情况下，良好地使两张板状体剥离。
[0008]本发明的剥离装置的一个方式为，用于将相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，为了达到上述目的，具有:第一保持单元，其用于保持所述第一板状体;剥离开始单元， 其通过使所述第一板状体的一端部向与所述第二板状体相反的方向弯曲成柱面状，使所述第二板状体中的与所述第一板状体紧贴的紧贴区域的局部转换为所述第一板状体被剥离的剥离区域，并在所述紧贴区域和所述剥离区域之间的边界处形成一条且直线状的边界线;第二保持单元，其用于保持形成有所述剥离区域的所述第二板状体;分离单元，其使所述第一保持单元和所述第二保持单元之间的间隔增大，来使所述第一板状体和所述第二板状体分离。
[0009]另外，本发明的剥离方法的一个方式为，使相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离的剥离方法，为了达到上述目的，包括:边界线形成工序，使所述第一板状体的一端部向与所述第二板状体相反的方向弯曲成柱面状，将所述第二板状体中的与所述第一板状体紧贴的紧贴区域的局部转换为所述第一板状体被剥离的剥离区域，在所述紧贴区域和所述剥离区域之间的边界处形成一条且直线状的边界线；剥离工序，使所述第一板状体和所述第二板状体向分离方向相对移动，一边将所述边界线维持为直线状，一边向所述紧贴区域侧移动。
[0010]在这样构成的发明中，在使相互紧贴的第一板状体和第二板状体分离之前，通过使其中的一者的第一板状体的一端部向与第二板状体相反的一侧弯曲，来引发剥离。此时， 通过使第一板状体弯曲成柱面状，使紧贴区域和剥离区域之间的边界线形成直线状。这样通过使初始阶段的边界线形成直线状，能够在使第一板状体和第二板状体分离的过程中， 使直线状边界线向紧贴区域侧移动，从而能够抑制因边界线的形状变动而使剥离速度变化的情况。因此，在本发明中，能够更严格地管理剥离速度来进行剥离，例如即使在两张板状体之间担载有图案或薄膜(下面，称为“图案等”)的情况下，也能够在不损坏该图案等的情况下进行剥离。
[0011]另外，本发明的剥离装置的其它方式为，用于将隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，为了达到上述目的，具有:保持单元，其具有平面尺寸大于所述第一板状体的有效地担载有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的保持面，以所述保持面抵接于所述第一板状体的与所述第二板状体紧贴的面相反一侧的面的方式保持所述第一板状体，抵接单元，将沿着所述第二板状体从所述第二板状体的一端部朝向另一端部的方向设为剥离进行方向，该抵接单元呈将垂直于所述剥离进行方向的方向作为轴向的车昆状，该抵接单元能够在所述剥离进行方向上移动，在所述一端部的所述剥离进行方向上的下游侧的抵接开始位置，该抵接单元抵接于所述第二板状体的与所述第一板状体紧贴的面相反一侧的面，并在与所述第二板状体之间形成抵接夹持区域，剥离单元，保持所述一端部并使所述一端部向与所述保持单元相分离的方向移动，来使所述一端部与所述第一板状体剥离，拍摄单元，其隔着所述第一板状体拍摄边界线，所述边界线为，所述第一板状体中的与所述第二板状体紧贴的未剥离区域和已从所述第二板状体剥离的剥离区域之间的边界处所形成的线，移动控制单元，其基于所述拍摄单元所拍摄的图像检测所述边界线的位置，基于该检测结果控制所述抵接单元的移动;在所述边界线到达与所述抵接夹持区域的所述剥离进行方向上的上游侧端部相对应的位置时，所述抵接单元开始从所述抵接开始位置向所述剥离进行方向移动。
[0012]另外，本发明的剥离方法的其它方式为，使隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，为了达到上述目的，包括:第一工序，使所述第一板状体的与所述第二板状体紧贴的面相反一侧的面抵接于平面尺寸比所述第一板状体的有效地担载有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸大的保持面，并保持所述第一板状体;第二工序，将沿着所述第二板状体从所述第二板状体的一端部朝向另一端部的方向设为剥离进行方向， 使将垂直于所述剥离进行方向的方向作为轴向的辊状抵接单元，在所述一端部的所述剥离进行方向上的下游侧的抵接开始位置，抵接于所述第二板状体的与所述第一板状体紧贴的面相反一侧的面;第三工序，使所述第二板状体的一端部向与所述第一板状体分离的方向移动，使所述第二板状体的所述一端部从所述第一板状体剥离;第四工序，隔着所述第一板状体拍摄边界线，该边界线为，所述第一板状体中的与所述第二板状体紧贴的未剥离区域和已从所述第二板状体剥离的剥离区域之间的边界处所产生的线；第五工序，基于所拍摄的图像求出所述边界线到达与所述抵接夹持区域的所述剥离进行方向上的上游侧端部相对应的位置的时刻，在该时刻使所述抵接单元开始从所述抵接开始位置向所述剥离进行方向移动。
[0013]在通过使两张板状体向相互分离的方向相对移动来进行剥离的情况下，为了良好地进行剥离，需要使处于两者被剥离之前的紧贴状态的未剥离区域和已经剥离的剥离区域之间的边界处形成的边界线以恒定速度移动。因为当边界线的移动速度发生变动时，在板状体之间担载的图案等上产生局部的集中集中的现象，从而损坏图案等。在本发明中，使辊状抵接单元抵接于第二板状体，一边使抵接单元向剥离进行方向移动一边进行剥离。由于边界线不会超过与抵接单元相抵接的抵接位置来移动，因此能够通过抵接单元恰当地管理剥离的进行。
[0014]但是，为了获得通过这样的抵接单元产生的效果，需要在剥离的初始阶段使边界线的移动和抵接单元的移动同步进行。因为若它们之间有偏差，则边界线停止移动，或者无法实现速度管理。但是，尤其在剥离的初始阶段边界线的移动速度不稳定。[〇〇15]因此，在上述方式的发明中，隔着第一板状体拍摄边界线，基于结果来控制抵接单元的移动开始时刻。利用图案等或第二板状体与周围环境气体的折射率的差异，能够隔着第一板状体容易地观察边界线。因此，通过观察实际边界线的移动状况来决定抵接单元的移动开始时刻，即使初始阶段中的边界线的移动速度不稳定，也能够根据边界线的移动来使抵接单元开始移动。因此，根据本发明，能够抑制抵接单元的移动和边界线的移动之间的偏移，在不损坏形成在两张板状体之间的图案等的情况下，良好地将它们剥离。
[0016]本发明的剥离装置的一个方式为，用于使第一板状体和第二板状体剥离，所述第二板状体的平面尺寸小于所述第一板状体的平面尺寸，并且所述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在所述第一板状体上，具有:保持载物台，其上表面为平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与所述保持面抵接，来保持所述第一板状体，剥离单元，其保持所述第二板状体，来使所述第二板状体相对于被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体，向与所述第一板状体分离的方向移动，支撑构件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端与所述第一板状体的所述另一面局部抵接，从而将所述第一板状体支撑在与所述保持面分离的状态，以及升降单元，其使所述支撑构件相对于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，所述上部位置是指， 所述支撑构件的所述上端向所述保持面的上方突出的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置;所述支撑构件抵接于所述第一板状体的所述另一面中的与在所述一面侧中与所述第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且所述有效区域的外侧抵接。【附图说明】
[0017]图1是示出本发明的剥离装置的第一实施方式的立体图。
[0018]图2A、2B是示出该剥离装置的主要部的图。
[0019]图3是示出该剥离装置的电结构的框图。[〇〇2〇]图4A、4B是示出载物台和载置于该载物台的层叠体之间的位置关系的图。 [0〇21]图5是示出剥离处理的流程图。
[0022]图6A至6C是示出处理各阶段中的各部的位置关系的第一图。
[0023]图7A、7B是示出处理各阶段中的各部的位置关系的第二图。[〇〇24]图8A至8C是示出剥离边界线和剥离速度之间的关系的图。
[0025]图9是示出本发明的剥离装置的第二实施方式的立体图。
[0026]图10是示出该剥离装置的主要结构的立体图。
[0027]图11A、11B是示出载物台的更详细结构的立体图。
[0028]图12A、12B是示出初始剥离单元的结构以及各部的位置关系的侧视图。
[0029]图13是示出载物台和载置于该载物台的工件之间的位置关系的图。
[0030]图14是示出该剥离装置的电结构的框图。[0〇31]图15是示出剥离处理的流程图。[〇〇32]图16A、16B是示出处理各阶段中的各部的位置关系的第一图。[〇〇33]图17A至17C是示出处理各阶段中的各部的位置关系的第二图。[〇〇34]图18A至18D是示出处理各阶段中的各部的位置关系的第三图。[〇〇35] 其中，附图标记说明如下:[〇〇36]122:吸附垫(第二保持单元)[0〇37]310:载物台(第一保持单元、载物台)[〇〇38]311:(载物台310的)水平面部(抵接面)[〇〇39]320:初始剥离部(剥离开始单元)
[0040]321:按压构件[〇〇41]521:辑(抵接单元)[〇〇42]523:升降机构(分离单元)[〇〇43]2001:剥离装置[0〇44]2030:载物台(保持单元)[〇〇45]2031:水平载物台部(保持单元)[〇〇46]2032:锥形载物台部(保持单元)
[0047]2037:拍摄部(拍摄单兀)[〇〇48]2051:第一吸附单元(剥离单元)[〇〇49]2052?2054:第二吸附单元至第四吸附单元[〇〇5〇]2070:控制单元(移动控制单元)[〇〇51]2310:(水平载物台部31的)上表面(保持面)[〇〇52]2321:(锥形载物台部32的)水平面(保持面)
[0053]2322:(锥形载物台部32的)锥面[〇〇54]2331:按压构件[〇〇55]2340:剥离辊(抵接单元)
[0056]2517、2527:吸附垫[〇〇57] BL:橡皮布(第一板状体)[〇〇58]R24:抵接夹持区域
[0059]S10US102:设置工序[〇〇6〇] S104:边界线形成工序
[0061]S105?S108:剥离工序[〇〇62] SB:基板(第二板状体)【具体实施方式】[〇〇63]〈第一实施方式〉
[0064]图1是示出本发明的剥离装置的第一实施方式的立体图。为了统一表示各图中的方向，如图1右下方所示那样设定XYZ正交坐标轴。在此，XY平面表示水平面，Z轴表示铅垂轴。更详细地，+Z方向表示铅垂朝上方向。此外，在下面的各图中，为了便于理解发明，可能将各部的尺寸恰当进行放大缩小来表示。因此，尤其后述基板以及橡皮布的厚度和两者之间的间隔，有时以比实际情况大的方式表示。
[0065]该剥离装置1是用于将以主面彼此紧贴的状态被搬入的两张板状体剥离的装置。 例如用于在玻璃基板、半导体基板等基板的表面上形成规定的图案的图案形成工序的一部分中。更具体地说，在该图案形成工序中，在暂时担载有应该转印至作为被转印体的基板的图案的、作为担载体的橡皮布表面上均匀地涂敷图案形成材料(涂敷工序)，使根据图案形状进行了表面加工的版与橡皮布上的涂敷层压力接触，从而对涂敷层进行图案成形(在涂覆层上形成图案)(图案成形工序)。然后，通过使这样形成有图案的橡皮布紧贴于基板上 (转印工序)，最终将图案从橡皮布转印至基板。
[0066]此时，为了达到使在图案成形工序中紧贴的版和橡皮布分离，或者使在转印工序中紧贴的基板和橡皮布分离的目的，能够优选利用本装置。当然可以应用于这两个工序，也可以利用于除了这些方面之外的用途中。例如能够利用于将担载体所担载的薄膜转印至基板时的剥离工序中。
[0067]该剥离装置1的结构为，在框体上分别安装有上部单元10、中央单元30以及下部单元50。在图1中，为了表示装置的内部结构而省略框体的图示。另外，该剥离装置1具有后述控制单元70(图3)。
[0068]在上部单元10中，在固定于框体上的支撑基座101的上表面上，沿着Y方向以规定的间隔排列立起设置有一对支柱102、103,在这些支柱的上部架设有梁构件104。在支柱 102、103的+X侧侧面上分别安装有沿着铅垂方向(Z方向)延伸的导轨102a、103a。在导轨 102a、103a上分别安装有滑块111、112，并且滑块111、112能够沿着铅垂方向自由滑动。滑块 11U112分别安装在沿着Y方向延伸设置的臂支撑板113的两端部上。
[0069]在臂支撑板113的两端部安装有向+X方向延伸的一对臂部114、115,能够在这些臂部上安装各种处理部。在本实施方式中，在+Y侧的一个臂部115上安装有作为处理部的上部吸附部120。关于上部吸附部120,在后面进行说明。
[0070]在臂支撑板113的-X侧侧面上设置有板升降机构116,该板升降机构116与安装在上方的梁构件104上的马达105的旋转轴相连接。当马达105的旋转轴旋转时，该旋转运动被设置在板升降机构116上的例如滚珠螺杆机构等转换机构转换为上下运动。由此使臂支撑板113沿着导轨102a、103a在Z方向上移动。伴随于此，安装在臂部115上的上部吸附部120也沿着Z方向移动。[0071 ]接着，对于中央单元30的结构进行说明。在中央单元30中，在固定在框体上的支撑基座301的上表面的大致中央部设置有载物台310。后面进行详细说明，但是在将版和橡皮布隔着涂敷层紧贴而成的层叠体，或者基板和橡皮布隔着图案紧贴而成的层叠体从外部搬入于该剥离装置1中时，将该层叠体载置于载物台310的上表面。载物台310的平面尺寸大于载置于其上方的层叠体的平面尺寸。[〇〇72]在支撑基座301上的载物台310的+Y侧安装有初始剥离部320,该初始剥离部320通过使载置于载物台310的上表面的层叠体的端部向下方弯曲来开始进行剥离。关于初始剥离部320,后面进行详细叙述。[〇〇73]在下部单元50中，固定在框体上的支撑基座501在中央单元30的支撑基座301的下方沿着Y方向延伸设置，在支撑基座501的上表面上安装有导轨510。在导轨510上安装有滑块511，并且该滑块511能够自由滑动，滑块511用于支撑按压辊部520。因此按压辊部520能够沿着Y方向自由移动。[〇〇74]按压辊部520具有:辊521，其在中央单元30的载物台310的上方沿着X方向延伸设置;辊保持部522,其具有在载物台310的下方沿着X方向延伸设置的横架部以及从该横架部的两端突出至载物台310的上表面的上方的立设部，用该立设部保持辊521的两端并使该辊 521能够自由旋转;升降机构523(图3 )，其在图1中隐藏，但是该升降机构523使该辊保持部 522沿着Z方向移动来使辊521的高度发生变化。[〇〇75]下部单元50还具有马达502,马达502的旋转运动被未图示的转换机构转换为Y方向上的直线运动，从而驱动按压辊部520。即，通过马达502的旋转，使按压辊部520沿着导轨 510在Y方向上移动。[〇〇76]图2A以及图2B是示出该剥离装置的主要部的图。更详细地，图2A是示出载物台310 的周边结构的配置的立体图，图2B是观察载物台310的Y-Z剖切面的局部剖视图。图中的虚线箭头表示各结构构件的可移动方向。[〇〇77]在载物台310上设置有多个槽。具体地说，在最内侧以包围载物台310的中央部分的方式设置有矩形环状的环状槽313。并且，以与环状槽313的外侧(±X侧、±￥侧)的周围相邻的方式，设置有呈大致矩形形状的槽314。此外，槽314也可以不连接成环状，例如也可以是矩形四边中的一部分独立的结构。[〇〇78]根据执行的处理，恰当地向各槽分别单独地供给正压、负压以及大气压中的某一个。由此，能够实现对载置于载物台310的物体进行吸附以及解除该吸附，还能够使该物体浮起。如后述那样，在本实施方式中，环状槽313主要发挥向大气压开放的大气开放槽的功能，另外，其它槽314被供给负压来主要发挥真空吸引槽的功能。[〇〇79]从图2B中得知，载物台310的上表面包括:水平面部311，其为大致水平的平面;倾斜面部312,其与水平面部311相连接，且为具有规定的倾斜角01的平面。水平面部311和倾斜面部312相接的棱线部El呈与X方向平行的直线状。在图中，强调了倾斜，但是倾斜角01为几度左右，例如能够是2度。槽314设置于水平面部311中的棱线部E1的附近。
[0080]在载物台310的水平面部311的上方沿着X方向延伸配置有辊521，该辊521被从载物台310下方延伸的辊保持部522保持且能够自由旋转。辊521能够通过未图示的升降机构沿着Z方向移动，由此以与载物台310接近或分离的方式移动。另外，通过马达502(图1)的旋转，使辊521与按压辊部520—体地沿着Y方向移动。辊521不具有驱动源而进行自由旋转。 [〇〇81]在载物台310的棱线部E1的上方设置有上部吸附部120(图1)的吸附机构。该吸附机构具有:头部121，其沿着X方向延伸设置;多个吸附垫122，其分别安装在该头部121上，且沿着X方向排列。吸附垫122例如由橡胶等弹性材料形成，通过向各吸附垫122供给负压，能够吸附物体。头部121能够通过上部吸附部120的升降机构123(图1)进行升降移动，由此，各吸附垫122—体地以与载物台310接近或分离的方式进行移动。此外，虽然省略图示，但是上部吸附部120还具有位置调整机构，该位置调整机构通过使头部121沿着Y方向移动来调整各吸附垫122的Y方向位置。
[0082]在载物台310的倾斜面部312的上方配置有初始剥离部320的按压构件321。更具体地说，初始剥离部320具有在倾斜面部312的上方沿着X方向延伸设置的按压构件321，按压构件321被支撑臂322支撑。按压构件321由一张板状体形成为大致长方体形状，按压构件 321设置有锥形部，在与按压构件321的长度方向垂直的截面中，随着朝向一短边锥形部的宽度变小，并且在该锥形部的顶部形成有平坦的顶面。这样形状的按压构件321将X方向作为长度方向，另外使顶面朝下来被支撑臂322支撑。按压构件321的X方向上的两端部分别延伸至载物台310的端部的外侧，因此延伸至载置于载物台310的层叠体的X方向端部的外侧。 [〇〇83]支撑臂322被一对滑块323、324支撑，所述滑块323、324安装于在固定于框体的基座板325上立起设置的一对导轨326、327，并且所述滑块323、324能够自由滑动。而且，初始剥离部320具有驱动部328,该驱动部328例如具有马达、缸体等恰当的驱动源，驱动部328的驱动力根据需要被例如滚珠螺杆机构等转换机构转换为Z方向的直线运动，并传递至支撑臂322。因此，当驱动部328进行动作时，支撑臂322沿着Z方向进行升降移动，按压构件321与支撑臂322—体地进行升降来以与载物台310接近或分离的方式移动。此外，虽然省略图示， 但是初始剥离部320还具有位置调整机构，该位置调整机构通过在基座板325上使导轨326、 327沿着Y方向移动来调整按压构件321的Y方向位置。[〇〇84]图3是示出该剥离装置的电结构的框图。装置各部被控制单元70控制。控制单元70 具有:CPU(中央处理器)701，其掌管整个装置的动作；马达控制部702，其用于控制在各部上设置的马达组；阀控制部703,其用于控制在各部上设置的阀组；负压供给部704,其用于产生向各部供给的负压;用户界面(UI)部705,其接收用户的操作输入或者将装置的状态通知给用户。此外，在能够利用外部所供给的负压的情况下，控制单元70也可以不具有负压供给部。[〇〇85]马达控制部702控制设置于上部单元10的马达105、设置于上部吸附单元120的升降机构123、设置于中央单元30的初始剥离部320的驱动部328、设置于下部单元50的马达 502以及升降机构523等。阀控制部703控制阀组V10、阀组V30等，所述阀组V10设置于从负压供给部704连接至吸附垫122的配管路径上，向吸附垫122供给规定的负压，所述阀组V30设置于从负压供给部704连接至在载物台310上设置的真空吸附槽的配管路径上，向真空吸附槽314供给规定的负压。[〇〇86]图4A以及图4B是示出载物台和载置于载物台的层叠体之间的位置关系的图。更具体地说，图4A是示出载置于载物台310的层叠体的位置的俯视图，图4B是示出在载物台310 上载置有层叠体的状态的局部侧视图。在此，将如下情况作为例子来进行说明，即，最终应该被转印图案的基板SB和暂时担载有用于转印至该基板SB的图案的橡皮布BL重合而成的层叠体载置于载物台310。但是对橡皮布BL进行图案成形的版和橡皮布BL的层叠体的情况， 也能够同样考虑。在该情况下，在下面的说明中，只要将“基板”替换为“版”即可。[〇〇87]在基板SB和橡皮布BL隔着图案紧贴而成的层叠体中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整个表面与橡皮布BL相向，而橡皮布BL仅有中央部分与基板SB相向，而周缘部为不与基板SB相向的空白部分。在基板SB的表面区域中的除了周缘部的中央部分设定有有效区域AR，该有效区域AR被有效地转印图案来发挥器件的功能。因此， 该剥离装置1的目的在于，在不损坏从橡皮布BL转印至基板SB的有效区域AR的图案的情况下，将橡皮布BL与基板SB剥离。[〇〇88]如图4A所示，以使基板SB的整个有效区域AR位于载物台310的水平面部311的方式，将层叠体载置于载物台310。此时，以使环状槽313完全包围有效区域AR的方式预先决定环状槽313的配置。另一方面，以包围环状槽313的方式设置于载物台310的水平面部311上的槽314,设置于在橡皮布BL载置于载物台310时被橡皮布BL堵塞的位置。[〇〇89]基板SB的+Y侧端部配置于比载物台310的棱线部E1稍向+Y侧突出的位置。另一方面，橡皮布BL的+Y侧端部从载物台310的棱线部E1大幅度伸出且扩展至倾斜面部312的上方。因此，在该部分，橡皮布BL的下表面不与载物台310抵接，从而在橡皮布BL和倾斜面部 312之间形成有间隙。
[0090]预先调整吸附垫122的Y方向位置，以使吸附垫122位于基板SB的+Y侧端部的正上方且比设置于载物台310的槽314更靠+Y侧的位置。另一方面，按压构件321位于突出到倾斜面部312的橡皮布BL端部的上方。在基板SB和橡皮布BL的层叠体这样载置于载物台310的状态下，根据CPU701的控制指令使各部进行动作，从而使基板SB和橡皮布BL剥离。
[0091]图5是示出剥离处理的流程图。另外，图6A至图6C、图7A以及图7B是示出处理各阶段中的各部的位置关系的图，示意性地示出处理的进行状况。CPU701执行预先存储的处理程序来控制各部，从而进行该剥离处理。
[0092]当通过操作者或者外部的搬运机械手等将层叠体搬入并配置于载物台310上的上述位置(步骤S101)时，向载物台310的真空吸附槽314供给负压，从而通过载物台310吸附保持层叠体(步骤S102)。接着，装置各部配置于用于执行剥离的初始位置(步骤S103)。图6A示出各部的初始位置。如该图所示，头部121下降，来使各吸附垫122的下表面与基板SB的端部上表面相抵接。在该时刻，不向吸附垫122供给负压，该吸附垫122仅仅机械性地与基板SB的上表面接触。另外，按压构件321配置于橡皮布BL的端部附近且从橡皮布BL的上表面向上方分离的位置。而且，辊521在比基板SB的有效区域AR更靠+Y侧且比真空吸附槽314的位置更靠-Y侧的位置，与基板SB的上表面相抵接。[〇〇93]接着，在该状态下使按压构件321下降(步骤S104)，一边使按压构件321的下端(顶面)与橡皮布BL抵接，一边使按压构件321进一步下降。此时，如图6B所示，橡皮布BL的+Y侧端部被按压构件321的顶面推向下方从而朝下弯曲。在棱线部E1的-Y侧即图中左侧，由于橡皮布BL的下表面被载物台310的水平面部311吸附保持，因此限制橡皮布BL发生变形。因此， 橡皮布BL产生弯曲的部位限定于棱线部E1的+Y侧即图中右侧。尤其，由于应力集中于棱线部E1的附近，因此在该部分容易产生弯曲。[〇〇94]沿着X方向延伸设置的按压构件321，在X方向上均匀地按压橡皮布BL。即，不管X方向位置如何，按压力都恒定。因此，橡皮布BL的弯曲方式在X方向上都一致。即，橡皮布BL弯曲成具有与X方向平行的轴的柱面状。另外，由于载物台310的棱线部E1也沿着X方向，因此上述趋势更显著。[〇〇95]另一方面，基板SB由刚性比橡皮布BL刚性高的材料形成，变形与橡皮布BL的变形相比，更受限制。即，基板SB的+Y侧端部不追随橡皮布BL向下方进行弯曲，而借助本身的刚性要返回原来的水平姿势。因此，在要朝下进行弯曲的橡皮布BL和要维持水平姿势的基板 SB之间产生间隙，开始被局部剥离。即，按压构件321按压橡皮布BL，来引发橡皮布BL和基板 SB的分离。为了防止基板SB与橡皮布BL—起向下方弯曲，需要橡皮布BL具有适当的柔性，并且基板SB具有更高的刚性。另外，吸附垫122需要具有如下大小的伸缩性，S卩，能够追随因按压构件321按压橡皮布BL而产生的基板SB的变形，S卩，即使在基板SB暂时弯曲的情况下，也不解除与基板SB的抵接状态。[〇〇96]在此，将橡皮布BL和基板SB紧贴而未剥离区域称为紧贴区域，将已经剥离而在两者之间产生有间隙的区域称为剥离区域，而且将紧贴区域和剥离区域的边界所形成的线称为剥离边界线并用附图标记DL表示。由于橡皮布BL弯曲成具有X方向的轴的柱面状，因此剥离边界线DL为沿着X方向的一条直线。[〇〇97]图6C是从上方观察图6B的状态下的基板SB和橡皮布BL的图。标注斜线的区域R11、 R12以及R13分别表示橡皮布BL中的与按压构件321相抵接的区域、橡皮布BL中的被供给至真空吸附槽314的负压吸附的区域，以及基板SB中的与辊521相抵接的区域。如该图所示，在开始剥离的初始阶段，从橡皮布BL的中央侧(图中左侧)朝向+Y侧，依次排列有有效区域AR 的+Y侧端部、与辊521相抵接的抵接区域R13、被吸附的区域R12、剥离边界线DL、基板SB的+Y 侧端部、与按压构件321相抵接的抵接区域R11。[〇〇98]在辊521和基板SB相抵接的抵接区域R13以及橡皮布BL被吸附的区域R12的外侧 (图中右侧)，对橡皮布BL进行按压，从而防止橡皮布BL的变形影响到有效区域AR。另外，辊 521的抵接位置处于有效区域AR的外侧，从而避免来自辊521的局部按压力施加于有效区域 AR内的图案上。[〇〇99]这样，在通过按压构件321的压力接触使橡皮布BL向下方弯曲，且基板SB返回水平状态来形成剥离边界线DL时，返回图5,接着向与基板SB的上表面相抵接的吸附垫122供给负压来吸附保持基板SB，开始使吸附垫122上升(步骤S105)。与吸附垫122的上升同步地，在使辊521与基板SB上表面抵接的状态下，使辊521向与已剥离区域相反的方向即-Y方向移动 (步骤S106)。吸附垫122的上升速度以及辊521的移动速度均为恒定速度。
[0100]如图7A所示，当使吸附垫122上升时，抬起吸附垫122所吸附的基板SB的端部，从而促进从橡皮布BL上剥离基板SB的动作。即，剥离边界线向-Y方向(图中左方)移动。通过使辊 521与基板SB的上表面抵接，剥离边界线的移动限定于与辊521相抵接的抵接位置。辊521沿着X方向延伸设置，因此剥离边界线也呈沿着X方向延伸的直线状。在本实施方式中，沿着X 方向排列设置有多个(图2中为6个)吸附垫122,从而获得高的吸附保持力。另外，在尽量接近基板SB的端部的位置进行吸附，从而能够可靠地抬起基板SB。
[0101]在该状态下，一边使吸附垫122上升，一边使辊521以恒定速度向-Y方向移动，由此剥离边界线以维持直线状态的方式以恒定速度向-Y方向移动。即，将-Y方向作为剥离方向来进行剥离。由于使辊521从有效区域AR外侧开始移动，因此辊521通过有效区域AR上方的速度恒定，图案受到来自辊521的按压力，在有效区域AR内的任何部位都均匀。[〇1〇2]这样，继续使吸附垫122上升以及使辊521移动，当它们到达整个基板SB的剥离完成的结束位置(步骤S107)时，使吸附垫122和辊521停止移动，并且使辊521以及按压构件 321移动至规定的退避位置(步骤S108)。若在该状态下解除吸附垫122的吸附，则能够搬出从橡皮布BL剥离的基板SB(步骤S109)。接着若解除载物台310的吸附，则能够搬出橡皮布BL (步骤S110)。搬出基板SB和橡皮布BL，从而结束剥离处理。
[0103]在上述剥离处理的过程中，环状槽313总是向大气开放。橡皮布BL被设置于环状槽 313的外侧的真空吸附槽314真空吸附，因此即使在环状槽313向大气开放的状态下，也不会失去对橡皮布BL进行的保持。另一方面，使以包围有效区域AR的方式设置的环状槽313处于大气开放状态，从而能够得到如下优点。
[0104]若在载物台310的上表面上存在例如因缺陷、附着异物等而产生的凹凸的情况下， 在通过真空吸附将橡皮布BL按压于载物台310上表面时，橡皮布BL可能也仿照载物台的凹凸而弯曲。由此，可能使基板SB弯曲，或者使夹持在基板SB和橡皮布BL之间的图案发生变形。无论怎样，从良好地将图案转印至基板SB的目的来说，都不是希望的现象。在本实施方式中，在向大气开放的环状槽313的内侧的区域，不将橡皮布BL强力按压于载物台310的上表面上。因此，即使载物台上表面上存在凹凸，也能够避免该影响波及到基板SB、图案。
[0105]在从上述那样的橡皮布BL向基板SB转印图案时，为了将橡皮布BL所担载的图案以完整的形状转移至基板SB，要求剥离边界线的移动速度即剥离的进行速度(在此，称为“剥离速度”)恒定。原因如下，即，尤其在图案微细的情况下，或者图案形成材料的性质不同时， 在使剥离速度发生变化时会施加剪切力，从而可能损坏图案。从版向橡皮布BL进行图案成形也同样。
[0106]在上述剥离处理中，能够预先使形成直线状的剥离边界线以恒定速度移动。至少在有效区域AR内使剥离边界线的移动速度恒定，从而能够防止因剥离速度变化而使图案损坏的情况。
[0107]图8A至图8C是示出剥离边界线和剥离速度之间的关系的图。在剥离的初始阶段未引发分离而将基板SB和橡皮布BL拉开的情况下，如图8A的第一比较例所示，一般从基板SB 的两角部开始剥离，剥离边界线DL最初形成在两个部位之后形成一体，最终与辊抵接来成为直线状。
[0108]另外，在如所述现有技术那样，通过局部推出橡皮布或者插入剥离爪来引发分离的结构中，如图8B的第二比较例所示，在引发分离的部分局部产生大的剥离区域，通过使该剥离区域逐渐扩大来最终连接成剥离边界线DL。
[0109]在这些结构中，未对在剥离的初始阶段产生的剥离边界线的形状进行管理，使得形状不恒定。因此即使以恒定速度使基板和橡皮布分离，不仅在局部产生的剥离边界线DL 形成一体时移动速度发生不连续的变动，而且在弯曲的剥离边界线DL变成直线状的过程中，从局部观察时，随处都产生速度变动(由于存在因位置不同而产生的速度差，因此使剥离边界线的形状发生变化)。这能够成为导致图案损坏的原因。
[0110]在这些比较例中，也能够通过使辊抵接于基板来最终使剥离边界线成为直线，但是为了可靠地获得该效果，需要在剥离进行至基本与辊相抵接的抵接位置的时刻暂时停止剥离，然后一边使辊移动，一边进行剥离。此时产生速度变动，因此仍然成为图案损坏的原因。若预先使辊在有效区域的外侧抵接于基板，则能够防止有效区域内的损坏，但是根据能够使辊以什么样的程度接近基板端部来决定有效区域的尺寸，可能因结构上的限制而使有效区域变小。
[0111]相对于此，在本实施方式的剥离处理中，如图8C所示，在剥离的初始阶段形成与剥离方向相垂直的直线状剥离边界线DL，在处理进行的过程中，剥离边界线DL的形状也不改变，剥离边界线DL只是向剥离方向移动。因此，局部剥离速度也始终保持为恒定，因此防止图案损坏。
[0112]用于在剥离的初始阶段使剥离边界线DL形成直线状的本实施方式的主要结构为， 使橡皮布BL向与基板SB分离的方向弯曲成柱面状，并且使辊521抵接来一边将剥离边界线 DL保持为直线一边使剥离边界线DL以恒定速度移动。从该意思来说，无论初始阶段的辊521 的位置如何，在本实施方式中最初就能产生直线状剥离边界线。
[0113]如上所述，在本实施方式中，在剥离的初始阶段，使剥离对象物即作为层叠体的一者的橡皮布BL的一端部向与另一者的基板SB分离的方向弯曲成柱面状，从而在两者紧贴的紧贴区域的端部产生一个且直线状的剥离边界线DL。然后，一边将剥离边界线DL维持为直线状，一边使剥离边界线DL以恒定速度移动来进行剥离，从而能够一边防止因剥离速度变动而引起的图案损坏一边良好地进行剥离。
[0114]为了使橡皮布BL变形为柱面状，在本实施方式中，将层叠体载置于载物台310的具有直线状棱线部E1的水平面部311，用按压构件321按压从棱线部E1突出部分的橡皮布BL。 此时，按压构件321在与棱线方向平行延伸的大范围内均匀地按压橡皮布BL。由此，防止橡皮布BL局部弯曲的情况，稳定可靠地产生柱面状的变形。[〇115]如上面说明，在本实施方式中，在剥离处理的对象物即层叠体中，橡皮布BL相当于本发明的“第一板状体”，基板SB (或者版)相当于本发明的“第二板状体”。因此，本实施方式中的载物台310发挥本发明的“第一保持单元”以及“载物台”的功能，另外吸附垫122发挥本发明的“第二保持单元”的功能。另外，初始剥离部320发挥本发明的“剥离开始单元”的功能，另一方面用于使吸附垫122上升的升降机构523发挥本发明的“分离单元”的功能。另外， 剥离边界线DL相当于本发明的“边界线”。
[0116]另外，在上述实施方式中，载物台310的水平面部311发挥本发明的“抵接面”的功能，按压构件321以及辊521分别发挥本发明的“按压构件”以及“抵接单元”的功能。
[0117]另外，在本发明的剥离处理(图5)中，步骤S101以及S102相当于本发明的“设置工序”，步骤S104相当于本发明的“边界线形成工序”。而且，步骤S105至S108相当于本发明的 “剥离工序”。
[0118]〈第一实施方式的变形例〉
[0119]此外，本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内，能够进行除了上述内容之外的各种变更。例如，在上述实施方式中，基板SB和橡皮布BL重合而成的层叠体，以使橡皮布BL朝下的方式载置为水平姿势。但是，基板以及橡皮布的姿势并不限定于此，可以是任意的。
[0120]另外，例如，在上述实施方式中，通过平板状的按压构件321按下橡皮布BL来使其弯曲，但是例如也可以利用辊状按压构件来代替所述按压构件321。另外，载物台310的上表面呈从水平面部311连接至倾斜面部312的锥形，但是例如也可以是具有阶梯状坡的载物台。在该情况下，优选在按压构件上设置挡止机构，以便不使橡皮布BL过度弯曲。
[0121]另外，例如，在上述实施方式中，为了防止载物台310的表面状态的影响波及到基板SB、图案，设置向大气开放的环状槽313。但是，环状槽313并不是必须的，另外，也可以供给恰当地管理的正压或者负压。另外，槽的形状也不限定于环状，可以是连续或者断续地包围有效区域的外侧的任意的形状。
[0122]另外，对分别保持基板SB以及橡皮布BL的结构并不限定于真空吸附。例如也可以利用机械结构或者通过磁性来保持它们。例如对橡皮布BL而言，能够用保持框机械地按压橡皮布BL的外周部。另外，在上述实施方式中，仅对基板SB的一端部进行真空吸附，但是也可以吸附整个基板，或者将吸附垫分散配置在基板的各处。
[0123]另外，例如，也可以在载物台310的倾斜面部312设置真空吸附槽，吸附被按压构件 321按压而弯曲的橡皮布BL来使其维持弯曲的姿势。
[0124]如上所述，在本发明的剥离装置的第一方式中，例如可以构成为:第一保持单元具有平面状抵接面和与抵接面相连接的其它面，抵接面和其它面之间的棱线的至少一部分为长度大于等于第一板状体在该棱线方向上的长度的直线，使抵接面抵接于第一板状体的与第二板状体紧贴的面相反的一侧的面，且以使第一板状体的一端部从抵接面突出到棱线的外侧的状态保持第一板状体，剥离开始单元在棱线的外侧使第一板状体弯曲。
[0125]在这样的结构中，第一板状体中的与平面状抵接面相抵接的区域被保持为平面状态，因此能够防止第一板状体的该区域弯曲，而可靠地仅使一端部弯曲。另外，以使第一板状体抵接于直线状棱线的状态，使第一板状体弯曲，从而能够可靠地使因弯曲而产生的边界线形成为直线状。
[0126]另外，例如可以在使相互紧贴的平面尺寸不同的两张板状体剥离的情况下，将它们中的平面尺寸大的板状体设为第一板状体，将另一个板状体设为第二板状体，第一保持单元以使第一板状体的不与第二板状体紧贴的周缘部突出至棱线的外侧的方式保持第一板状体，剥离开始单元具有按压构件，该按压构件从第二板状体侧抵接于周缘部，向与第二板状体相反的方向按压第一板状体。通过用按压构件按压第一板状体的一端部，可靠地使第一板状体发生变形，从而能够从第二板状体局部地剥离第一板状体。
[0127]在该情况下，按压构件也可以在与棱线平行的方向上均匀地与第一板状体相抵接。在作用于第一板状体的按压力不均匀的情况下，第一板状体以形成波浪状的方式发生变形，可能无法发生形成柱面状的变形。这样，形成的边界线也弯曲而不呈直线状。通过沿着一个方向施加均匀的按压力，使第一板状体弯曲成柱面状，从而能够可靠地使边界线形成直线状。若为与棱线平行的方向，则更有效。
[0128]另外，例如在使隔着第二板状体的中央部的有效区域所担载的图案或者薄膜紧贴的第一板状体和第二板状体剥离的情况下，优选剥离开始单元在有效区域的外侧生成边界线。在这样的结构中，即使在确定直线状边界线之前的初始阶段产生边界线弯曲现象，也防止该影响波及到有效区域。即，防止有效区域内的图案等损坏。
[0129]在该情况下，例如也可以具有在与第一板状体一侧相反的一侧与第二板状体相抵接的抵接单元，抵接单元在有效区域的外侧且在与边界线平行的方向上均匀地与第二板状体相抵接。这样，能够防止在剥离的初始阶段边界线到达至有效区域。
[0130]此外，在该情况下，也可以随着第一板状体和第二板状体之间的分离移动，使抵接单元一边与第二板状体抵接一边向远离边界线的方向移动，这样，能够通过抵接单元一边限制边界线不规则地移动一边进行剥离。
[0131]另外，第一保持单元例如也可以在与有效区域相向的位置的外侧对第一板状体进行吸附保持，剥离开始单元使第一板状体的被第一保持单元吸附保持的部分的外侧部分弯曲。在这样的结构中，第一板状体的发生变形的位置限定于被吸附保持的位置的外侧，因此防止在与有效区域相向的位置发生变形。由此，能够防止向图案等施加压力或图案发生变形。
[0132]另外，第二保持单元例如也可以保持最接近形成边界线的位置的第二板状体的周缘部。这样，使应力集中于边界线的附近，从而能够可靠地使第一板状体和第二板状体开始分离，另外，能够可靠地使边界线从被第二保持单元保持的第二板状体的周缘部朝向相反的方向移动。
[0133]另外，分离单元例如也可以使第一保持单元和第二保持单元之间的间隔以恒定速度增加。在形成直线状边界线之后，以恒定速度使第一保持单元和第二保持单元分离，从而在整个紧贴区域中获得恒定的剥离速度。
[0134]另外，本发明的剥离方法例如也可以为:具有设置工序，在执行边界线形成工序之前，以使第一板状体的一端部突出到载物台的平面部的棱线的外侧的状态，使第一板状体抵接于载物台的平面部;在边界线形成工序中，从与载物台一侧相反的一侧向与第二板状体相反的方向按压一端部。
[0135]在这样的结构中，与上述剥离装置同样地，能够使第一板状体的一端部向与第二板状体分离的方向发生变形，由此能够使第一板状体和第二板状体局部剥离来形成剥离边界线。
[0136]另外，使隔着第二板状体的一侧主面中央部的有效区域所担载的图案或者薄膜紧贴的第一板状体和第二板状体剥离的情况下，例如也可以在设置工序中，使第一板状体的与有效区域相向的区域抵接于平面部，另一方面，在与有效区域相向的区域的外侧，使第一板状体抵接于平面部的棱线。由此，能够防止在执行剥离工序之前边界线到达有效区域的情况，另外能够将第一板状体的变形仅限定于有效区域的外侧。
[0137]另外，例如也可以在剥离工序中，一边使沿着与边界线的方向垂直的方向延伸的抵接单元抵接于第二板状体的与第一板状体一侧相反的一侧的面，一边使抵接单元，以与第一板状体和第二板状体之间的分离移动同步的方式，向与剥离区域一侧相反的一侧相对于第二板状体移动。这样，能够一边通过抵接单元限制边界线不规则地移动，一边稳定地管理剥离。
[0138]〈第二实施方式〉
[0139]图9是示出本发明的剥离装置的第二实施方式的立体图。为了统一表示各图中的方向，如图9右下方所示那样设定XYZ正交坐标轴。在此，XY平面表示水平面，Z轴表示铅垂轴。更详细地，+Z方向表示铅垂朝上方向。此外，在下面的各图中，为了便于理解发明，可能将各部的尺寸恰当进行放大缩小来表示。因此，尤其后述基板以及橡皮布的厚度和两者之间的间隔，有时以比实际情况大的方式表示。
[0140]与第一实施方式的剥离装置1(图1)同样地，该剥离装置2001是用于使以主面彼此紧贴的状态被搬入的两张板状体剥离的装置。即，在包括涂敷工序、图案成形工序、转印工序的图案形成工艺中，为了达到使版和橡皮布之间或者基板和橡皮布之间分离的目的，能够优选利用本装置。当然也可以用于其它用途中。
[0141]该剥离装置2001的结构为，在安装在框体上的主机架2011上分别固定有载物台部 2003以及上部吸附部2005。在图9中，为了示出装置的内部结构而省略图示框体。另外，除了上述的各部之外，该剥离装置2001还具有后述控制单元2070(图14)。
[0142]载物台部2003具有用于载置版或者基板与橡皮布紧贴而成的层叠体(下面，称为 “工件”)的载物台2030,载物台2030具有:水平载物台部2031，其上表面为大致水平的平面； 锥形载物台部2032,其上表面为相对于水平面倾斜几度(例如2度左右)的平面。在载物台 2030的锥形载物台部2032侧即-Y侧的端部附近设置有初始剥离单元2033。另外，以跨越水平载物台部2031的方式设置有辊单元2034。
[0143]另一方面，上部吸附部2005具有:支撑机架2050，其从主机架2011立起设置，并且以覆盖载物台部2003的上部的方式设置;安装在该支撑机架2050上的第一吸附单元2051、 第二吸附单元2052、第三吸附单元2053以及第四吸附单元2054。吸附单元2051?2054依次向+Y方向排列。
[0144]图10是示出该剥离装置的主要结构的立体图。更具体地说，图10示出剥离装置 2001的各结构中的载物台2030、辊单元2034以及第二吸附单元2052的结构。载物台2030具有:水平载物台部2031，其上表面2310为大致水平面;锥形载物台部2032,其上表面2320为锥面。水平载物台部2031的上表面2310的平面尺寸稍大于要载置的工件的平面尺寸。
[0145]锥形载物台部2032紧贴于水平载物台部2031的-Y侧端部，上表面2320具有水平面 2321和锥面2322。更具体地说，锥形载物台部2032的上表面2320中的与水平载物台部2031 相接的部分，为位于与水平载物台部2031的上表面2310相同的高度(Z方向位置)的水平面2321。另一方面，在该水平面2321的-Y方向侧，锥形载物台部2032的上表面2320为锥面2322,该锥面2322具有随着从水平载物台部2031朝向-Y方向而向下方即-Z方向后退的下坡。因此，在整个载物台2030中，水平载物台部2031的上表面2310的水平面和锥形载物台部 2032的上表面2320中的水平面2321连续且形成一体的水平面，在该水平面的-Y侧端部连接有锥面2322。水平面2321和锥面2322连接的棱线部E2呈沿着X方向延伸的直线状。
[0146]在锥形载物台部2032的上表面2320中的水平面2321的X方向上的中央部设置有拍摄窗2323。拍摄窗2323的结构为，在从水平面2321贯通至锥形载物台部2032的下表面侧的贯通孔内嵌入透明构件，拍摄窗2323的上表面与锥形载物台部2032的水平面2321处于同一平面内。此外，拍摄窗只要是能够从下方利用光学方法观察载置于载物台2030的工件的结构即可，例如也可以仅仅是贯通孔。另外，拍摄窗的开口形状也是任意的。而且，也可以使整个锥形载物台部2032或者整个水平面2321由具有光透过性的材料、例如玻璃或石英等构成，在该情况下不必设置拍摄窗。
[0147]另外，在水平载物台部2031的上表面2310上设置有格子状槽。更具体地说，在水平载物台部2031的上表面2310的中央部设置有格子状槽2311，并且在水平载物台部2031的上表面2310的周缘部，以包围形成有该槽2311的区域的方式，设置有形成为除去矩形中的锥形载物台部2032侧的1边的形状的槽2312。槽2311、2312经由控制阀与后述负压供给部2704 (图14)相连接，通过供给负压，发挥用于吸附保持载置于载物台2030的工件的吸附槽的功能。两种槽231U2312在载物台上不连接，另外经由相互独立的控制阀与负压供给部2704相连接，因此除了使用两种槽进行吸附之外，还能够仅使用一种槽来进行吸附。
[0148]以跨越这样构成的载物台2030的方式设置有辊单元2034。具体地说，在水平载物台部2031的X方向两端部设置有一对导轨2351、2352,所述导轨2351、2352沿着Y方向延伸， 导轨2351、2352固定在主机架2011上。并且，在导轨2351、2352上安装有辊单元2034,并且该辊单元2034能够自由滑动。
[0149]辊单元2034具有滑块2341、2342，所述滑块2341、2342分别以能够自由滑动的方式与导轨2351、2352相卡合。以连接滑块2341、2342的方式设置有下部角钢2343,该下部角钢 2343以跨越载物台2030上部的方式沿着X方向延伸设置。在下部角钢2343上通过恰当的升降机构2344安装有上部角钢2345,并且该上部角钢2345能够自由升降。并且，在上部角钢 2345上安装有沿着X方向延伸设置的圆柱状剥离辊2340,并且该剥离辊2340能够自由旋转。
[0150]当通过升降机构2344使上部角钢2345向下方即-Z方向下降时，剥离辊2340的下表面与载置于载物台2030的工件的上表面相抵接。另一方面，当通过升降机构2344使上部角钢2345定位于上方即+Z方向的位置的状态下，剥离辊2340处于从工件的上表面向上方分离的状态。在上部角钢2345上安装有用于抑制剥离辊2340弯曲的支承辊2346且该支承辊2346 能够自由旋转，并且恰当设置有用于防止上部角钢2345本身弯曲的加强筋。剥离辊2340以及支承辊2346不具有驱动源，它们进行自由旋转。
[0151]通过安装在主机架2011上的马达2353,能够使辊单元2034沿着Y方向移动。更具体地说，下部角钢2343与用于将马达2353的旋转运动转换为直线运动的、作为转换机构的例如滚珠螺杆机构2354相连接。当马达2353旋转时，下部角钢2343沿着导轨2351、2352在Y方向上移动，由此使辊单元2034沿着Y方向移动。随着辊单元2034的移动而进行移动的剥离辊 2340的可移动范围，在-Y方向上到水平载物台部20 31的-Y侧端部的附近，在+Y方向上到水平载物台部2031的+Y侧端部的外侧即更靠+Y侧的位置。
[0152]接着，对于第二吸附单元2052的结构进行说明。此外，第一吸附单元至第四吸附单元2051?2054均具有相同的结构，在此代表性地对于第二吸附单元2052的结构进行说明。 第二吸附单元2052具有沿着X方向延伸设置且固定在支撑机架2050上的梁构件2521，在该梁构件2521上安装有向铅垂下方即-Z方向延伸的一对柱构件2522、2523,所述柱构件2522、 2523的X方向上的位置相互不同。在柱构件2522、2523上通过图中未图示的导轨安装有板构件2524,并且该板构件2524能够自由升降，通过由马达以及转换机构(例如滚珠螺杆机构) 形成的升降机构2525驱动板构件2524以使其进行升降。
[0153]在板构件2524的下部安装有沿着X方向延伸的棒状垫支撑构件2526,在该垫支撑构件2526的下表面上沿着X方向以等间隔排列有多个吸附垫2527。图10示出使第二吸附单元2052移动至实际位置的上方的状态，但是在通过升降机构2525使板构件2524向下方移动时，能够使吸附垫2527下降至极其接近水平载物台部2031的上表面2310的位置。由此，在载物台2030上载置有工件的状态下，使吸附垫2527抵接于该工件的上表面。向各吸附垫2527 赋予来自后述负压供给部2704的负压，从而对工件的上表面进行吸附保持
[0154]图11A以及图11B是示出载物台的更详细结构的立体图。如图11A所示，载物台2030 的水平载物台部2031和锥形载物台部2032分别独立形成，并能够分离。锥形载物台部2032 能够通过省略图示的水平移动机构，在水平方向上以与水平载物台部2031接近或分离的方式移动。通过使锥形载物台部2032紧贴于水平载物台部2031的侧面，使水平载物台部2031 和锥形载物台部2032形成一体来发挥载物台2030的功能。
[0155]在水平载物台部2031的上表面2310上，除了上述吸附槽2311、2312之外，还设置有形状相互不同的开口 2313、2314。更具体地说，在水平载物台部2031的上表面2310中的、吸附槽2311和吸附槽2312之间的平坦部分的多个部位，分散配置有呈长圆形状的多个第一开口 2313。另外，在水平载物台部2031的上表面2310的中央部的相互分离的4个部位，设置有大致圆形的第二开口 2314。在水平载物台部2031的上表面2310上，第一开口 2313以及第二开口2314均不与吸附槽2311、2312连接。因此，在第二开口2314的周围，吸附槽2311被切断。
[0156]另一方面，在水平载物台部2031的设置有锥形载物台部2032的一侧即-Y侧的侧面，沿着X方向排列配置有4组主升降机2036。主升降机2036的结构相互相同。主升降机2036 各自具有:升降销2361，其以沿着水平载物台部2031的侧面的方式被加工成薄板状;升降机构2365,其从下方支撑该升降销2361，并且使该升降销2361根据来自控制单元2070(图14) 的驱动信号沿着上下方向(Z方向)升降。升降机构2365固定在水平载物台部2031的底面上。
[0157]图11B示出升降销2361的概略结构，如该图所示，升降销2361的上表面2361a被加工成大致平面。在该上表面2361a的中央部设置有吸附垫2362,吸附垫2362与以贯通升降销 2361的内部的方式设置的负压供给路径2363相连通。负压供给路径2363经由控制阀与后述负压供给部2704(图14)相连接。
[0158]在贯穿设置于水平载物台部2031的上表面2310的多个第一开口 2313,分别设置有一组具有相同结构的主升降机2036。即，在从第一开口 2313贯通至水平载物台部2031的底面的贯通孔的下端分别安装有升降机构2365,升降销2361插入于与各开口 2313相连通的贯通孔内。
[0159]各主升降机2036根据来自控制单元2070的驱动信号进行相同动作。即，各升降销 2361能够分别定位于下部位置和上部位置，根据来自控制单元2070的驱动信号在上部位置和下部位置之间同时进行升降，其中，所述下部位置指，升降销2361的上端后退至水平载物台部2031的上表面2310的下方的位置，所述上部位置指，升降销2361的上端突出到水平载物台部2031的上表面2310的上方的位置。在各升降销2361的上端突出到水平载物台部20 31 的上表面2310的上方并被定位的上部位置，使升降销2361的上表面2361a与载置于载物台 2030的工件的下表面抵接，从而能够以使工件与载物台2030分离的状态支撑工件。[〇16〇]另外，在水平载物台部2031的上表面2310中的配置有吸附槽2311的中央部所贯穿设置的第二开口 2314,配置有省略图示的子升降机。子升降机与主升降机2036同样地，具有升降销以及用于使该升降销升降的升降机构，根据来自控制单元2070的驱动信号，使升降销突出至水平载物台部2031的上表面2310的上方，从而能够辅助性地支撑工件。子升降机的升降销的上表面呈小于主升降机2036的升降销2361的上表面2361a的圆板形状，第二开口 2314也呈与该圆板形状相对应的形状。
[0161]图12A以及图12B是示出初始剥离单元的结构以及各部的位置关系的侧视图。首先，一边参照图9、图12A以及图12B，一边说明初始剥离单元2033的结构。如图12A所示，初始剥离单元2033具有在锥形载物台部2032的上方沿着X方向延伸设置的棒状按压构件2331， 按压构件2331被支撑臂2332支撑。支撑臂2332经由沿着铅垂方向延伸设置的导轨2333安装在柱构件2334上，并且该支撑臂2332能够自由升降，通过升降机构2335的动作，使支撑臂 2332相对于柱构件2334进行上下移动。柱构件2334被安装在主机架2011上的基座部2336支撑，但是能够通过位置调整机构2337在规定的范围内调整柱构件2334在基座部2336上的Y 方向位置。
[0162]在由水平载物台部2031以及锥形载物台部2032构成的载物台2030上，载置有作为剥离对象物的工件WK。图案成形工序中的工件是版和橡皮布隔着图案形成材料的薄膜紧贴而成的层叠体。另一方面，转印工序中的工件是基板和橡皮布隔着进行了图案成形的图案紧贴而成的层叠体。下面，对于在将转印工序中的基板SB和橡皮布BL形成的层叠体作为工件WK的情况下的剥离装置2001的剥离动作进行说明，但是在将由版和橡皮布形成的层叠体作为工件的情况下，也能够用同样的方法进行剥离。
[0163]在工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。基板SB紧贴于橡皮布 BL的大致中央部。工件WK以使橡皮布BL朝下且使基板SB朝上的方式载置于载物台2030。此时，如图12A所示，工件WK中的基板SB的-Y侧端部位于载物台2030的水平面和锥面之间的边界的上方，即位于锥形载物台部2032的水平面2321和锥面2322之间的边界处的棱线部E2的大致上方。更详细地，以使基板SB的-Y侧端部位于比棱线部E2稍向-Y侧偏移的位置的方式， 将工件WK载置于载物台2030。因此，在-Y方向上比基板SB外侧的橡皮布BL，突出到锥形载物台部2032的锥面2322的上方，从而在橡皮布BL的下表面和锥面2322之间产生间隙。橡皮布 BL的下表面和锥面2322所形成的角02为与锥形载物台部2032的锥角相同的几度(在本实施方式中为2度)左右。
[0164]在水平载物台部2031上设置有吸附槽2311，用于吸附保持橡皮布BL的下表面。更详细地，吸附槽2311用于吸附与基板SB的下部接触的橡皮布BL的下表面。另一方面，如图 11A所示，以包围吸附槽2311的周围的方式设置有其它吸附槽2312,吸附構2312用于吸附基板SB的外侧的橡皮布BL的下表面。吸附槽231U2312能够相互独立进行吸附或解除吸附，能够同时使用两种吸附槽2311、2312来强力吸附橡皮布BL。另一方面，仅使用外侧的吸附槽 2312来进行吸附，而对于有效地形成有图案的橡皮布BL的中央部不进行吸附，从而能够防止因进行吸附而使橡皮布BL弯曲而导致的图案的损坏。这样，通过独立控制向中央部的吸附構2311和周缘部的吸附槽2312供给的负压，能够根据目的来切换吸附保持橡皮布BL的方式。
[0165]这样，在被载物台2030吸附保持的工件WK的上方配置第一吸附单元至第四吸附单元2051?2054、辊单元2034的剥离辊2340。在图12A中仅示出4个吸附单元中的-Y侧的两个吸附单元2051、2052。如上所述，在第二吸附单元2052的下部沿着X方向排列设置有多个吸附垫2527。更详细地，吸附垫2527例如由橡胶、硅酮树脂等具有柔性以及弹性的材料一体形成，具有:吸附部2527a，其下表面与工件WK的上表面(更具体地，基板SB的上表面)相抵接来吸附该工件WK;波纹管部2527b，其在上下方向(Z方向)上具有伸缩性。设置在其它吸附单元 2051、2053以及2054上的吸附垫也具有相同结构。下面，对于设置在第一吸附单元2051上的吸附垫标注附图标记2517,从而与第二吸附单元2052的吸附垫2527进行区分。
[0166]第一吸附单元2051设置于棱线部E2的上方，第一吸附单元2051下降时吸附基板SB的-Y侧端部的上表面。另一方面，最靠+Y侧配置的第四吸附单元2054(图9)设置在载置于载物台2030的基板SB的+Y侧端部的上方，第四吸附单元2054下降时，吸附基板SB的+Y侧端部的上表面。第二吸附单元2052以及第三吸附单元2053恰当地分散配置在第一吸附单元2051 与第四吸附单元2054之间，例如能够使设置在各吸附单元2051?2054上的吸附垫2517等在 Y方向上隔开大致相等间隔。这些吸附单元2051?2054能够彼此独立执行上下方向上的移动以及进行吸附或解除吸附的动作。
[0167]剥离辊2340沿着上下方向移动来以与基板SB接近或分离的方式移动，并且通过沿着Y方向移动来沿着基板SB水平移动。在剥离辊2340下降的状态下，一边与基板SB的上表面抵接并进行转动一边进行水平移动。移动至最靠-Y侧时的剥离辊2340的位置，为离第一吸附单元2051的吸附垫2517的+Y侧最近位置。为了能够配置在这样的接近位置，就第一吸附单元2051的而言，与图10所示的第二吸附单元2052的结构相同的第一吸附单元2051，如图9 所示那样，以与其它第二吸附单元至第四吸附单元2052?2054的朝向相反的方式安装在支撑机架2050上。
[0168]初始剥离单元2033调整其Y方向位置，以使按压构件2331位于突出至锥形载物台部2032的上方突出的橡皮布BL的上方。然后，使支撑臂2332下降，从而使按压构件2331的下端下降来按压橡皮布BL的上表面。此时，为了不使按压构件2331弄伤橡皮布BL，按压构件 2331的前端由弹性构件形成。
[0169]如上所述，在水平载物台部2031的-Y侧侧面上设置有主升降机2036。为了不使后退至下部位置的升降销2361和锥形载物台部2032发生干涉，锥形载物台部2032的水平面 2321的下部被切掉。[〇17〇]另外，在设置于锥形载物台部2032的水平面2321的拍摄窗2323的正下方位置设置有拍摄部2037,该拍摄部2037例如具有CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)传感器、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体)传感器等拍摄元件和将上方作为拍摄方向的拍摄光学系统。拍摄部2037固定在水平载物台部2031、 锥形载物台部2032以及主机架2011中的某一个上。拍摄部2037隔着拍摄窗2323从下方拍摄与该拍摄窗2323相面对的工件WK，将获取的图像数据发送至控制单元2070(图14)。
[0171]此外，锥形载物台部2032能够通过未图示的水平移动机构沿着Y方向移动。如图 12A所示，在通过水平移动机构使锥形载物台部2032定位于+Y侧位置的状态下，锥形载物台部2032与水平载物台部2031的侧面相抵接而发挥一体的载物台2030的功能。另一方面，在通过水平移动机构使锥形载物台部2032定位于-Y侧位置的状态下，如图12B所示，锥形载物台部2032与水平载物台部2031分离而在两者之间形成间隙，安装在水平载物台部2031的-Y 侧侧面上的主升降机2036的升降销2361通过该间隙来进行升降。
[0172]图12B示出拍摄部2037固定在水平载物台部2031或者主机架2011上的情况，拍摄部2037不会随着锥形载物台部2032的移动而移动。另一方面，在拍摄部2037固定在锥形载物台部2032上的情况下，锥形载物台部2032移动的同时拍摄部2037也沿着Y方向移动。如后述那样，由于拍摄部2037在水平载物台部2031和锥形载物台部2032相结合的图12A所示的状态下进行拍摄，因此可以是任何方式。
[0173]在设置于水平载物台部2031的多个升降销2361这样突出至载物台上表面2310的上方的状态下，能够以使工件WK与载物台上表面2310分离的状态支撑该工件WK。在将工件WK从外部搬入于剥离装置2001中时，能够通过使升降销2361突出至上部位置来接受工件 WK。在这样接受工件WK之后，通过使升降销2361下降来退避至载物台上表面2310的下方，将工件WK交至载物台2030。另一方面，在对工件WK进行的剥离处理结束之后，对留在载物台 2030上的橡皮布BL，也通过升降销2361从载物台2030抬起，从而能够将橡皮布BL送至外部。
[0174]在这些情况下，通过向设置在各升降销2361上的吸附垫2362供给负压，能够吸附保持橡皮布BL的下表面。另外，根据需要使子升降机进行动作，从而能够抑制工件WK或者橡皮布BL的中央部弯曲。
[0175]图13是示出载物台和载置于该载物台的工件之间的位置关系的图。在基板SB和橡皮布BL紧贴而成的工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整个表面与橡皮布BL相向，而橡皮布BL仅中央部分与基板SB相向，周缘部为不与基板SB相向的空白部分。在基板SB的表面区域中的除了周缘部的中央部分设定有有效区域AR，该有效区域AR被有效地转印图案来发挥器件的功能。因此，该剥离装置2001的目的在于，在不损坏从橡皮布BL转印至基板SB的有效区域AR的图案的情况下，使橡皮布BL与基板SB剥离。
[0176]以使基板SB的整个有效区域AR位于水平载物台部2031的上表面2310的方式，将工件WK载置于载物台2030。另一方面，在有效区域AR的外侧，基板SB的-Y侧端部定位于比载物台2030的水平面和锥面之间的边界的棱线部E2稍向-Y侧突出的位置。
[0177]图中标注点的区域R21表示能够通过吸附槽2311吸附橡皮布BL的区域。能够被吸附槽2311吸附的区域R21覆盖整个有效区域AR。另外，区域R22表示能够通过吸附槽2312吸附橡皮布BL的区域。吸附槽2312在有效区域AR的外侧吸附橡皮布BL。因此，例如在仅通过吸附槽2312吸附橡皮布BL的方式中，避免有效区域AR内的图案受到吸附的影响。
[0178]另外，区域R26表示主升降机2036的升降销2361所抵接的橡皮布BL的下表面区域。 在工件WK中的基板SB和橡皮布BL重合的区域且有效区域AR的外侧的区域，升降销2361与橡皮布BL的下表面相抵接。由此，能够防止在支撑时按压力施加于有效区域AR内的图案等上。 另外，利用基板SB的刚性和橡皮布BL的刚性来支撑工件WK，因此即使是大型且自重大的工件WK，也能够可靠地进行支撑。对于图13所示的其它区域R23、R24、R27，在下面说明动作时进行说明。[〇179]图14是示出该剥离装置的电结构的框图。装置各部被控制单元2070控制。控制单元2070具有:CPU2701，其掌管整个装置的动作；马达控制部2702，其用于控制在各部上设置的马达组；阀控制部2703,其用于控制在各部上设置的阀组；负压供给部2704,其用于产生向各部供给的负压；用户界面(UI)部2705,其接收用户的操作输入或者将装置的状态通知给用户。此外，在能够利用工厂设备等外部所供给的负压的情况下，控制单元2070也可以不具有负压供给部。
[0180]马达控制部2702用于驱动控制设置在载物台部2003的马达2353以及升降机构 2335、2344、2365、水平移动机构、分别设置在上部吸附部2005的各吸附单元2051?2054上的升降机构2525等的马达组。此外，在此作为各可动部的驱动源而代表性地记载了马达，但是并不限定于此，也可以根据用途利用例如气缸、电磁阀、压电元件等各种促动器来作为驱动源。
[0181]阀控制部2703用于控制阀组V3、阀组V5等，所述阀组V3设置于从负压供给部2704 连接到水平载物台部2031上所设置的吸附槽231U2312以及升降销2361上所设置的吸附垫2362的配管路径上，用于向这些吸附槽以及吸附垫分别单独地供给规定的负压，所述阀组 V5设置于从负压供给部2704连接到各吸附单元2051?2054的吸附垫2517等的配管路径上， 用于向各吸附垫2517等供给规定的负压。
[0182]而且，控制单元2070控制载物台部2003上所设置的拍摄部2037来执行所需的拍摄动作，并且接收拍摄部2037所获取的图像数据来进行图像处理。拍摄部2037隔着设置在锥形载物台部2032上的拍摄窗2323对橡皮布BL的下表面进行拍摄。控制单元2070基于所拍摄的图像，控制下面说明的剥离动作。
[0183]接着，一边参照图15至图18D，一边对于如上面那样构成的剥离装置2001的剥离动作进行说明。图15是示出剥离处理的流程图。另外，图16A、图16B、图17A至图17C、图18A至图 18D是示出处理各阶段中的各部的位置关系的图，示意性地示出处理的进行状况。CPU2701 执行预先存储的处理程序来控制各部，从而进行该剥离处理。
[0184]首先，通过操作者或者外部的搬运机械手等将工件WK装载于载物台2030上的上述位置(步骤S201)。则，对装置进行初始化来将装置各部设定为规定的初始状态(步骤S202)。 在初始状态下，工件WK被吸附槽231U2312中的一种吸附槽或两种吸附槽吸附保持，初始剥离单元2033的按压构件2331、辊单元2034的剥离辊2340、第一吸附单元至第四吸附单元 2051?2054的吸附垫2517等均与工件WK分离。另外，剥离辊2340位于在其可移动范围内最靠-Y侧的位置。
[0185]在该状态下，使第一吸附单元2051以及剥离辊2340下降来分别抵接于工件WK的上表面(步骤S203)。此时，如图16A所示，第一吸附单元2051的吸附垫2517吸附基板SB的-Y侧端部的上表面，剥离辊2340在第一吸附单元2051的+Y侧相邻位置抵接于基板SB的上表面。 此外，在图16A中标注于按压构件2331的附近的朝下箭头，表示在下一工序中按压构件2331 从图中所示的状态向该箭头方向移动。在下面的图中也同样。
[0186]图13所示的区域R23表示这时通过第一吸附单元2051吸附基板SB的区域，区域R24 表示剥离辊2340与基板SB相抵接而形成的抵接夹持区域。如图13所示，第一吸附单元2051 吸附保持基板SB的-Y侧端部，另一方面，在与通过第一吸附单元2051吸附的吸附区域R23的 +Y侧相邻的区域R24,剥离辊2340与基板SB相抵接。剥离辊2340所抵接的抵接夹持区域R24 为如下的位置，即，即是有效区域AR的外侧即比有效区域AR更靠-Y侧的位置，也是比载物台 2030的棱线部E2更靠+Y侧的水平面上的位置。因此，有效区域AR的内部不被第一吸附单元 2051吸附，也不被剥离辊2340按压。
[0187]接着，通过拍摄部2037开始进行拍摄(步骤S204)。然后，拍摄部2037将随时拍摄的图像实时发送至控制单元2070,但是拍摄部2037本身也可以在这之前开始进行动作。图13 所示的区域R27表示锥形载物台部2032的水平面2321中的设置有拍摄窗2323的区域。如图 13所示，设置有拍摄窗2323的区域R27和由剥离辊2340形成的抵接夹持区域R24的局部相互重合。换而言之，通过这样配置，预先设定拍摄窗2323的位置和剥离辊2340的初始位置。
[0188]如图16A所示，在拍摄窗2323的正下方位置设置有拍摄部2037,拍摄部2037隔着拍摄窗2323拍摄上方。如上述那样，拍摄窗2323与剥尚混2340和基板SB抵接的抵接夹持区域的局部相面对。如图16B所示，在拍摄部2037拍摄橡皮布BL下表面时的拍摄视场FV，包括抵接夹持区域R24的至少一部分，优选包括抵接夹持区域R24的-Y侧的端部P24。
[0189]返回图15,接着使初始剥离单元2033进行动作，使按压构件2331下降来按压橡皮布BL端部(步骤S205)。橡皮布BL的端部突出到锥形载物台部2032的锥面2322的上方，在橡皮布BL的下表面和锥面2322之间存在间隙。因此，如图17A所示，按压构件2331向下方按压橡皮布BL的端部，从而使橡皮布BL的端部沿着锥面2322向下方弯曲。结果，被第一吸附单元 2051吸附保持的基板SB的-Y侧端部PS和橡皮布BL之间分离，从而开始进行剥离。按压构件 2331形成为沿着X方向延伸的棒状，而且按压构件2331的X方向长度大于橡皮布BL的长度。 因此，如图13所示，按压构件2331与橡皮布BL相抵接的抵接区域R25，以直线状从橡皮布BL 的-X侧端部延伸至+X侧端部。这样，能够使橡皮布BL弯曲成柱面状，能够使基板SB和橡皮布 B L已经剥离的剥离区域与尚未剥离的未剥离区域之间的边界线即剥离边界线形成为直线状。
[0190]在这样从基板端部PS开始剥离的状态下，开始使第一吸附单元2051上升(步骤 S206)。由此，如图17B所示，被第一吸附单元2051吸附保持的基板SB的端部PS与橡皮布BUS 一步分离，伴随于此，剥离边界线向+Y方向移动来进行剥离。即，本实施方式中的剥离进行方向为+Y方向。
[0191]图17C是示意性地示出这期间的剥离边界线的移动和拍摄部2037所拍摄的图像之间的关系的图。在图17A所示的时刻T1，即通过按压构件2331按压来使基板SB和橡皮布BL刚刚开始剥离之后的时刻，如图17C所示那样，剥离边界线DL1位于载物台2030的棱线部￡2的_ Y侧，不一定进入拍摄视场FV。
[0192]剥离边界线的-Y侧，即剥离进行方向的上游侧，为紧贴于橡皮布BL的上表面的基板SB已经分离的剥离区域，在两者之间产生间隙，并流入周围环境气体。另一方面，剥离边界线的+Y侧，即剥离进行方向的下游侧，为基板SB还紧贴于橡皮布BL的上表面的未剥离区域。在隔着橡皮布BL进行的拍摄中，由于基板SB和周围环境气体间的色调以及折射率的差异，在剥离区域和未剥离区域之间存在大的灰度差，因此能够容易光学检测剥离边界线。
[0193]为了达到该目的，优选橡皮布BL为具有使入射光的至少一部分透过的光透过性的材料。在控制单元2070中，例如通过检测图像中灰度变化大的边缘，能够检测出剥离边界线的位置。此外，关于抵接夹持区域R24,只要能够知道抵接夹持区域R24的位置和拍摄视场FV 之间的位置关系即可，不必一定从图像中检测。
[0194]然后，在图17B所示的时刻T2,即开始提起基板端部PS而使剥离边界线向+Y侧移动的时刻，剥离边界线DL2进入拍摄视场FV内。这表示剥离进行至拍摄窗2323的正上方位置。 然后，进一步提起基板SB来使剥离边界线移动，最终剥离边界线移动至通过剥离辊2340抵接的抵接夹持区域R24。
[0195]若在该时刻使剥离辊2340开始向+Y方向移动，则之后剥离边界线一边被剥离辊 2340限制移动，一边进一步向+Y方向移动。即，一边通过剥离辊2340的移动对剥离进行管理一边进行剥离。
[0196]此时，剥离边界线进入抵接夹持区域R24,而不会进一步超过该抵接夹持区域R24 来向+Y侧移动。因此，若在从剥离边界线到达抵接夹持区域R24起到剥离辊2340开始移动为止的期间内存在时间延迟，则在这期间停止进行剥离，而在剥离辊2340开始移动的同时重新开始剥离，因此产生剥离速度的变动。这成为使图案等损伤的原因。另外，强制性地提起被剥离辊2340按压的基板SB，可能使基板SB脱离被第一吸附单元2051吸附的状态。另一方面，若在剥离边界线到达抵接夹持区域R24之前使剥离辊2340开始移动，则剥离辊2340无法发挥管理剥离的进行的功能，由于进行不规则的剥离而仍然对图案等带来损伤。因此，希望在剥离边界线到达抵接夹持区域R24时剥离辊2340无迟滞地开始移动。
[0197]在本实施方式中，根据拍摄部2037所拍摄的图像实时检测剥离边界线的移动状况，基于该检测结果来控制剥离辊2340的移动，从而能够应对上述要求。具体地说，对于在拍摄部2037的拍摄视场FV内移动的剥离边界线，预先设定用于决定剥离辊2340的移动开始时刻的基准位置即判定线几，在检测到剥离边界线到达该判定线JL时，使剥离辊2340开始移动(步骤S207、S208)。
[0198]作为判定线几，例如能够是抵接夹持区域R24的-Y侧端部P24,即剥离进行方向上的上游侧端部的位置。这样，能够在与剥离边界线到达抵接夹持区域R24的时刻大致相同的时刻，使剥离辊2340开始移动。另一方面，想到在从剥离边界线到达判定线几起到剥离辊 2340开始移动为止的期间内存在时间延迟的情况，例如也可以将从抵接夹持区域R24的上游侧端部P24向剥离进行方向的上游侧即-Y侧位移规定量的位置设为基准位置，来在该位置设定判定线几。
[0199]作为其它方法，也可以根据所拍摄的图像检测出剥离边界线在拍摄视场FV内的移动速度，根据该检测结果预测出剥离边界线到达抵接夹持区域R24的时刻，在该时刻使剥离辊2340开始移动。这样，能够使剥离边界线到达抵接夹持区域R24的时刻和剥离辊2340开始移动的时刻间的时间差大致为零。
[0200]此外，无论在哪种情况下，初始状态下的抵接夹持区域R24都设定在有效区域AR 的-Y侧，即向剥离进行方向上的上游侧的位置(图13)，因此即使在剥离边界线到达抵接夹持区域R24的时刻和剥离辊2340开始移动的时刻之间存在微小的时间差，也避免因此影响波及到有效区域AR内的图案。[〇2〇1]然后，使第一吸附单元2051向上方即+Z方向以恒定速度移动，另外使剥离辊2340 向+Y方向以恒定速度移动。这样不仅通过第一吸附单元2051上升，而且也通过剥离辊2340 开始移动，由此进一步进行剥离。[〇2〇2]如图18A所示，通过使保持基板SB的端部的第一吸附单元2051上升来提起基板SB， 朝向+Y方向剥离基板SB和橡皮布BL。由于使剥离辊2340抵接，因此不会超过剥离辊2340抵接的抵接区域R24(图13)来进行剥离。使剥离辊2340—边与基板SB抵接一边以恒定速度向+ Y方向移动，从而能够将剥离的进行速度维持恒定。即，剥离边界线为沿着辊延伸设置方向 SPX方向的一条直线，而且以恒定速度向+Y方向移动。由此，能够可靠地防止因剥离的进行速度变动而使应力集中而导致的图案的损坏。[〇2〇3]然后，等待剥离辊2340经过预先设定的切换位置(步骤S209)。该切换位置为，分别与各吸附垫2052?2054对应地设定的位置，是该吸附垫正下方的基板SB上的位置。例如，与第二吸附单元2052相对应的切换位置为，第二吸附单元2052正下方的基板SB的表面位置。 当剥离辊2340经过该位置时，如图18B所示，使第二吸附单元2052下降，在通过第二吸附单元2052的吸附垫2527来捕捉基板SB之后，使第二吸附单元2052再次上升(步骤S210)。[〇2〇4] 如图18B所示，由于剥离辊2340已经经过，因此在第二吸附单元2052的正下方位置，基板SB处于从橡皮布BL剥离而向上方浮起的状态。一边向由具有伸缩性的弹性构件构成的吸附垫2527赋予负压，一边使该吸附垫2527接近基板SB，从而能够在吸附垫2527的下表面与基板SB的上表面抵接的时刻捕捉并吸附基板SB。也可以是使吸附垫2527下降至规定位置之后等待被提起的基板SB的方式。无论是哪种方式，都使吸附垫具有柔性，从而能够防止吸附失败。[〇2〇5]开始吸附基板SB之后，使第二吸附单元2052的移动转为上升。由此，如图18C所示， 剥离的进行速度依然被剥离辊2340控制，并且为了剥离来提起基板SB的主体从第一吸附单元2051变为第二吸附单元2052。另外，剥离后的基板SB从仅被第一吸附单元2051保持的状态切换为被第一吸附单元2051和第二吸附单元2052保持的状态，从而增加保持部位。此外， 在各吸附单元2051?2054上升时，维持各吸附单元2051?2054的Z方向上的相对位置，以便使剥离后的基板SB的姿势为大致平面。[〇2〇6] 对剩下的吸附单元2053、2054也执行同样的处理(步骤S209?S211)，如图18D所示，依次追加通过吸附单元保持基板SB的部位，使用于提起基板SB的主体依次切换为下游的吸附单元。当所有吸附单元结束处理(步骤S211)时，整个基板SB与橡皮布BL分离。因此， 使剥离辊2340移动至载物台2030的+Y侧停止移动(步骤S212)。并且，使各吸附单元2051? 2054都上升至相同高度之后停止(步骤S213)。另外，使初始剥离单元2033的按压构件2331 与橡皮布BL分离，移动至橡皮布BL的上表面的上方且橡皮布BL的-Y侧端部的-Y侧的退避位置(步骤S214)。然后，解除通过吸附槽对橡皮布BL进行的吸附保持，将分离的基板SB以及橡皮布BL向装置外搬出(步骤S215)，从而完成剥离处理。[〇2〇7] 使各吸附单元2051?2054的高度相同的原因如下，S卩，通过将剥离后的基板SB和橡皮布BL保持平行，使由外部机械手或者操作者插入的取出用手部的访问和将橡皮布BL以及基板SB交至该取出用手部的动作变得容易。
[0208]如上所述，在本实施方式中，使沿着与剥离的进行方向(在此为Y方向)相垂直的X 方向延伸设置的剥离辊2340与基板SB抵接，一边使剥离辊2340以恒定速度向剥离的进行方向移动一边提起基板SB。这样，将剥离的进行速度保持恒定，从而能够良好地使基板SB和橡皮布BL剥离。即，能够通过剥离辊2340控制形成在基板SB和橡皮布BL已经剥离的剥离区域和尚未剥离的未剥离区域之间的剥离边界线的形状以及进行速度。
[0209]尤其，在基板SB的开始被剥离的-Y侧端部PS到形成有有效图案等的有效区域AR之间，使剥离辊2340开始抵接，从而在剥离边界线到达有效区域AR之前通过剥离辊2340进行剥离管理。结果，能够防止因剥离进行速度变动而使有效区域AR内的图案等损伤。[〇21〇]在建立通过剥离辊2340进行移动管理之前的初始阶段，剥离的进行速度容易不稳定。但是，在本实施方式中，根据拍摄部2037所拍摄的图像掌握实际的剥离边界线的移动状况来决定剥离辊2340的移动开始时刻，因此能够根据实际的剥离边界线的移动来使剥离辊 2340移动。由此，在剥离辊2340起动前后，也使剥离边界线顺畅地移动，从而能够可靠地防止因剥离进行速度变动而使图案等损伤。
[0211]另外，在本实施方式中，如图13所示，通过用于在剥离的初始阶段提起基板SB的第一吸附单元2051吸附基板SB的区域R23为形成有有效图案的有效区域AR的外侧。通过局部吸附基板SB，在该部分使基板SB局部从橡皮布BL剥离，由此虽然可能产生图案发生变形或损坏等影响，但是由于吸附有效区域外，避免这样的问题。另外，在剥离边界线到达剥离辊 2340的正下方位置之前，剥离速度不稳定，但是同样使初始阶段的剥离辊2340的抵接区域 R24处于有效区域外，从而还防止因剥离速度变动使图案损坏。
[0212]另一方面，在剥离进行的过程中新吸附基板SB的第二吸附单元至第四吸附单元2052?2054,由于与基板SB的已经与橡皮布BL剥离的区域相抵接，因此不会因此时的吸附而弄伤转印至基板SB的图案。[〇213]如上面说明，在本实施方式中，作为剥离对象物的工件WK中的橡皮布BL相当于本发明的“第一板状体”，另一方面，基板SB相当于本发明的“第二板状体”。另外，基板SB的-Y 侧端部相当于本发明的“一端部”，与此相反的一侧的+Y侧端部相当于本发明的“另一端部”。并且，+Y方向相当于本发明的“剥离进行方向”。[〇214]另外，在本实施方式中，载物台2030发挥本发明的“保持单元”的功能，7K平载物台部2031的上表面2310以及锥形载物台部2032的上表面2320作为一体来发挥本发明的“保持面”的功能。尤其，水平载物台部2031的上表面2310和锥形载物台部2032的水平面2321作为一体来发挥本发明的“平面部”的功能，锥形载物台部2032的锥面2322发挥本发明的“锥面部”的功能。
[0215]另外，在本实施方式中，第一吸附单元2051发挥本发明的“剥离单元”的功能。另夕卜，剥离辊2340发挥本发明的“抵接单元”的功能，图13以及图16A所示的开始移动之前的剥离辊2340抵接的抵接夹持区域R24的位置相当于本发明的“抵接开始位置”。另外，在上述实施方式中，拍摄部2037发水本发明的“拍摄单元”的功能，控制单元2070发挥本发明的“移动控制单元”的功能。另外，按压构件2331发挥本发明的“按压构件”的功能。
[0216]〈第二实施方式的变形例〉
[0217]此外，本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内，能够进行除了上述内容之外的各种变更。例如在上述实施方式中，在锥形载物台部2032的水平面2321的X 方向上的大致中央部，设置有一个拍摄窗2323,在拍摄窗2323的正下方位置设置有一个拍摄部2037。但是，如上所述，在建立通过剥离辊2340进行移动管理之前，剥离边界线的移动不规则，有时随着位置不同而剥离边界线的移动也不同。从这一点来说，也可以在X方向上的多个部位拍摄剥离边界线，根据结果决定剥离辊的开始时刻。在该情况下，优选根据移动最慢的位置的剥离边界线来使剥离辊开始移动。这样，至少能够避免在剥离边界线到达抵接夹持区域之前辊开始移动的情况。
[0218]在一般的矩形基板中，大多容易从剥离力集中作用的角部开始剥离，边的中央剥离慢。从这一点来说，在将拍摄位置设在一个部位的情况下，设在中央部是有效的，本实施方式相当于该情况。
[0219]另外，在上述实施方式中，通过真空吸附保持基板以及橡皮布，但是保持的方式并不限定于此。例如也可以通过静电或者磁性吸附力来吸附保持。尤其，对于用于保持基板的有效区域外的第一吸附单元2051，可以不依赖吸附，也可以通过机械性地把持基板周缘部来进行保持。[〇22〇]另外，在上述实施方式中，为了在搬入搬出工件WK时便于交接，将载物台2030构成为能够分离的结构，但是搬入搬出工件的方式并不限定于此，载物台的分离结构也不是必须的。[〇221]另外，在上述实施方式中，使橡皮布BL突出到锥形载物台部32来进行保持，通过按压构件2331使橡皮布BL弯曲来引发剥离。但是，即使不是这样的结构，例如仅通过第一吸附单元提起来使剥离开始的结构中，也能够优选利用本发明。在该情况下，不必在载物台上设置锥形。
[0222]如上所述，在本发明的剥离装置的第二方式中，抵接单元例如也可以在剥离进行方向上的有效区域的上游侧的抵接开始位置，与第一板状体相抵接。在这样的结构中，在边界线到达有效区域之前，建立通过抵接单元进行的移动管理，因此不会对有效区域内的图案等带来损伤。
[0223]另外，例如也可以将与抵接夹持区域的剥离进行方向上的上游侧端部相对应的位置预先设定为基准位置，当检测到边界线到达基准位置时，使抵接单元开始移动。在这样的结构中，能够在边界线到达基准位置时，无迟滞地使抵接单元开始移动。
[0224]另外，基准位置例如也可以是从与抵接夹持区域的剥离进行方向上的上游侧端部相对应的位置向剥离进行方向上的上游侧移动规定距离的位置。在这样的结构中，例如防止在抵接单元开始移动以及达到匀速之前需要时间的情况下抵接单元使边界线停止移动的情况。
[0225]另外，例如也可以根据边界线的位置检测结果，预测边界线到达与抵接夹持区域的剥离进行方向上的上游侧端部相对应的位置的时刻，在该预测的时刻使抵接单元开始移动。在这样的结构中，能够事先掌握抵接单元应该开始移动的时刻来控制移动，从而能够使边界线顺畅地移动。
[0226]另外，用于保持第一板状体的保持单元例如也可以具有保持面，该保持面包括:平面部，其与第一板状体的有效区域相抵接，锥面部，其与该平面部相连接，并且随着远离与平面部相连接的棱线部从将平面部延长的延长平面后退;并且使第一板状体的有效区域的剥离进行方向上的上游侧的周缘部，从平面部突出到锥面部侧来保持该第一板状体，另一方面，还具有按压构件，该按压构件按压第一板状体的周缘部来使其向与第二板状体一侧相反的一侧弯曲，从而使第一板状体与第二板状体开始剥离，在棱线部和有效区域之间设定抵接开始位置。
[0227]在这样的结构中，在剥离的初始阶段使第一板状体的周缘部弯曲，从而能够在棱线部附近形成直线状边界线，因此能够提前使边界线稳定。并且，将这样最初形成稳定的边界线的棱线部和有效区域之间的部位设为抵接开始位置，来使抵接单元抵接，从而在边界线到达有效区域之前更可靠地建立通过抵接单元进行的移动管理。
[0228]在该情况下，例如，也可以隔着在平面部中的与有效区域对应的位置的剥离进行方向上的上游侧所设置的具有光透过性的拍摄窗进行拍摄。在这样的结构中，能够隔着保持单元从与第一板状体相反的一侧拍摄剥离边界线。因此，拍摄单元的设置位置的自由度提尚。
[0229]另外，拍摄单元例如也可以拍摄第一板状体的与剥离进行方向相垂直的方向上的中央部。在剥离的初始阶段，在与剥离进行方向相垂直的方向上，剥离的进行并不一定一致。在多数情况下，剥离力集中作用于板状体的角部而从该附近开始进行最初的剥离。因此，在与剥离进行方向相垂直的方向上的端部附近观察的剥离的进行情况并不一定代表整体剥离的进行状况。通过拍摄剥离的进行容易变慢的中央部，至少避免在边界线到达之前抵接单元开始移动的情况。
[0230]另外，在这些发明中，优选使开始移动之后的抵接单元以恒定速度向剥离进行方向移动。在这样的结构中，使剥离以恒定速度进行，从而能够可靠地防止因速度变动而损伤图案等。
【主权项】
1.一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，所述第二板状体的平面尺寸 小于所述第一板状体的平面尺寸，并且所述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在所述第一 板状体上，所述剥离装置的特征在于，具有:保持载物台，其上表面为平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的 有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴 的一面相反的一侧的另一面与所述保持面抵接，来保持所述第一板状体，剥离单元，其保持所述第二板状体，来使所述第二板状体相对于被保持在所述保持载 物台上的所述第一板状体，向与所述第一板状体分离的方向移动，支撑构件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端与所述第一板状体的所述 另一面局部抵接，从而将所述第一板状体支撑在与所述保持面分离的状态，以及升降单元，其使所述支撑构件相对于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位 置之间变更，所述上部位置是指，所述支撑构件的所述上端向所述保持面的上方突出的位 置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置；所述支撑构件抵接于所述第一板状体的所述另一面中的与在所述一面侧中与所述第 二板状体紧贴的区域相对应的区域内且所述有效区域的外侧抵接。2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述保持面的平面尺寸大于所述第二 板状体的平面尺寸，并且在所述保持面中的与载置于所述保持面的所述第一板状体的所述 有效区域相对应的区域的外侧且与所述第二板状体相对应的区域的内侧设置有开口，在所 述支撑构件位于所述上部位置时，所述上端通过所述开口来向所述保持面的上方突出。3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，分别设置多个所述支撑构件以及所述 开口，所述多个支撑构件一体地相对于所述保持面进行升降。4.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于，所述保持载物台具有水平载物台部和锥形载物台部，所述水平载物台部的上表面具有 所述保持面，所述锥形载物台部的上表面与所述保持面相连接，并且所述锥形载物台部呈 朝向与所述保持面分离的方向形成下坡的锥形面，在使所述第一板状体中的所述有效区域 的外侧的周缘部向所述锥形面的上方突出的状态下，保持所述第一板状体；还具有按压构件，该按压构件将向所述锥形面的上方突出的所述第一板状体的所述周 缘部按压来使之向下方弯曲，来使所述第一板状体和所述第二板状体之间开始剥离；所述水平载物台部和所述锥形载物台部能够在水平方向上进行分离，至少一个所述支 撑构件从因分离而产生的所述水平载物台部和所述锥形载物台部之间的间隙，相对于所述 保持面进行升降。
【文档编号】B32B38/10GK105966049SQ201610261205
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2014年1月29日
【发明人】川越理史, 正司和大, 芝藤弥生, 增市干雄, 上野博之, 上野美佳, 谷口和隆
【申请人】斯克林集团公司