剥离装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及剥离装置。使升降销（361）向平面状的水平载物台部（31）的上表面突出来接受从外部搬入的工件（WK）。在由基板（SB）和橡皮布（BL）隔着图案紧贴而成的工件（WK）中的基板（SB）与橡皮布（BL）重叠且形成有有效的图案的有效区域（AR）的外侧的可抵接区域（TR）内，升降销（361）与橡皮布（BL）的下表面相抵接。通过支撑基板（SB）和橡皮布（BL）重叠的区域来抑制工件（WK）弯曲，另外，防止应力集中于有效区域（AR）内的图案的情况。
【专利说明】剥离装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的剥离装置。
【背景技术】
[0002]作为在玻璃基板或半导体基板等板状体上形成规定的图案或薄膜的技术，存在如下，即，将担载于其它板状体上的图案或薄膜(下面，称为“图案”等)转印至基板。在该技术中，在使两张板状体紧贴来将图案等从一方转印至另一方之后，需要在不损坏图案的情况下使两张板状体剥离。
[0003]作为能够利用于该目的的技术，例如在日本特开2008-287949号公报中记载了使隔着有机层相互紧贴的元件形成用基板和转印用基板剥离的装置。在该技术中，将粘接的两张基板保持为水平姿势，在将上下基板分别进行真空吸附的状态下，使上下基板向分离方向移动。上下基板分别被分散配置的多个吸附垫吸附保持。
[0004]这种转印技术逐渐应用于各种器件制造工序中，但是随着用于形成图案等的材料变得多样、图案变得微细、基板变大等，需要在剥离工序中进行更细致的管理。即，为了防止因局部应力集中而导致图案等损坏，需要恰当地管理剥离的进行情况。但是，为了按照这样的要求，在上述现有技术中存在应该改进的如下的问题。
[0005]第一，在上述现有技术中，由于上下基板分别被吸附垫局部吸附，因此存在如下那样的不能在恰当的管理下进行剥离的情况，即，在该吸附部位中产生局部的基板之间的剥离等。尤其，在形成有图案等的区域使吸附垫与基板抵接时，可能在该区域集中大的剥离力而使图案等损坏。
[0006]第二，在这种剥离装置中，将由两张板状体紧贴而成的紧贴体搬入于装置并使它们相互剥离。此时，如上所述，因应力局部集中于图案等而导致图案等损坏，因此需要考虑用于不产生这样的应力来从外部接受紧贴体的装置结构。但是，在上述现有技术中，没有考虑到这一点。
【发明内容】
[0007]本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种技术，在使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的剥离装置中，能够良好地进行剥离，并且能够良好地搬入由板状体紧贴而成的紧贴体。
[0008]在本发明的一个方式中，为了达到上述目的，提供一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，上述第二板状体的平面尺寸小于第一板状体的平面尺寸，并且上述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在第一板状体上，上述剥离装置具有:保持载物台，其上表面为平面尺寸大于第一板状体的形成有薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使第一板状体的面中的与第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与保持面抵接，来保持第一板状体，剥离单元，其保持第二板状体，来使第二板状体相对于被保持在保持载物台上的第一板状体，向与第一板状体分离的方向移动，支撑构件，其上端向保持面的上方突出，并且上端与第一板状体的另一面局部抵接，从而将第一板状体支撑在与保持面分离的状态，升降单元，其使支撑构件相对于保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，上述上部位置的指，支撑构件的上端向保持面的上方突出的位置，上述下部位置是指，上端位于保持面的高度以下的位置；支撑构件抵接于第一板状体的另一面中的与在一面侧中与第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且有效区域的外侧。
[0009]在这样构成的发明中，由于在使第一板状体与保持载物台的保持面抵接的状态下使第一板状体与第二板状体剥离，因此能够在将第一板状体保持为平面姿势的状态下进行剥离。因此，能够避免应力局部集中于形成在第一板状体和第二板状体之间的图案或者薄膜(下面，称为“图案等”)，从而能够防止因应力集中而使图案等损坏。
[0010]另外，在搬入第一板状体和第二板状体的紧贴体时，支撑构件发挥主要的作用。即，在从保持面向上方突出的上部位置，支撑构件能够以使第一板状体与保持面分离的状态支撑第一板状体，因此能够接受从外部搬入的紧贴体。并且，通过使支撑构件后退至保持面的下方的下部位置，将紧贴体从支撑构件交至保持载物台。这样，支撑构件发挥接受从外部搬入的紧贴体来载置于保持载物台的功能。
[0011]此时，若支撑构件在相当于有效区域内的区域与第一板状体相抵接，则在该抵接部位有大的按压力作用于图案等。另外，若在第一板状体和第二板状体紧贴的区域的外侧与第一板状体相抵接，则需要用第一板状体支撑整个紧贴体的自重，若第一板状体的刚性低则可能发生弯曲。在本发明中，支撑构件在第一板状体和第二板状体紧贴且形成有有效的图案等的有效区域的外侧支撑第一板状体，因此不会产生这样的问题。
[0012]这样，根据本发明，能够使相互紧贴的两张板状体良好地进行剥离，并且也能够在不损坏图案等的情况下良好地接受从外部搬入的紧贴体。
[0013]在本发明中，例如也可以为如下结构，S卩，保持面的平面尺寸大于第二板状体的平面尺寸，并且在保持面中的与载置于保持面的第一板状体的有效区域相对应的区域的外侧且与第二板状体相对应的区域的内侧设置有开口，在支撑构件位于上部位置时，上端通过开口来向保持面的上方突出。
[0014]在这样的结构中，能够使第一板状体中的一面侧中与第二板状体紧贴的区域整体与保持面相抵接来保持第一板状体，从而能够更有效地防止在使第二板状体剥离时对第一板状体施加局部的应力。另外，通过经过开口来进行升降的支撑构件，能够在有效区域的外侧可靠地支撑并接受紧贴体，并且能够将紧贴体可靠地载置于保持面上。
[0015]此时，例如也可以分别设置多个支撑构件以及开口，多个支撑构件一体地相对于保持面进行升降。这样，例如能够使紧贴体一边保持与保持面平行的状态一边进行升降，因此能够稳定地接受来自外部的紧贴体以及稳定地将紧贴体载置于保持面上。
[0016]另外，例如也可以在保持面中的与有效区域相对应的区域内设置与设置有支撑构件的开口不同的第二开口，并且具有从该第二开口向保持面的上方突出来支撑第一板状体的辅助支撑构件。若使构件抵接于与第二板状体剥离之前的第一板状体的有效区域内，则如上所述会成为图案等损坏的原因，因此并不优选。但是，根据图案等种类不同，也存在克服这样的应力的耐性高的，在这样的情况下，辅助性地支撑有效区域内，在可靠保持紧贴体这一点上是有效的。
[0017]另外，与第二板状体剥离之后的单独的第一板状体，与紧贴体相比刚性降低，有时仅在有效区域外保持的话则因自重而使弯曲变大。在这样的情况下，在有效区域内辅助性地支撑第一板状体是有效的，而且由于是剥离之后，因此不会对图案等带来不良影响。
[0018]另外，例如还可以具有空隙形成构件，该空隙形成构件使被保持在载物台上的第一板状体的周缘部向上方发生位移，从而在第一板状体的周缘部和保持面之间产生空隙。在从保持载物台搬出第一板状体的情况下，能够利用支持构件来从保持面抬起第一板状体。但是，由于第一板状体处于被大气压按压于保持面的状态，因此有时仅仅通过支撑构件推上去是无法抬起第一板状体的。通过空隙形成构件使第一板状体的周缘部向上方发生位移，在第一板状体和保持面之间导入外部气体，从而能够解除大气压的按压来容易地使第一板状体与保持面分离。即，这是用于能够容易地搬出剥离之后的第一板状体的结构。
[0019]另外，例如也可以为如下结构，S卩，保持载物台具有水平载物台部和锥形载物台部，上述水平载物台部的上表面具有保持面，上述锥形载物台部的上表面与保持面相连接，并且上述锥形载物台部呈朝向与保持面分离的方向形成下坡的锥形面，在使第一板状体中的所述有效区域的外侧的周缘部向锥形面的上方突出的状态下，保持第一板状体；还具有按压构件，该按压构件将向锥形面的上方突出的第一板状体的周缘部按压来使之向下方弯曲，来使第一板状体和第二板状体之间开始剥离；水平载物台部和锥形载物台部能够在水平方向上进行分离，至少一个支撑构件从因分离而产生的水平载物台部和锥形载物台部之间的间隙，相对于保持面进行升降。
[0020]在保持载物台的一部分设置这样的锥形面，使向该锥形面突出的第一板状体沿着锥形面弯曲，从而能够在恰当的管理下开始进行剥离。由此，能够良好地进行剥离。在该情况下，若在保持面和锥形面之间的边界附近设置用于插入支撑构件的开口，则第一板状体和第二板状体紧贴的未剥离区域和已经进行了剥离的剥离区域之间的边界线即剥离边界线的形状变乱，从而无法以恒定速度进行剥离。通过使水平载物台部和锥形载物台部能够分离，在通过支撑构件支撑第一板状体(或者紧贴体)时，两个载物台部分离而使支撑构件从它们的间隙中突出，在剥离时，使支撑构件退避来使水平载物台部和锥形载物台紧贴在一起，从而能够避免这样的问题来良好地进行剥离。
[0021]在本发明中，在第一板状体和第二板状体紧贴且形成有有效的图案等的有效区域的外侧，支撑构件支撑第一板状体，而且在使第一板状体与保持载物台的保持面抵接的状态下进行剥离。因此，能够使相互紧贴的两张板状体良好地进行剥离，并且还能够在不损坏图案等的情况下良好地接受从外部搬入的紧贴体。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是示出本发明的剥离装置的一个实施方式的立体图。
[0023]图2是示出该剥离装置的主要结构的立体图。
[0024]图3是示出初始剥离单元的结构以及各部的位置关系的侧视图。
[0025]图4A、图4B是示出载物台的更详细的结构的立体图。
[0026]图5是示出图6A至图8B的载物台剖视图中的截面的方向的载物台仰视图。
[0027]图6A、图6B是示出主升降机的配置的载物台剖视图。
[0028]图7A、图7B、图7C是示出子升降机的配置的载物台剖视图。
[0029]图8A、图SB是示出边缘升降机的配置的载物台剖视图。
[0030]图9是示出载物台和载置于载物台的工件之间的位置关系的图。
[0031]图10是示出该剥离装置的电结构的框图。
[0032]图11是示出剥离处理的流程图。
[0033]图12A、图12B、图12C、图12D是示出处理中的各阶段的各部的位置关系的第一图。
[0034]图13A、图13B、图13C、图13D是示出处理中的各阶段的各部的位置关系的第二图。
[0035]图14A、图14B、图14C、图14D是示出处理中的各阶段的各部的位置关系的第三图。
[0036]图15A、图15B、图15C、图1?是示出处理中的各阶段的各部的位置关系的第四图。
[0037]图16A、图16B是用于说明本实施方式的剥离处理的优点的图。
【具体实施方式】
[0038]图1是示出本发明的剥离装置的一个实施方式的立体图。为了使下面的各图中的方向统一，如图1的右下方所不，设定XYZ正交坐标轴。在此,XY平面表不水平面,Z轴表不铅垂轴。更详细地，+Z方向表示铅垂朝上方向。
[0039]该剥离装置I是用于使以主表面彼此紧贴的状态被搬入的两张板状体剥离的装置。例如用于在玻璃基板或半导体基板等基板的表面上形成规定的图案的图案形成工序的一部分中。更具体地说，在该图案形成工序中，在用于暂时担载待转印图案的作为担载体的橡皮布表面上均匀地涂敷图案形成材料(涂敷工序)，将按照图案形状进行了表面加工的版推到橡皮布上的涂敷层上来印刻涂敷层(印刻工序)。然后，通过将这样形成有图案的橡皮布紧贴在作为被转印体的基板上(转印工序)，最终将图案从橡皮布转印至基板。
[0040]此时，为了使在印刻工序中紧贴的版和橡皮布之间或者在转印工序中紧贴的基板和橡皮布之间相分离，能够优选利用本装置。当然，可以利用于这两个工序中，也可以利用于除了这些工序之外的其它用途中。例如，也能够适用于在将担载体所担载的薄膜转印至基板时的剥离工序中。
[0041]该剥离装置I具有在安装在框体上的主机架11的上方分别固定有载物台部3以及上部吸附部5的结构。图1中为了表示装置的内部结构而省略图示了框体。另外，除了这些各部之外，该剥离装置I还具有后述的控制单元70 (图10)。
[0042]载物台部3具有载物台30，该载物台30用于载置版或由基板与橡皮布紧贴而成的紧贴体(下面，称为“工件”)。载物台30具有:水平载物台部31，其上表面为大致水平的平面；锥形载物台部32，其上表面为相对于水平面具有几度(例如2度左右)倾斜度的平面。在载物台30的锥形载物台部32侧即-Y侧的端部附近设置有初始剥离单元33。另外，以跨越水平载物台部31的方式设置有辊单元34。
[0043]另一方面，上部吸附部5具有:支撑机架50，其以从主机架11立设并且覆盖载物台部3的上部的方式设置；第一吸附单元51、第二吸附单元52、第三吸附单元53、第四吸附单元54，安装在支撑机架50上。这些吸附单元51?54依次沿着+Y方向排列。
[0044]图2是示出该剥离装置的主要结构的立体图。更具体地说，图2示出剥离装置I的各结构中的载物台30、辊单元34以及第二吸附单元52的结构。载物台30具有:水平载物台部31，其上表面310为大致水平面；锥形载物台部32，其上表面320为锥形面。水平载物台部31的上表面310的平面尺寸稍大于所载置的工件的平面尺寸。
[0045]锥形载物台部32紧贴设置于水平载物台部31的-Y侧端部。锥形载物台部32的上表面320在与水平载物台部31相接触的部分位于与水平载物台部31的上表面310相同的高度(Z方向位置)上，另一方面，随着从水平载物台部31向-Y方向分离而向下方即-Z方向后退。因此，在整个载物台30中，水平载物台部31的上表面310的水平面和锥形载物台部32的上表面320的锥形面连续，它们连接的棱线部E呈沿着X方向延伸的直线状。
[0046]另外，在水平载物台部31的上表面310上设置有格子状的槽。更具体地说，在水平载物台部31的上表面310的中央部设置有格子状的槽311。在水平载物台部31的上表面310周缘部，以包围形成有该槽311的区域的方式设置有相当于除去矩形中的锥形载物台部32侧的一边而得到的3边形状的槽312。这些槽311、312经由控制阀与后述的负压供给部704 (图10)相连接，通过供给负压，这些槽311、312发挥用于吸附保持载置于载物台30的工件的吸附槽的功能。两种槽311、312在载物台上不连接，另外，经由相互独立的控制阀与负压供给部704相连接，因此除了使用两种槽来进行吸附之外，还可以仅使用一种槽来进行吸附。
[0047]以跨越这样构成的载物台30的方式设置有辊单元34。具体地说，在水平载物台部31的X方向上的两端部，沿着Y方向延伸设置有一对引导轨351、352，这些引导轨351、352固定在主机架11上。并且，在引导轨351、352上以能够自由滑动的方式安装有辊单元34。
[0048]辊单元34具有滑块341、342，滑块341、342分别以能够自由滑动的方式与引导轨351、352相卡合，并且以连接这些滑块341、342的方式设置有下部角钢343，下部角钢343跨越载物台30的上部并沿着X方向延伸。在下部角钢343上隔着适当的升降机构344安装有上部角钢345，并且上部角钢345能够自由升降。并且，在上部角钢345上安装有沿着X方向延伸设置的圆柱状的剥离辊340，并且剥离辊340能够自由旋转。
[0049]当通过升降机构344使上部角钢345向更下方即_Z方向下降时，载置于载物台30的工件的上表面与剥离辊340的下表面相抵接。另一方面，在通过升降机构344使上部角钢345定位于更上方即+Z方向的位置的状态下，剥离辊340处于从工件的上表面向上方分离的状态。在上部角钢345上安装有用于抑制剥离辊340弯曲的支撑辊346，该支撑辊346能够自由旋转，并且适当设置有用于防止上部角钢345本身弯曲的加强筋。剥离辊340以及支撑辊346不具有驱动源，它们进行自由旋转。
[0050]辊单元34能够借助安装在主机架11上的马达353沿着Y方向移动。更具体地说，在用于将马达353的旋转运动转换为直线运动的作为转换机构的例如滚珠螺杆机构354上连接有下部角钢343。当马达353旋转时，下部角钢343沿着引导轨351、352沿着Y方向移动，由此辊单元34沿着Y方向移动。就伴随着辊单元34的移动而移动的剥离辊340的可动范围而言，在-Y方向上是直到水平载物台部31的-Y侧端部的附近，在+Y方向是直到水平载物台部31的+Y侧端部的外侧，即进一步向+Y侧前进的位置。
[0051]接着，对第二吸附单元52的结构进行说明。此外，第一吸附单元51至第四吸附单元54均具有相同结构。在此，代表性地对于第二吸附单元52的结构进行说明。第二吸附单元52具有梁构件521，该梁构件521沿着X方向延伸设置并固定在支撑机架50上，该梁构件521上安装有向铅垂朝下即-Z方向延伸的一对柱构件522、523，一对柱构件522、523的X方向上的位置互相不同。在柱构件522、523上隔着图中隐藏的引导轨安装有板构件524，并且板构件524能够自由升降。借助由马达以及转换机构(例如滚珠螺杆机构)形成的升降机构525驱动板构件524使其升降。
[0052]在板构件524的下部安装有沿着X方向延伸的棒状的垫支撑构件526，在该垫支撑构件526的下表面上沿着X方向以相等间隔排列有多个吸附垫527。图2示出使第二吸附单元52移动至实际的位置的上方的状态，但是在通过升降机构525使板构件524向下方移动时，吸附垫527能够下降至极其接近水平载物台部31的上表面310的位置。在载物台30上载置有工件的状态下，吸附垫527与该工件的上表面相抵接。各吸附垫527接收来自后述的负压供给部704的负压，从而吸附保持工件的上表面。
[0053]图3是示出初始剥离单元的结构以及各部的位置关系的侧视图。首先，一边参照图1以及图3，一边对于初始剥离单元33的结构进行说明。初始剥离单元33具有在锥形载物台部32的上方沿着X方向延伸设置的棒状的按压构件331，按压构件331被支撑臂332支撑。支撑臂332隔着沿着铅垂方向延伸设置的引导轨333以能够自由升降的方式安装在柱构件334上，借助升降机构335的动作，支撑臂332相对于柱构件334进行上下移动。柱构件334被安装在主机架11上的基座部336支撑。其中，通过位置调整机构337，能够在基座部336上的规定的范围内调整柱构件334的Y方向上的位置。
[0054]在由水平载物台部31以及锥形载物台部32构成的载物台30上载置作为剥离对象物的工件WK。上述印刻工序中的工件是版和橡皮布隔着图案形成材料的薄膜紧贴而成的紧贴体。另一方面，转印工序中的工件是基板和橡皮布隔着印刻的图案紧贴而成的紧贴体。下面，对于在将转印工序中的基板SB和橡皮布BL的紧贴体作为工件WK的情况下的剥离装置I的剥离动作进行说明。但是，在将由版和橡皮布形成的紧贴体作为工件的情况下，也能够通过同样的方法来进行剥离。
[0055]在工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。基板SB紧贴于橡皮布BL的大致中央部。工件WK以使橡皮布BL朝下且使基板SB朝上的方式载置于载物台30。此时，如图3所示，工件WK以如下方式载置于载物台30，即，工件WK中的基板SB的-Y侧端部位于水平载物台部31和锥形载物台部32之间的边界的棱线部E的大致上方，更详细地，位于与棱线部E相比稍向-Y侧偏移的位置。因此，在-Y方向上位于基板SB的外侧的橡皮布BL以向锥形载物台部32的上方突出的方式配置，在橡皮布BL的下表面和锥形载物台部32的上表面320之间产生间隙。橡皮布BL的下表面和锥形载物台部32的上表面320所形成的角Θ是与锥形载物台部32的锥角相同的几度(在该实施方式中为2度)左右。
[0056]在水平载物台部31上设置有吸附槽311、312，用于吸附保持橡皮布BL的下表面。其中，吸附槽311吸附与基板SB的下部相接触的橡皮布BL的下表面，另一方面，吸附槽312吸附基板SB的外侧的橡皮布BL的下表面。吸附槽311、312能够相互独立地进行吸附/解除吸附，能够一起使用两种吸附槽311、312来强力吸附橡皮布BL。另一方面，通过仅使用外侧的吸附槽312来进行吸附，而对于有效地形成有图案的橡皮布BL的中央部不进行吸附，能够防止因吸附而使橡皮布BL弯曲而引起的图案的损坏。这样，通过独立控制向中央部的吸附槽311和周缘部的吸附槽312供给的负压，能够根据目的来切换吸附保持橡皮布BL的方式。
[0057]在这样吸附保持于载物台30的工件WK的上方配置有第一吸附单元51至第四吸附单元54、辊单元34的剥离辊340。如上所述，在第二吸附单元52的下部沿着X方向排列设置有多个吸附垫527。更详细地，吸附垫527具有:吸附部527a，其下表面与工件WK的上表面(更具体地，基板SB的上表面)相抵接并吸附该工件WK的上表面，波纹管部527b，其在上下方向(Z方向)上具有伸缩性；而且上述吸附部527a与波纹管部527b由橡胶或硅酮树脂等具有柔性以及弹性的材料一体形成。设置于其它吸附单元51、53、54的吸附垫也具有相同结构，但是下面在设置于这些各吸附单元51、53、54的吸附垫上分别标注附图标记517,537以及547，来互相进行区别。
[0058]第一吸附单元51设置于水平载物台部31的-Y侧端部的上方，下降时吸附基板SB的-Y侧端部的上表面。另一方面，第四吸附单元54设置于载物台30所载置的基板SB的+Y侧端部的上方，下降时吸附基板SB的+Y侧端部的上表面。第二吸附单元52以及第三吸附单元53适当分散配置于第一吸附单元51与第四吸附单元54之间，例如能够使吸附垫517?547在Y方向上隔开大致相等间隔。在这些吸附单元51?54之间，能够相互独立地执行上下方向上的移动以及进行吸附/解除吸附。
[0059]剥离辊340沿着上下方向移动来接近基板SB或者与基板SB分离，并且通过沿着Y方向移动来沿着基板SB进行水平移动。在剥离辊340下降的状态下，剥离辊340与基板SB的上表面相抵接来一边进行转动一边进行水平移动。剥离辊340移动至最靠-Y侧时的位置是第一吸附单元51的吸附垫517的+Y侧附近位置。为了能够在这样的接近位置进行配置，第一吸附单元51采用与图2所示的第二吸附单元52相同结构，但是如图1所示那样，第一吸附单元51以与其它第二吸附单元52至第四吸附单元54相反的朝向安装在支撑机架50上。
[0060]以使按压构件331位于向锥形载物台部32的上方突出的橡皮布BL的上方的方式，调整初始剥离单元33的Y方向位置。并且，通过使支撑臂332下降，使按压构件331下降来使其下端按压橡皮布BL的上表面。为了此时不使按压构件331弄伤橡皮布BL，按压构件331的前端由弹性构件形成。
[0061]图4A、图4B是示出载物台的更详细的结构的立体图。如图4A所示，载物台30的水平载物台部31与锥形载物台部32能够独立形成来进行分离。通过后述的水平移动机构能够使锥形载物台部32以接近水平载物台部31或者与水平载物台部31分离的方式沿着水平方向移动，通过使锥形载物台部32紧贴水平载物台部31的侧面，使水平载物台部31和锥形载物台部32形成一体来发挥载物台30的功能。
[0062]在水平载物台部31的上表面310的多个部位，除了上述吸附槽311、312之外，还分别设置有形状相互不同的3种开口 313、314、315。更具体地，在水平载物台部31的上表面310中的吸附槽311和吸附槽312之间的平坦部分的多个部位分散配置有呈长圆形状的多个第一开口 313。另外，在水平载物台部31的上表面310的中央部的相互分离的4个部位设置有大致圆形的第二开口 314。第一开口 313以及第二开口 314均在水平载物台部31的上表面310上不与吸附槽311、312相连接。为此，第二开口 314的周围的吸附槽311被断开。另外，在外侧的吸附槽312和载物台外缘之间的多个部位分散配置有呈长圆形状的多个第三开口 315。
[0063]而且，在水平载物台部31中的与锥形载物台部32 —侧相反的一侧，即+Y侧的端部设置有多个切口部316，该多个切口部316在载物台上表面310上具有与第三开口 315相等程度的开口尺寸。外侧的吸附槽312以避开切口部316的方式设置，在水平载物台部31的上表面310上，吸附槽312与切口部316不连接。
[0064]另一方面，在设置有锥形载物台部32的一侧，即水平载物台部31的-Y侧的侧面，沿着X方向排列配置有4组主升降机36。这些主升降机36的结构相互相同。主升降机36分别具有:升降销361，其沿着水平载物台部31的侧面被加工成薄板状；升降机构365，其从下方支撑该升降销361，并且根据来自控制单元70(图10)的驱动信号来使升降销361沿着上下方向(Z方向)升降。升降机构365固定在水平载物台部31的底面上。
[0065]图4B示出升降销361的概略结构，如该图所示，升降销361的上表面361a被加工成大致平面。在升降销361的上表面361a的中央部设置有吸附垫362，吸附垫362与以贯通升降销361的内部的方式设置的负压供给路径363相连通。负压供给路径363经由控制阀与后述的负压供给部704 (图10)相连接。接着，如说明那样，具有相同结构的主升降机36还与第一开口 313分别相对应地设置。
[0066]图5是用于示出图6A至图8B的载物台剖视图中的截面的方向的载物台仰视图。另外，图6是用于示出主升降机的配置的载物台剖视图。更具体地说，图6A、图6B示出沿着图5的A-A’线剖切的剖切面。此外，在图5中，为了容易观察图，在配置吸附槽311、312的区域上标注点，来代替记载吸附槽311、312。
[0067]如图6A所示，锥形载物台部32被水平移动机构支撑，该水平移动机构具有:引导轨321，其从水平载物台部31的侧面沿着-Y方向延伸设置；滑块322，其以能够沿着Y方向自由滑动的方式与引导轨321相卡合；移动机构323，其使滑块322沿着Y方向移动。更具体地说，锥形载物台部32安装在滑块322上，借助移动机构323的动作沿着Y方向，即向接近水平载物台部31或者与水平载物台部31分离的方向进行水平移动。
[0068]锥形载物台部32的与水平载物台部31相接触的+Y侧侧面，以与主升降机36的升降销361相对应的方式被切开，从而在锥形载物台部32与水平载物台部31结合时避免锥形载物台部32与升降销361发生干涉。
[0069]在贯穿设置在水平载物台部31的上表面310上的多个第一开口 313上，分别设置有一组主升降机36。S卩，在从第一开口 313贯通至水平载物台部31的底面的贯通孔的下端安装有升降机构365，升降销361插入于各开口 313内。在图6A中未出现的其它第一开口313上也同样设置有一组主升降机36。
[0070]各主升降机36根据来自控制单元70的驱动信号进行同一动作。即，各升降销361能够分别定位于下部位置和上部位置上，其中，所述下部位置指，如图6A所示那样，升降销361的上端后退至水平载物台部31的上表面310的下方的位置，上部位置指，如图6B所示那样，升降销361的上端比水平载物台部31的上表面310向上方突出的位置。根据来自控制单元70的驱动信号，各升降销361同时在上部位置和下部位置之间进行升降。此外，如图6B所示，就将升降销361定位于上部位置的动作而言，在使锥形载物台部32与水平载物台部31分离的状态下进行，安装在水平载物台部31的-Y侧侧面上的主升降机36的升降销361，经过水平载物台部31和锥形载物台部32之间的间隙来进行升降。
[0071]图7A、图7B、图7C是用于示出沿着图5的B_B’线剖切的剖切面的载物台剖视图，是用于示出子升降机的配置的图。此外，省略图示锥形载物台部32以及水平移动机构。在设置于水平载物台部31的上表面310的中央部的4个部位的第二开口 314上分别安装有子升降机37。更详细地，子升降机37具有:升降销371，其插入于从第二开口 314贯通至水平载物台部31的底面的贯通孔内；升降机构375，其安装在载物台底面上，用于使升降销371沿着上下方向即Z方向进行升降。升降销371上端成大致圆板状，根据来自控制单元70的驱动信号，在下部位置和上部位置之间进行升降，其中，所述下部位置指，如图7A所示那样，升降销371的上端后退至水平载物台部31的上表面310的下方的位置，所述上部位置指，如图7C所示那样，升降销371的上端比水平载物台部31的上表面310向上方突出的位置。
[0072]多个主升降机36根据来自控制单元70的驱动信号同时进行相同的动作，另一方面，多个子升降机37也根据来自控制单元70的驱动信号同时进行相同的动作。其中，主升降机36和子升降机37相互独立地进行动作。因此在该实施方式中，能够在图7A所示那样的主升降机36的升降销361和子升降机37的升降销371 —起处于下部位置的状态、图7B所示那样的只有主升降机36的升降销361处于上部位置的状态、图7C所示那样的主升降机36的升降销361和子升降机37的升降销371 —起处于上部位置的状态这3个状态之间进行切换。
[0073]图8A、图8B是用于示出沿着图5的c-c’线剖切的剖切面的载物台剖视图，是用于示出边缘升降机的配置的图。此外，省略图示锥形载物台部32以及水平移动机构。边缘升降机38具有:多个摆动臂381，分别插入于从第三开口 315贯通至水平载物台部31的底面的贯通孔内，并且一端延伸至载物台上表面310;支撑机架382，其以能够自由摆动的方式支撑在摆动臂381的中央部上；驱动杆383，其与各摆动臂381的另一端相连接；移动机构384，其使驱动杆383沿着Y方向进行往复移动。
[0074]通过移动机构384的动作使驱动杆383沿着Y方向移动，由此各摆动臂381同时进行摆动，能够在图8A所示那样的各摆动臂381的上端381a从载物台上表面310稍向下方后退的状态和图8B所示那样的各摆动臂381的上端381a从载物台上表面310稍向上方突出的状态之间进行切换。在设置于水平载物台部31的+Y侧端部的切口部316上，也设置有由同样的机构形成的边缘升降机。其中，该情况下的摆动臂381沿着X方向排列。
[0075]如上所述，在水平载物台部31的上表面310上设置有吸附槽311、312、用于使各种机构升降的开口 313?315等、从载物台上表面310向下方凹陷的凹部。但是，从使工件WK抵接来将其保持为平面姿势的本来的功能的角度来说，优选载物台上表面310尽量平坦。即，优选载物台上表面310中的被格子状的吸附槽311、312包围的各矩形区域、开口 313?315的周围的平面部、吸附槽312的外侧的平面部分别具有高的平面度，并且它们均位于一个平面上。另外，优选吸附槽以及各开口的开口尺寸也尽量小。因此，在该实施方式中，利用图4B所示那样被加工成薄型的升降销361。
[0076]从确保高的平面度的角度来说，优选水平载物台部31由不具有延性的材料构成。例如能够优选利用在石板或者石英板等上设置吸附槽等开口并进行了平面研磨(或者相反顺序)的水平载物台部31。例如在不锈钢那样的金属材料中，例如即使进行了平面研磨，也不能除去开口周围的细微的凹凸，这样的凹凸可能成为损坏剥离的良好度的原因。
[0077]图9是示出载物台和载置于载物台的工件之间的位置关系的图。在由基板SB和橡皮布BL紧贴而成的工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整个面与橡皮布BL相向，但是橡皮布BL仅有其中央部分与基板SB相向，橡皮布BL的周缘部成为不与基板SB相向的空白部分。在基板SB的表面区域中的除了周缘部之外的中央部分上，设定有被有效地转印图案来发挥器件的功能的有效区域AR。因此，该剥离装置I的目的在于，在不损坏从橡皮布BL转印至基板SB的有效区域AR的图案的情况下，使基板SB和橡皮布BL剥离。
[0078]以使基板SB的整个有效区域AR位于水平载物台部31的上表面310的方式，将工件WK载置于载物台30。另一方面，基板SB的有效区域AR外侧的-Y侧端部，定位于与水平载物台部31和锥形载物台部32之间的边界的棱线部E相比稍向-Y侧突出的位置。
[0079]图中标注点的区域Rl表示由吸附槽311吸附橡皮布BL的区域。被吸附槽311吸附的区域Rl覆盖整个有效区域AR。另外，区域R2表示由吸附槽312吸附橡皮布BL的区域。吸附槽312在有效区域AR的外侧吸附橡皮布BL。因此，例如在仅由吸附槽312吸附橡皮布BL的方式中，能够避免有效区域AR内的图案受到吸附的影响。对于图9所示的其它区域R3至R8，在后面的动作说明中进行说明。
[0080]图10是示出该剥离装置的电结构的框图。装置各部被控制单元70控制。控制单元70具有:CPU701，其掌管整个装置的动作；马达控制部702，其控制设置于各部的马达类；阀控制部703，其控制设置于各部的阀类；负压供给部704，其产生用于向各部供给的负压；用户接口(UI)部705，其用于接收来自用户的操作输入或者将装置的状态通知给用户。此夕卜，在通过工厂公用设施等能够利用外部所供给的负压的情况下，控制单元70也可以不具有负压供给部。
[0081]马达控制部702控制设置于载物台部3的马达353以及升降机构335、344、365、375、移动机构323、384、分别设置于上部吸附部5的各吸附单元51?54的升降机构525等的马达组使它们驱动。此外，这里作为各可动部的驱动源而代表性地记载了马达，但是并不限定于此，例如也可以根据用途来利用气缸、电磁阀、压电元件等各种促动器作为驱动源。
[0082]阀控制部703用于控制设置于载物台部3的阀组V3以及设置于上部吸附部5的阀组V5等。阀组V3包括各种阀，各种阀设置在从负压供给部704连接到设置于水平载物台部31的吸附構311、312以及设置在升降销361上的吸附垫362的配管路径上，用于向这些吸附槽以及吸着垫分别单独供给规定的负压。阀组V5包括各种阀，各种阀设置在从负压供给部704连接到各吸附垫517?547上的配管路径上，用于向各吸附垫517?547供给规定的负压。
[0083]接着，一边参照图11至图15D，一边对于上述那样构成的剥离装置I进行的剥离动作进行说明。图11是用于示出剥离处理的流程图。另外，图12至图15是示出处理中的各阶段中的各部的位置关系的图，示意性地表示处理的进行状況。通过执行CPU701预先存储的处理程序控制各部来进行上述剥离处理。
[0084]首先，借助操作者或者外部的搬运机械手等将工件WK载置于载物台30上的上述位置(步骤S101)。图12A、图12B、图12C、图12D示意性地示出从外部搬入的工件WK载置于载物台30之前的状态。图12A示出搬入工件WK之前的载物台30的状态。此时，主升降机36的升降销361、子升降机37的升降销371以及摆动臂381的上端均位于退避至载物台上表面310的下方的位置。
[0085]在该状态下，如图12B所示，通过操作者进行操作或者通过设置在搬运机械手上的工件用手WH，将工件WK以支撑其下表面的状态搬入。然后，主升降机36的升降销361上升而其上端移动至比载物台上表面310突出的上部位置，从而与工件WK的下表面，更具体地说，与橡皮布BL的下表面相抵接。此时，如图6B所示那样，锥形载物台部32与水平载物台部31分离，升降销361从锥形载物台部32与水平载物台部31之间的间隙突出。此外，也可以在搬入工件WK之前或者与此并行地使升降销361上升。
[0086]在橡皮布BL的下表面区域中的在上表面侧基板SB和橡皮布BL重合且形成有有效的图案等的有效区域AR的外侧的可抵接区域TR内，工件用手WH以及升降销361与橡皮布BL下表面相抵接。即，通过在该可抵接区域TR内使支撑构件(升降销361以及工件用手WH)抵接于橡皮布BL下表面上，来支撑工件WK。不会使支撑构件抵接于有效区域AR内或可抵接区域TR的外侧的不与基板SB重叠的区域中。这样做的理由为如下。
[0087]在从外部搬入平板状的工件WK并载置于平坦的载物台30的过程中，需要暂时以局部支撑工件WK的状态进行交接。此时，在该支撑部位中，对担载于基板SB和橡皮布BL之间的图案等局部施加按压力。由于因这样的不均匀的按压力而集中的应力可能使图案等损坏，因此优选使支撑构件避免与形成有有效的图案等的有效区域AR相抵接。
[0088]另一方面，在可抵接区域TR的外侧支撑时，由于在支撑部位的上部不存在基板SB，因此必须通过橡皮布BL的刚性来支撑整个工件WK的重量。尤其在随着基板SB变大而使工件WK的质量变大的情况下，橡皮布BL可能因不能承受这样的负载而破损。另外，即使不破损，也因负载使橡皮布BL弯曲而可能在橡皮布BL和基板SB之间产生偶发的剥离。
[0089]在该实施方式中，将在有效区域AR的外侧基板SB和橡皮布BL紧贴的区域设为可抵接区域TR。通过使支撑构件(工件用手WH以及升降销361)抵接于该可抵接区域TR内的橡皮布BL下表面，能够提前避免上述那样的问题。通过支撑该区域TR，能够用基板SB的刚性和橡皮布BL的刚性来支撑工件WK的重量，从而还能够防止有效区域AR内的图案等损坏。
[0090]图9所示的区域R6表示升降销361的上表面361a抵接的橡皮布BL的下表面区域。如该图所示，在以包围有效区域AR的周围的方式分散配置的多个部位与橡皮布BL相抵接来支撑工件WK，从而能够可靠地支撑工件WK。另外，通过平坦地加工各升降销上表面361a，能过使在抵接部位施加于橡皮布BL的压力分散。此外，使升降销361抵接于在有效区域AR的周围断续的区域R6中，是为了能够使工件用手WH经过升降销361之间的空间来进入。
[0091]返回图12B，在这样使升降销361与橡皮布BL下表面抵接之后，使工件用手WH退避至装置外部。由此，如图12C所示那样，工件WK被交至升降销361，并且处于由升降销361的下表面抵接而被支撑的状态。此时，向设置在升降销361的上表面上的吸附垫362供给负压来吸附保持橡皮布BL下表面，从而能够防止工件WK的位置偏移或落下。在该情况下，也能够通过吸附有效区域AR的外侧来避免图案等损坏。
[0092]在该状态下，升降销361下降来移动至下部位置，并且解除通过吸附垫362进行的吸附，从而如图12D所示，升降销361与橡皮布BL下表面分离而工件WK被交至载物台30的上表面310。然后，锥形载物台部32向水平载物台部31侧移动，如图6A所示那样与水平载物台部31形成一体。
[0093]返回图11，当这样工件WK载置于载物台30时，装置各部被设定为规定的初始状态(步骤S102)。在初始状态下，工件WK被吸附槽311、312中的一方或者两方吸附保持，初始剥离单元33的按压构件331、辊单元34的剥离辊340以及第一吸附单元51至第四吸附单元54的吸附垫517?547均与工件WK分离。另外，剥离辊340位于其可动范围内的最靠-Y侧的位置。
[0094]在该状态下，使第一吸附单元51以及剥离辊340下降来使它们分别与工件WK的上表面相抵接(步骤S103)。此时，如图13A所示，第一吸附单元51的吸附垫517吸附基板SB的-Y侧端部的上表面，剥离辊340在吸附垫517的+Y侧的相邻位置与基板SB的上表面相抵接。在图13A中的按压构件331的附近标注的朝下箭头表示在接下来的工序中按压构件331从图中所示的状态向该箭头方向移动。在下面的图中也同样。
[0095]图9所示的区域R3表示此时由第一吸附单元51吸附基板SB的区域，区域R4表示剥离辊340与基板SB相抵接的区域。如图9所示，第一吸附单元51吸附保持基板SB的-Y侧端部，另一方面，剥离辊340在与由第一吸附单元51吸附的吸附区域R3的+Y侧相邻的区域R4与基板SB相抵接。剥离辊340相抵接的抵接区域R4位于有效区域AR的外侧即比有效区域AR更靠-Y侧的位置。因此，有效区域AR的内部不被第一吸附单元51吸附也不被剥离辊340按压。
[0096]返回图11，接着，使初始剥离单元33动作，使按压构件331下降来按压橡皮布BL端部(步骤S104)。橡皮布BL的端部向锥形载物台部32的上方突出，在橡皮布BL的下表面和锥形载物台32的上表面320之间产生间隙。因此，如图13B所示，通过由按压构件331将橡皮布BL的端部向下方按压,使橡皮布BL的端部沿着锥形载物台部32的锥形面向下方弯曲。结果，被第一吸附单元51吸附保持的基板SB的端部和橡皮布BL之间进行分离来开始剥离。按压构件331由沿着X方向延伸的棒状形成，而且按压构件331的X方向上的长度比橡皮布BL长。因此，如图9所示，按压构件331与橡皮布BL相抵接的抵接区域R5从橡皮布BL的(-X)侧端部呈直线状延伸至(+X)侧端部。这样，能够使橡皮布BL呈柱面状弯曲，能够使基板SB和橡皮布BL已经剥离的剥离区域和还未剥离的未剥离区域之间的边界线(下面，称为“剥离边界线”)呈直线状。
[0097]在该状态下，开始使第一吸附单元51上升，与此同步地使剥离辊340朝向+Y方向移动(步骤S105)。具体地说，在因第一吸附单元51上升而向+Y方向移动的剥离边界线到达剥离辊340的正下方的时刻，剥离辊340开始移动。由此，图9所示的抵接区域R4向+Y方向移动。然后，第一吸附单兀51向上方即+Z方向，另外剥离棍340向+Y方向分别以恒定速度移动。
[0098]如图13C所示，通过使用于保持基板SB的端部的第一吸附单元51上升，将基板SB提起，从而基板SB与橡皮布BL之间的剥离朝向+Y方向进行。此时，由于使剥离辊340抵接，因此剥离不会超过剥离辊340抵接的抵接区域R4 (图9)来进行。通过使剥离辊340 —边与基板SB相抵接一边以恒定速度向+Y方向移动，能够将剥离的进行速度维持恒定。即，剥离边界线为沿着辊延伸设置方向即X方向的一个直线，而且以恒定速度向+Y方向进行移动。由此，能够可靠地防止因剥离的进行速度变动而使应力集中而引起的图案损坏。
[0099]接着，将用于下面的处理的内部的控制参数N的值设定为2 (步骤S106)。然后，等待剥离辊340通过第N吸附位置(步骤S107)。第N吸附位置是基板SB的上表面中的第N吸附单元(N=I?4)的正下方位置，是被第N吸附单元吸附的位置。
[0100]在此，N=2，因此等待至剥离辊340通过第二吸附位置即第二吸附单元52的正下方位置。当剥离辊340通过第二吸附位置(在步骤S107为“是”)时，使第二吸附单元52开始下降，由第二吸附单元52的吸附垫527捕捉基板SB (步骤S108)。
[0101]如图13D所示，由于剥离辊340已经通过，因此在第二吸附单元52的正下方位置，基板SB处于与橡皮布BL剥离而向上方浮起的状态。一边向由具有伸缩性的弹性构件构成的吸附垫527施加负压，一边使吸附垫527接近基板SB，由此能够在吸附垫527的下表面和基板SB的上表面相抵接的时刻捕捉并吸附基板SB。也可以是在使吸附垫527下降至规定位置之后等待正被提起的基板SB的方式。无论是哪种方式，都能够通过使吸附垫具有柔性来防止吸附失败。
[0102]在开始吸附基板SB之后，使第二吸附单元52的移动转为上升(步骤S109)。由此，如图14A所示，剥离的进行速度依然被剥离辊340控制，并且为了剥离而提起基板SB的主体由第一吸附单元51变为第二吸附单元52。另外，剥离之后的基板SB从仅被第一吸附单元51保持切换为被第一吸附单元51和第二吸附单元52保持，从而增加了保持部位。此外，在各吸附单元51?54上升时，维持各吸附单元51?54之间的Z方向上的相对位置，以便剥离之后的基板SB的姿势为大致平面。
[0103]接着，在控制参数N的值上加I (步骤S111)，处理成为返回步骤S107直到参数N成为4为止的循环处理。因此，在下一循环中，在剥离辊340通过第三吸附单元53正下方的第三吸附位置的时刻，第三吸附单元53开始下降，如图14B所示，为了剥离而提起基板SB的主体由第二吸附单元52转移至第三吸附单元53。在再下一循环中，在剥离辊340通过第四吸附位置之后，第四吸附单元54下降来提起基板SB。通过变更步骤SllO中的N的上限值，还能够应对吸附单元的数量与上述不同的情况。
[0104]通过这样由第四吸附单元54提起基板SB，如图14C所示，使整个基板SB与橡皮布BL分离。因此，在使第四吸附单元54上升之后(在步骤SllO中为“是”)，使剥离辊340移动至载物台30的+Y侧并停止移动(步骤S112)。然后，如图14D所示，使各吸附单元51?54都上升至相同的高度之后停止(步骤S113)。另外，使初始剥离单元33的按压构件331与橡皮布BL分离，使按压构件331移动至橡皮布BL的上表面的上方且橡皮布BL的-Y侧端部的-Y侧的退避位置(步骤S114)。然后，解除吸附槽吸附橡皮布BL的吸附保持，将分离的基板SB以及橡皮布BL向装置外搬出(步骤S115)，从而结束剥离处理。
[0105]之所以使各吸附单元51?54的高度相同，是因为通过平行地保持剥离之后的基板SB和橡皮布BL，使外部机械手或者操作者插入的取出用手的访问、与该外部机械手或者取出用手进行的橡皮布BL以及基板SB的交接变得容易。
[0106]图15A、图15B、图15C、图示意性地示出基板SB以及橡皮布BL被剥离并被搬出的过程。在刚刚进行剥离之后，如图15A所示，基板SB处于其上表面被各吸附单元51?54吸附而保持为大致水平姿势的状态，橡皮布BL处于载置于载物台30的状态。
[0107]能够由工件用手WH搬出基板SB。即，如图15B所示，使工件用手WH再次进入基板SB和橡皮布BL之间，并与基板SB的下表面端部相抵接，解除通过吸附单元51等进行的吸附，由此基板SB从吸附单元51等被交至工件用手WH。此时，工件用手WH也在有效区域AR的外侧与基板SB相抵接，因此不会产生转印的图案等损坏。
[0108]接着，对搬出橡皮布BL的动作进行说明。橡皮布BL处于其下表面的大部分与载物台30相抵接的状态。在该状态下，使边缘升降机38进行动作，如图15C所示，通过摆动臂381使橡皮布BL的端部稍向上方发生位移。图9所示的区域R7表示此时边缘升降机38的摆动臂381的上端抵接的橡皮布BL的下表面区域。这样，摆动臂381在载物台30上的接近橡皮布BL的周缘部的区域与橡皮布BL下表面相抵接。
[0109]因此，橡皮布BL的周缘部以向上方翘曲的方式发生位移，从而在橡皮布BL下表面和载物台上表面310之间产生小的间隙。由于橡皮布BL弯曲以及橡皮布BL的中央部被大气压按压，因此不会存在整个橡皮布BL被抬起的情况。该动作的目的是，在橡皮布BL下表面和载物台上表面310之间形成间隙来导入外部气体，从而使两者的紧贴度降低来使下一抬起动作变得顺畅。
[0110]接着，使主升降机36以及子升降机37进行动作，使升降销361、371上升。如图15D所示，由此橡皮布BL被抬起而与载物台上表面310分离。此时若橡皮布BL与载物台上表面310紧贴在一起，则为了克服大气压来使橡皮布BL与载物台上表面310分离而需要大的力。因此在与升降销抵接的抵接部位上，橡皮布BL的弯曲可能局部性地变大。通过预先在橡皮布BL和载物台上表面310之间形成间隙，能够用更小的力抬起整个橡皮布BL，还能够减轻橡皮布BL的弯曲。
[0111]通过将升降销361、371的上端部定位于大致相同的高度，能够将橡皮布BL保持为与载物台上表面310分离的水平姿势。此时，并用主升降机36的升降销361和子升降机37的升降销371来支撑橡皮布BL，其理由如下。
[0112]剥离之后的橡皮布BL，由于解除了与基板SB之间的紧贴，因此与橡皮布BL和基板SB紧贴来作为工件WK的状态相比，剥离之后的橡皮布BL的中央部容易弯曲。因此，若通过升降销361仅在可抵接区域TR进行支撑，则有时橡皮布BL的中央部弯曲而无法从载物台30抬起。为了使橡皮布BL可靠地与载物台30分离且维持水平姿势来使搬出变得容易，通过子升降机37的升降销371支撑橡皮布BL的中央部是有效的。图9中的区域R8表示此时升降销371抵接的橡皮布BL的下表面区域。该区域R8处于有效区域AR内，但是在该时刻，有效区域AR内的图案等已经被转印至基板SB，与有效区域AR的下表面相抵接来支撑橡皮布BL是没有任何问题的。
[0113]此外，在从版向橡皮布BL印刻的印刻工序中，在与版剥离的橡皮布BL上担载有要向基板转印的图案等。即使在该情况下，由于除去了隔着图案等紧贴在橡皮布BL上的版，因此不会存在因升降销371与橡皮布BL下表面相抵接而有按压力作用于图案等的情况。反而，从抑制对图案等的损坏的角度来说，使橡皮布BL的弯曲变小是有效的，为此优选在尽量多的部位支撑橡皮布BL。
[0114]在这样抬起橡皮布BL的状态下，使橡皮布用手BH进入橡皮布BL的下表面和载物台上表面310之间的间隙中，从而从升降销361、371接受橡皮布BL来搬出。橡皮布用手BH也可以兼用作工件用手WH，但是根据与并用通过子升降机371进行的支撑相同的理由，优选为在与搬入工件时相比更多的部位支撑橡皮布BL来搬出的结构。
[0115]如上所述，在该实施方式中，使沿着与剥离的进行方向(在此为Y方向)相垂直的X方向延伸设置的剥离辊340与基板SB相抵接，一边使剥离辊340以恒定速度向剥离的进行方向移动，一边提起基板SB，从而能够将剥离的进行速度保持恒定来良好地使基板SB和橡皮布BL之间剥离。此时，在本实施方式的剥离处理中，能够得到下面那样的优点。
[0116]图16A、图16B是用于说明本实施方式的剥离处理的优点的图。在本实施方式中，使用于提起基板SB的主体依次转移至位于剥离进行方向上的下游侧的吸附单元。因此，从剥离的初始阶段到最终阶段为止，剥离辊340的正下方的基板SB的曲率在规定的范围内推移。因此，如图16A所示，已经剥离的部分的基板SB和橡皮布BL所形成的角α也处于规定范围内。因此，在剥离的部分和未剥离的部分之间的边界，即剥离辊340正下方的剥离边界线上，基板SB和橡皮布BL分离的力(剥离力)也大概恒定。因此，能够在不损坏图案的情况下良好地进行剥离。
[0117]相对于此，当考虑仅保持基板SB的一端部来提起基板SB的比较例时，如图16B所示，虽然根据基板SB的刚性和质量不同而情况也不同，但是随着进行剥离由自重引起的基板SB的弯曲量变大，基板SB的提起因弯曲而被吸收，从而剥离的进行变慢。即，剥离边界线附近的基板SB和橡皮布BL所形成的角β逐渐地变小，在两者之间产生的剥离力变小，从而使剥离的进行变慢。
[0118]在更坏的情况下，产生如下问题等，S卩，吸附单元的吸附力不能完全支撑基板SB的质量，而致使基板SB落下，或者基板SB不能承受弯曲而裂开或折弯。另外，为了使整个基板SB与橡皮布BL分离而所需的提起基板SB的提起量变大，为了实现这些而导致装置结构变大。尤其，若基板SB变大，则基板SB的质量也变大，因此这些问题更显著。
[0119]另一方面，在该实施方式中，能够通过随着进行剥离而依次增加基板SB的保持部位来可靠地保持基板SB，并且能够容易地维持剥离之后的基板SB的姿势。并且，如上所述，剥离时能够赋予稳定的剥离力，因此还能够防止图案损坏。另外，通过按照基板SB的尺寸来配置吸附单元，还能够灵活地应对基板SB变大。
[0120]另外，在该实施方式中，如图9所示，在剥离的初始阶段承担基板SB的提起的第一吸附单元51吸附基板SB的区域R3位于形成有有效的图案的有效区域AR的外侧。通过局部吸附基板SB，在该部分使基板SB局部地与橡皮布BL剥离，由此可能产生图案发生变形或者损坏等的影响，但是通过吸附有效区域外，能够避免这样的问题。另外，在剥离边界线到达剥离辊340的正下方位置之前，剥离速度不稳定，但是同样地，通过使初始阶段的剥离辊340抵接的抵接区域R4处于有效区域外，也能够防止因剥离速度发生变动而引起的图案损坏。
[0121]另一方面，在剥离的进行过程中重新吸附基板SB的第二吸附单元52至第四吸附单元54，和基板SB的已经与橡皮布BL剥离的区域相抵接，因此此时的吸附不会弄坏转印至基板SB的图案。
[0122]另外，一边由平面状的载物台30保持橡皮布BL，一边进行剥离，从而与使吸附机构局部抵接来进行剥离的现有技术相比，不会存在有效区域AR内的橡皮布BL局部发生变形的情况，还能够防止因这样的变形而导致图案等损坏。
[0123]另外，在该实施方式中，通过主升降机36的升降销361接受从外部搬入的工件WK来载置于载物台30。此时，在基板SB (或者版)和橡皮布BL隔着图案等紧贴而成的工件WK的下表面中的、抵接区域TR内，升降销361与工件WK的下表面相抵接。可抵接区域TR指，基板SB和橡皮布BL重叠、且形成有有效的图案等的有效領域AR的外侧的区域。通过这样保持基板SB和橡皮布BL重叠的刚性高的区域，能够可靠地支撑工件WK，另外，还能够防止因按压有效区域AR内的图案等而导致的损坏。
[0124]尤其，使升降销361分散在可抵接区域TR内的多个部位来进行抵接，从而能够使施加于橡皮布BL的压力分散来进行支撑。除此之外，使搬运用的手在升降销361之间进退的动作变得容易。因此，能够顺畅地搬入工件WK以及将其载置于载物台30上。
[0125]另外，在载物台30的中央部配置子升降机37，来与主升降机36—起支撑剥离之后的橡皮布BL。由此，抑制剥离之后的橡皮布BL弯曲并将其保持为水平姿势，从而能够容易地向外部搬出橡皮布BL。另外，在使橡皮布BL与载物台30分离之前，通过边缘升降机38使橡皮布BL的端部向上方发生位移，从而在橡皮布BL的端部和载物台上表面310之间形成间隙。这样，能够使升降销361、371顺畅地抬起橡皮布BL。
[0126]另外，在载物台30的一部分设置锥形来控制剥离的开始的结构中，不能在相当于载物台30的水平面和锥形面之间的边界的棱线部E的附近设置用于插入升降销的开口。这是因为，若设置所述开口，则在开口的边缘部周边产生偶发的剥离，从而不能控制剥离开始线。因此，在该实施方式中，构成为能够使水平载物台部31和锥形载物台部32分离的结构，使升降销从使它们分离时的间隙突出。与此同时，在载置工件WK之后，使水平载物台部31和锥形载物台部32相接触来构成载物台30。由此，通过升降销还能够支撑位于锥形面侧的可抵接区域TR。
[0127]如上面说明，在该实施方式中，作为剥离对象物的工件WK中的橡皮布BL相当于本发明的“第一板状体”，另一方面，基板SB相当于本发明的“第二板状体”。另外，橡皮布BL的两个主表面中的与基板SB紧贴的上表面相当于“一面”，下表面相当于“另一面”。
[0128]另外，在上述实施方式中，载物台30发挥本发明的“保持载物台”的功能，水平载物台部31的上表面310相当于本发明的“保持面”。另外，吸附单元51?54发挥本发明的“剥离单元”的功能。另外，升降销361发挥本发明的“支撑构件”的功能，另一方面，升降机构365发挥本发明的“升降单元”的功能。另外，在上述实施方式中，升降销371发挥本发明的“辅助支撑构件”的功能，摆动臂381发挥本发明的“空隙形成构件”的功能。
[0129]此外，本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内，能够进行除了上述方式之外的各种变更。例如，在上述实施方式中，在载物台30上设置格子状的吸附槽311、312来吸附保持橡皮布BL，但是吸附槽的形状并不限定于此。例如可以设置环状的吸附槽，另外也可以适当配置被供给负压的吸附孔来吸附橡皮布。
[0130]另外，上述实施方式的装置I具有能够在工件WK的有效区域AR内与工件WK的下表面相抵接的子升降机37的升降销371，但是在搬入工件时，通过不使升降销371与工件WK抵接，能够抑制有效区域AR内的图案等损坏。但是，根据图案材料或其配置不同，也存在不受到因升降销371抵接而产生的影响的情况。在这样的情况下，也可以根据需要在搬入工件时也并用子升降机37。
[0131]另外，在上述实施方式中，以使剥离之后的基板SB的姿势维持接近平面的状态的方式，控制各吸附单元51?54的上升，从而降低施加于基板SB的压力，但是提起基板SB的方式并不限定于此。例如也可以以使剥离之后的基板呈大致水平的方式使各吸附单元在规定高度停止，或者以使基板具有以规定的曲率弯曲的姿势的方式保持基板。这些能够通过控制各吸附单元的上升方式来自由设定。
[0132]另外，在上述实施方式中，将4个吸附单元配置在基板SB的上部来依次吸附基板SB，但是吸附单元的数量并不限定于此，而可以是任意的。若基板大，则使吸附单元变多，若基板小，则使吸附单元变少即可。
[0133]另外，在上述实施方式中，通过真空吸附来保持基板以及橡皮布，但是保持的方式并不限定于此。例如也可以通过静电或者磁性吸附力来进行吸附保持。尤其，就用于保持基板的有效区域外的第一吸附单元51而言，不仅仅依赖于吸附，也可以通过机械性地把持基板周缘部来进行保持。
[0134]另外，上述实施方式的剥离装置I，一边使剥离辊340与基板SB抵接来管理剥离边间线的移动，一边提起基板SB，从而在基板SB和橡皮布BL之间进行剥离，但是剥离处理的方式并不限定于此。即，即使是通过其它剥离方式进行剥离的装置，也能够在搬入由版或者基板与橡皮布那样的两张板状体形成的紧贴体且将剥离之后的板状体分别搬出的结构上应用本发明。
[0135]另外，在上述实施方式中，使橡皮布BL向锥形载物台部32突出来保持橡皮布BL，通过按压构件331使橡皮布BL弯曲来制造剥离的机会。但是，这样并不是必须的要素，例如也可以仅通过第一吸附单元提起来开始剥离。在该情况下，不必在载物台上设置锥形。
[0136]本发明除了能够适用于使两张板状体紧贴来转印图案等的图案形成处理中的剥离工序中之外，还能够优选利用于使相互紧贴的两张板状体良好地剥离的各种目的，而并不限定于伴随着这样的图案转印的工序。
【权利要求】
1.一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，所述第二板状体的平面尺寸小于所述第一板状体的平面尺寸，并且所述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在所述第一板状体上，所述剥离装置的特征在于， 具有: 保持载物台，其上表面为平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与所述保持面抵接，来保持所述第一板状体， 剥离单元，其保持所述第二板状体，来使所述第二板状体相对于被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体，向与所述第一板状体分离的方向移动， 支撑构件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端与所述第一板状体的所述另一面局部抵接，从而将所述第一板状体支撑在与所述保持面分离的状态， 升降单元，其使所述支撑构件相对于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，所述上部位置是指，所述支撑构件的所述上端向所述保持面的上方突出的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置； 所述支撑构件抵接于所述第一板状体的所述另一面中的与在所述一面侧中与所述第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且所述有效区域的外侧抵接。
2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述保持面的平面尺寸大于所述第二板状体的平面尺寸，并且在所述保持面中的与载置于所述保持面的所述第一板状体的所述有效区域相对应的区域的外侧且与所述第二板状体相对应的区域的内侧设置有开口，在所述支撑构件位于所述上部位置时，所述上端通过所述开口来向所述保持面的上方突出。
3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，分别设置多个所述支撑构件以及所述开口，所述多个支撑构件一体地相对于所述保持面进行升降。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于，在所述保持面中的与所述有效区域相对应的区域内设置与设置有所述支撑构件的所述开口不同的第二开口，并且具有从该第二开口向所述保持面的上方突出来支撑所述第一板状体的辅助支撑构件。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于，具有空隙形成构件，该空隙形成构件使被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体的周缘部向上方发生位移，从而在所述第一板状体的周缘部和所述保持面之间产生空隙。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于， 所述保持载物台具有水平载物台部和锥形载物台部，所述水平载物台部的上表面具有所述保持面，所述锥形载物台部的上表面与所述保持面相连接，并且所述锥形载物台部呈朝向与所述保持面分离的方向形成下坡的锥形面，在使所述第一板状体中的所述有效区域的外侧的周缘部向所述锥形面的上方突出的状态下，保持所述第一板状体； 还具有按压构件，该按压构件将向所述锥形面的上方突出的所述第一板状体的所述周缘部按压来使之向下方弯曲，来使所述第一板状体和所述第二板状体之间开始剥离； 所述水平载物台部和所述锥形载物台部能够在水平方向上进行分离，至少一个所述支撑构件从因分离而产生的所述水平载物台部和所述锥形载物台部之间的间隙，相对于所述保持面进行升降。
【文档编号】B41F16/00GK104070778SQ201410108244
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年3月21日 优先权日:2013年3月28日
【发明者】上野美佳, 川越理史, 增市干雄, 上野博之 申请人:大日本网屏制造株式会社