专利名称：剥离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对贴附在基板上的加强片进行剥离的剥离装置。
背景技术：
近年来，显示面板、太阳电池、薄膜二次电池等电子设备的薄型化、轻量化不断发展，所述电子设备中使用的玻璃基板的薄板化不断发展。由于薄板化而玻璃基板的强度下降时，玻璃基板的处理性下降，因此难以在玻璃基板上形成电子设备用部件(例如薄膜晶体管或滤色器)。相对于此，在专利文献1中公开有在玻璃基板上可剥离地贴附有加强片的层叠体。在玻璃基板上的与加强片侧的相反的一侧的面上形成了电子设备用部件之后，通过将贴附在玻璃基板上的加强片剥离，而能够补充玻璃基板的强度的下降。另外，在专利文献1中记载有为了将贴附在玻璃基板上的加强片剥离而使剃刀的刃等插入玻璃基板与加强片之间来进行初始剥离的方法。通过进行初始剥离，而能够容易进行之后的剥离。另一方面，在专利文献2中提出有一种对贴附在吸附部件上的玻璃基板进行剥离的剥离装置，在玻璃基板上安装板状的挠性部件，并使固定在挠性部件上的多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向伸缩，从而使玻璃基板从两端侧开始依次发生弯曲变形而进行剥
ο另外，在专利文献3中记载有一种对贴附在树脂基板上的加强片进行剥离的剥离装置，使旋转体旋转并使旋转体的曲面依次与加强片的上表面接触，从接触的部分开始，使加强片依次发生弯曲变形而进行剥离。专利文献1 国际公开第08/007622号小册子专利文献2 日本特开2000-84844号公报专利文献3 日本特开2004-142878号公报在专利文献1中，未对初始剥离后的剥离方法进行具体说明。因此，考虑使用专利文献2所记载的剥离装置的方法作为初始剥离后的剥离方法。例如，在加强片上安装板状的挠性部件，使固定在挠性部件上的多个杆以每一个杆为单位沿轴方向伸缩，使加强片从一端侧开始(即，从进行了初始剥离的位置开始)依次发生弯曲变形而进行剥离。然而，在专利文献2所记载的剥离装置中，各杆无法沿轴正交方向移动，因此存在妨碍加强片的弯曲变形的情况。加强片的弯曲变形较小时，加强片与基板大致平行地剥离， 因此用于剥离的力增大，剥离变得困难。因此，在加强片含有树脂层且该树脂层与基板密接的情况下，剥离时树脂层有可能凝集破坏而附着在基板上。另一方面，在专利文献3中，由于通过旋转体的曲面形状来决定加强片的弯曲变形的程度，因此难以应对剥离对象的变更
发明内容
本发明鉴于上述课题而作出，其目的在于提供一种能够容易地将贴附在基板上的加强片剥离且能够容易地应对剥离对象的变更的剥离装置。为了解决上述目的，本发明涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿轴方向移动的多个驱动装置；及对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元支承所述层叠体的一个主面，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。而且，本发明涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备安装在包含所述基板及所述加强片的层叠体的两个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置；对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使所述层叠体的一个主面从一端侧开始依次弯曲变形，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。发明效果根据本发明，能够提供一种可容易地将贴附在基板上的加强片剥离且可容易地应对剥离对象的变更的剥离装置。
图1是表示第一实施方式的剥离装置的局部剖面侧视图。图2是表示图1的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。图3是表示加强片120的一例的侧视图。图4是表示图3的变形例的侧视图。图5是表示层叠体100的一例的侧视图。图6是表示剥离刃20的一例的侧视图。图7 (a)及图7 (b)是表示挠性部件30的一例的整体图。
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图8是表示垫40的配置例的俯视图。图9是表示第二实施方式中的剥离装置的局部剖面侧视图。图10是表示图9的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。图11(a) 11(f)是表示第二实施方式中的剥离方法的工序图。图12(a) 12(f)是表示第三实施方式中的剥离方法的工序图。
具体实施例方式以下，参照附图，对用于实施本发明的方式进行说明。(第一实施方式)图1是表示第一实施方式的剥离装置的局部剖面侧视图。图2是表示图1的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。剥离装置是将贴附在玻璃基板110上的加强片120剥离的装置。剥离装置对包含玻璃基板Iio及加强片120的层叠体100的第一主面102进行支承并使层叠体100的第二主面104从一端侧开始依次弯曲变形。如此，剥离装置平坦地保持玻璃基板110并使加强片120从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离。在本实施方式中，剥离装置虽然平坦地保持玻璃基板110并使加强片120从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离，但本发明并不局限于此。例如，剥离装置也可以平坦地保持加强片120并使玻璃基板110从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离。接下来，对层叠体100进行说明。层叠体100至少由玻璃基板110及加强片120构成。如上所述，在玻璃基板110 上的与加强片120侧相反的一侧的面上形成有电子设备用部件。在此，电子设备是指显示基板、太阳电池、薄膜二次电池等电子部件。显示基板包含TFT-LCD或STN-LCD等液晶面板、有机EL面板、等离子显示器面板、场致发射面板等。玻璃基板110可以为无碱玻璃基板，也可以是碱性玻璃基板，基于适用的电子设备及其制造工序而进行适当选择，但由于热收缩率小而优选无碱玻璃基板。玻璃基板110的厚度并未特别限定，但从薄板化的观点出发，优选0. 3mm以下，更优选0. 15mm以下。为0. 3mm以下时，能够给予玻璃基板110良好的柔性。为0. 15mm以下时，能够将玻璃基板110卷绕成滚筒状。为了抑制加热冷却时的翘曲或剥离，加强片120优选与玻璃基板110的线膨胀系数差的绝对值较小的材料，优选至少包含玻璃片。玻璃片可以由与玻璃基板110相同的材料形成，也可以由不同的材料形成，但优选由相同材料形成。图3是表示加强片120的一例的侧视图。在图3所示的例子中，加强片120仅由玻璃片121构成。这种情况下，能够通过玻璃的硅醇基(Si-OH)彼此的结合力和范德瓦尔斯力等将加强片120与玻璃基板110以可剥离的方式贴附。图4是表示图3的变形例的侧视图。在图4所示的例子中，加强片120由玻璃片121和形成在玻璃片121上的树脂层 122构成。这种情况下，能够通过作用在树脂层122与玻璃基板110之间的范德瓦尔斯力或树脂层122的粘结力等将树脂层122和玻璃基板110以可剥离的方式贴附。
从柔性或耐冲击性的观点出发，树脂层122优选至少包含丙烯酸树脂、聚烯烃树脂、环氧树脂、聚氨脂树脂及硅酮树脂中的任一种。从耐热性的观点出发，树脂层122更优选由硅酮树脂构成。在图4的例子中，加强片120由玻璃片121和树脂层122构成，但也可以在玻璃片 121上的与树脂层122侧相反的一侧的面上进而形成另一树脂层。图5是表示层叠体100的一例的侧视图。在图5所示的例子中，层叠体100是依次配置有加强片120A、玻璃基板110A、液晶层130、玻璃基板110B、加强片120B而形成的结构。该层叠体100使用于TFT-IXD，在玻璃基板IlOA上的液晶层130侧的面上形成有未图示的薄膜晶体管(TFT)，且在玻璃基板IlOB 上的液晶层130侧的面上形成有未图示的滤色器。在图5所示的例子中，层叠体100是在两侧配置有加强片的结构，但也可以是仅在单侧配置有加强片的结构。接下来，再次参照图1及图2，说明剥离装置的详细情况。剥离装置包括工作台10 (支承单元)、剥离刃20、挠性部件30、多个垫40、多个接头50、多个杆60、多个驱动装置70、控制装置80等。工作台10对层叠体100的第一主面102进行支承，而平坦地保持玻璃基板110。在本实施方式中，工作台10对层叠体100的第一主面102进行支承而平坦地保持玻璃基板110，但也可以对层叠体100的第二主面104进行支承而平坦地保持加强片120。工作台10对层叠体100的第一主面102进行真空吸附。可以取代真空吸附而利用静电吸附，还可以可拆装地粘结。剥离刃20用于进行初始剥离，通过手动或适当的驱动装置，而插入到玻璃基板 110与加强片120之间。例如，剥离刃20在层叠体100的角部，插入到玻璃基板110与加强片120之间，沿玻璃基板110与加强片120之间的界面移动规定量。图6是表示剥离刃20的一例的侧视图。在剥离刃20的前端部，如图6所示，玻璃基板110侧的刃面22构成为越向前端而越从玻璃基板110离开。由此，能够抑制剥离刃20的插入引起的玻璃基板110的损伤。同样地，在剥离刃20的前端部，加强片120侧的刃面M构成为越向前端而越从加强片120离开。由此，能够抑制剥离刃20的插入引起的加强片120的损伤。加强片120包含树脂层122时且该树脂层122与玻璃基板110密接时，树脂层122与玻璃片121相比，耐损伤性低，因此特别有效。在图6所示的例子中，加强片120侧的刃面M由两个倾斜面沈、观构成。刃面22 与倾斜面沈所成的角α设定为65°，刃面22与倾斜面观所成的角β设定为12°。倾斜面沈的长度Ll设定为35 μ m,倾斜面28的长度L2设定为290 μ m。挠性部件30为板状，是安装在层叠体100的第二主面104上的部件。即，挠性部件30是安装在加强片120上的与玻璃基板110相反的一侧的面104上的部件。挠性部件 30也可以以可拆卸的方式安装在层叠体100的第二主面104上。在本实施方式中，挠性部件30安装在层叠体100的第二主面104上，但也可以安装在层叠体100的第一主面102上。在不经由挠性部件30而将后述的垫40直接安装在层叠体100的第二主面104上的情况下，在垫40的移动开始时，在该垫40的正下方，将加强片120和玻璃基板110大致平行地剥离，因此用于剥离的力增大，剥离变得困难。因此，在加强片120包含树脂层122 且该树脂层122与玻璃基板110密接的情况下，在剥离时，树脂层122有可能凝集破坏而附着于玻璃基板110。图7是表示挠性部件30的一例的整体图，图7(a)是俯视图，图7 (b)是沿图7(a) 的A-A，线的剖视图。在图7所示的例子中，挠性部件30包括安装部32和规定部34。安装部32是以可拆卸的方式安装在层叠体100的第二主面104上的部位。在安装部32上形成有槽部36，并与规定部34的贯通孔38连通。通过与贯通孔38连接的真空泵等，对槽部36内进行减压， 而将层叠体100的第二主面104真空吸附在安装部32上。可以取代真空吸附而进行静电吸附，也可以可拆装地粘结。安装部32的材料没有特别限定，但从密接性的观点出发，优选橡胶。作为橡胶，从剥离性的观点出发，优选硅酮橡胶。也可以取代硅酮橡胶而使用硅酮凝胶，这种情况下，将安装在层叠体100上的安装部32拆卸时，硅酮凝胶有可能凝集破坏而附着于层叠体100。以提高剥离性为目的，也可以对安装部32的表面实施涂层。安装部32的厚度Tl优选为Imm以上，更优选2mm以上。安装部32的厚度Tl小于Imm时，安装部32的变形量小，因此难以充分得到安装部32与层叠体100的密接性。而且，安装部32的厚度Tl优选30mm以下。安装部32的厚度Tl超过30mm时，安装部32的变形量大，因此难以控制层叠体100的第二主面104的弯曲变形。规定部34是对挠性部件30的弯曲刚性进行规定的部位。挠性部件30的每单位宽度(Imm)的弯曲刚性优选为1000 40000N · mm7mm。换言之，挠性部件30的弯曲刚性优选为 1000 40000N · mm2。挠性部件30的每单位宽度(Imm)的弯曲刚性小于1000N -mmVmm时，挠性部件30 柔软，加强片120在剥离时会发生折弯。另一方面，挠性部件30的每单位宽度(Imm)的弯曲刚性大于40000N · mm2/mm时， 挠性部件30难以弯曲，加强片120的弯曲变形难以进行。对于规定部34的材料，只要挠性部件30的每单位宽度(Imm)的弯曲刚性为 1000 40000N ^mm2Aim即可，并未特别限定，例如除了使用聚氯乙烯(PVC)树脂、丙烯酸树脂、聚缩醛(POM)树脂等树脂板之外，还可以使用金属板。多个垫40固定在挠性部件30上的与层叠体100侧相反的一侧的面上。多个垫40 可以吸附固定在挠性部件30上，也可以粘结固定在挠性部件30上。图8是表示多个垫40的配置例的上面图。在图8所示的例子中，将多个垫40以等间距(例如中心间距离P = 98mm)配置成棋盘格状。垫40的尺寸设定为不妨碍挠性部件30的弯曲变形，在图8所示的例子中将直径设定为^mm。在本实施方式中，将多个垫40以等间距配置成棋盘格状，但本发明并不局限于此。例如，也可以以不等间距配置，还可以配置成锯齿状。多个垫40经由多个接头50中的任一个与多个杆60中的任一个连结，并能够以被连结的杆60的中心线X与加强片120上的玻璃基板110侧的面的交点P附近(距交点 P士 15mm以内，更优选距交点P士 5mm以内)为中心进行转动。由此，如图2所示，在垫40与杆60的连结部分上，垫40侧能够沿杆60的轴正交方向移动，能够追随挠性部件30的弯曲变形。作为此种接头50，例如有图1所示的球面接头、连杆等。其中，优选结构比较简单的球面接头。经由球接头将垫40和杆60连结时，在连结部分，垫40侧不能沿杆60的轴正交方向移动，因此会妨碍挠性部件30的弯曲变形，存在妨碍层叠体100的第二主面104的弯曲变形的情况。层叠体100的第二主面104的弯曲变形较小时，加强片120和玻璃基板110 被大致平行地剥离，因此用于剥离的力增大，难以剥离。因此，在加强片120包含树脂层122 且该树脂层122与玻璃基板110密接的情况下，在剥离时，树脂层122有可能凝集破坏而附着于玻璃基板110。相对于此，在本实施方式中，通过接头50能够使各垫40追随挠性部件30的弯曲变形，因此能够容易地将贴附在玻璃基板110上的加强片120剥离。因此，在加强片120包含树脂层122且该树脂层122与玻璃基板110密接的情况下，能够抑制剥离时的破损。在垫40与接头50之间以稍压缩的状态夹装有螺旋弹簧52。通过螺旋弹簧52的复位力，能够消除垫40与杆60的连结部分的变动。多个驱动装置70是用于在一个控制装置80进行的控制下使多个杆60以每个杆 60为单位沿接近、远离工作台10的方向移动的装置。换言之，多个驱动装置70是用于在一个控制装置80进行的控制下使多个杆60以每一个杆为单位沿轴方向伸缩的装置。驱动装置70以每个杆60为单位逐个设置。作为驱动装置70，并未特别限定，但优选使用汽缸或伺服电动机。多个驱动装置70优选分别经由多个缓冲部件14与框架16连结。缓冲部件14的材质并未特别限定，可列举例如聚氨酯橡胶等。框架16能够沿相对于工作台10接近、离开的方向进行相对移动。这样，由于在各驱动装置70与框架16之间夹设有缓冲部件14，因此能够使各杆 60沿轴正交方向稍倾动，从而容易使各垫40追随挠性部件30的弯曲变形。控制装置80由微型计算机等构成，以每个杆60为单位对多个杆60相对于工作台 10的位置进行控制。如图2所示，控制装置80在平坦地支承玻璃基板110的状态下，控制多个杆60的位置，以从进行了初始剥离的位置(插入了剥离刃20的位置)使加强片120 依次弯曲变形。因此，能够根据剥离对象(玻璃基板110或加强片120)的厚度或种类等而设定多个杆60的位置，从而能够容易地应对剥离对象的变更。如图2所示，控制装置80控制多个杆60的位置，以在将依次弯曲变形的加强片 120上的玻璃基板110侧的面分为剥离区域IM和未剥离区域126的剥离前线128附近，使剥离区域124的曲率半径成为250mm 2500mm，更优选500mm 1000mm。在此，所谓剥离前线128附近是指距玻璃前线1 为50mm以内的区域。在剥离前线128附近，剥离区域124的曲率半径小于250mm时，加强片120有可能折弯而破损。尤其在加强片120包含玻璃片121时成为问题。另一方面，在剥离前线128附近，剥离区域124的曲率半径超过2500mm时，加强片120与玻璃基板110大致平行地剥离，因此用于剥离的力增大，而难以剥离。因此，层叠体100与挠性部件30的吸附有可能脱落。而且，在加强片120包含树脂层122且该树脂层 122与玻璃基板110密接的情况下，在剥离时，树脂层122有可能凝集破坏而附着于玻璃基板 110。在剥离前线128附近以外的剥离区域124中，只要加强片120不折弯损伤，就不限于加强片120的形状，也可以为例如平板状。控制装置80使用伺服电动机作为驱动装置70时，如图1、图2所示，具备位置检测部82和控制部84。位置检测部82基于伺服电动机的转速而以每个杆60为单位对多个杆60的当前位置进行检测。控制部84以每个伺服电动机为单位对向多个伺服电动机的供给电力进行控制，以使通过位置检测部82检测出的当前位置接近预先设定的目标位置。在此，目标位置是根据开始控制后的时间T以每个杆60为单位进行变化的位置，读出并使用以每个杆60为单位预先存储在记录介质中的内容。而且，时间T通过装入到控制装置80 中的计时器等进行检测。如此，控制装置80能够以每个杆60为单位正确地控制多个杆60的位置，并且能够使多个杆60的位置相互建立对应而正确地进行控制。其结果是，能够将加强片120的剥离前线128的移动速度保持一定。剥离前线128的移动速度发生变动时，用于剥离的力产生变动，因此有时在加强片120上局部性地作用有过度的负荷。另外，控制装置80使用伺服电动机作为驱动装置70时，如图1、图2所示，还可以具备负荷检测部86。负荷检测部86以每个伺服电动机为单位对多个伺服电动机的负荷转矩(例如向多个伺服电动机的供给电流)进行检测。这种情况下，控制部84基于负荷检测部86的检测结果而以每个杆60为单位来修正多个杆60的目标位置，并存储在存储介质中。例如，在第η次(η为1以上的自然数)的控制时，若一伺服电动机的负荷转矩超过阈值时，则将通过该一伺服电动机而移动的杆60的目标位置的时间T修正为延迟规定时间(例如0. 06秒)，而存储在存储介质中。在第η+1次的控制时，取代第η次的控制时使用的目标位置，基于在第η次的控制后所修正、存储的目标位置，以每个伺服电动机为单位对向多个伺服电动机的供给电力进行控制。由此，在第η+1次的控制时，能够抑制过度的负荷作用于加强片120的情况，从而能够抑制加强片120的损伤。接下来，对使用了上述剥离装置的剥离方法进行说明。以使加强片120Α成为上侧的方式将图5所示的层叠体100载置并真空吸附在工作台10上。在该状态下，使能够相对于工作台10进行升降的框架16下降而将板状的挠性部件30按压到加强片120Α上。然后，使框架16停止，而使加强片120Α被挠性部件30真空吸附。在该状态下，如图1所示，挠性部件30成为平板状。从图1所示的状态开始，将剥离刃20插入到层叠体100的加强片120Α与玻璃基板IlOA之间而进行初始剥离。接下来，如图2所示，使多个杆60以每个杆60为单位进行移动，使挠性部件30从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使加强片120Α从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形而从玻璃基板IlOA进行整面剥离。在整面剥离时，在加强片120Α的剥离前线附近，以使剥离区域的曲率半径成为 250mm 2500mm，更优选500mm IOOOmm的方式进行剥离。由此，能够容易地进行剥离，并
9能够抑制剥离时的破损。将加强片120A剥离后，使框架16上升到规定位置，在解除了挠性部件30产生的真空吸附的基础上拆下加强片120A，在解除了工作台10产生的真空吸附的基础上拆下层叠体100。然后，以使加强片120B成为上侧的方式将剥离了加强片120A后的层叠体100载置并真空吸附在工作台10上，之后，同样地使加强片120B从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次弯曲变形而从玻璃基板IlOB剥离。这样，能够容易地从层叠体100剥离加强片120A、120B，且能够抑制剥离时的损伤。在本实施方式中，使加强片120从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离，但本发明并不局限于此。例如，也可以使加强片120从两端侧依次弯曲变形而进行剥离。在本实施方式中，形成为将工作台10固定并使框架16进行升降的结构，但也可以形成为使工作台10进行升降并将框架16固定的结构，还可以形成为使工作台10和框架16 这双方进行升降的结构。总之只要是工作台10和框架16相对移动的结构即可。(第二实施方式)图9是表示第二实施方式中的剥离装置的局部剖面侧视图。图10是表示图9的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。在上述第一实施方式中，在层叠体100的单侧配置有板状的挠性部件30、多个垫 40、多个杆60、多个驱动装置70等。相对于此，本实施方式的剥离装置在层叠体100的两侧配置有板状的挠性部件 30、多个垫40、多个杆60、多个驱动装置70等。S卩，如图9、图10所示，本实施方式的剥离装置在层叠体100的一方的单侧配置有板状的挠性部件30A、多个垫40A、多个杆60A、多个驱动装置70等，而在层叠体100的另一方的单侧配置有板状的挠性部件30B、多个垫40B、多个杆60B、多个驱动装置70B等。挠性部件30A是安装在层叠体100的一个主面104上的部件。另一方面，挠性部件30B是安装在层叠体100的另一个主面102上的部件。多个垫40A固定在挠性部件30A上的与层叠体100侧相反的一侧的面上。另一方面，多个垫40B固定在挠性部件30B上的与层叠体100侧相反的一侧的面上。多个垫40A经由多个接头50A中的任一个与多个杆60A中的任一个连结，并能够以被连结的杆60A的中心线X和加强片120上的玻璃基板110侧的面的交点P附近为中心进行转动。另一方面，多个垫40B经由多个接头50B中的任一个与多个杆60B中的任一个连结，并能够以被连结的杆60B中的中心线Y和玻璃基板110上的加强片120侧的面的交点Q附近为中心进行转动。在垫40A与接头50A之间以稍压缩的状态夹装螺旋弹簧52A。通过螺旋弹簧52A 的复位力，能够消除垫40A与杆60A的连结部分的变动。另一方面，在垫40B与接头50B之间以稍压缩的状态夹装螺旋弹簧52B。通过螺旋弹簧52B的复位力，能够消除垫40B与杆 60B的连结部分的变动。多个驱动装置70A是用于在一个控制装置80的控制下使多个杆60A以每个杆60A 为单位沿轴方向伸缩的装置。驱动装置70A以每个杆60A为单位逐个设置。多个驱动装置70A分别经由多个缓冲部件14A与框架16A连结。另一方面，多个驱动装置70B是用于在一个控制装置80的控制下使多个杆60B以每个杆60B为单位沿轴方向伸缩的装置。驱动装置70B以每个杆60B为单位逐个设置。多个驱动装置70B分别经由多个缓冲部件14B与框架16B连结。控制装置80由微型计算机等构成，以每个杆60A为单位控制多个杆60A的位置， 并以每个杆60B为单位控制多个杆60B的位置。如图9及图10所示，控制装置80控制多个杆60A的位置以使加强片120从进行了初始剥离的位置(将剥离刃20插入的位置)依次弯曲变形，并控制多个杆60B的位置以使玻璃基板110从进行了初始剥离的位置依次弯曲变形。如此，使玻璃基板110和加强片120相互向相反方向弯曲变形，而进行剥离。可以使玻璃基板110和加强片120大致对称地发生弯曲变形，也可以非对称地发生弯曲变形。然而，若弯曲变形的程度大，则玻璃基板110或加强片120有可能折弯破损。另一方面，若弯曲变形的程度小，则玻璃基板110和加强片120大致平行地剥离，因此用于剥离的力增大，而难以剥离。在本实施方式中，在剥离时，使玻璃基板110及加强片120这双方彼此向相反方向发生弯曲变形，因此与将任一方保持平坦而使另一方弯曲变形的情况相比，玻璃基板110 和加强片120难以变得大致平行。因此能够有效地抑制破损或减少剥离力。例如，在剥离时，使玻璃基板110和加强片120大致对称地弯曲变形时，与将任一方保持平坦而使另一方弯曲变形的情况相比，通过将剥离区域的曲率半径设定为大致2 倍，而能够将剥离力维持为同等并有效地抑制破损。另外，在使玻璃基板110和加强片120大致对称地弯曲变形时，与将任一方保持平坦而使另一方弯曲变形的情况相比，通过将剥离区域的曲率半径设定为大致相同，而能够将破损抑制成同等并减少剥离力。接下来，对使用了上述剥离装置的剥离方法进行说明。图11(a) 图11(f)是表示第二实施方式中的剥离方法的工序图。以使加强片120A成为上侧的方式将图5所示的层叠体100载置并真空吸附在挠性部件30B上。在该状态下，使能够相对于框架16B进行升降的框架16A下降而将板状的挠性部件30A按压到加强片120A上。然后，使框架16A停止，而使加强片120A真空吸附于挠性部件30A。在该状态下，如图11(a)所示，挠性部件30A及挠性部件30B成为平板状。接下来，将剥离刃20插入到层叠体100的加强片120A与玻璃基板IlOA之间而进行初始剥离。然后，如图11(b)及图11(c)所示，使挠性部件30A从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使加强片120A从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形。 此时，使挠性部件30B从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使玻璃基板IlOA从一端侧开始 (从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形。如此，将加强片120A从玻璃基板IlOA整面剥离。将加强片120A剥离后，使框架16A上升到规定位置，在解除了由一方的挠性部件 30A进行的真空吸附的基础上卸下加强片120A。接下来，使挠性部件30A下降而按压到玻璃基板IlOA上。然后，使玻璃基板IlOA真空吸附于挠性部件30A。在该状态下，如图11 (d) 所示，挠性部件30A及挠性部件30B成为平板状。接下来，将剥离刃20插入到加强片120B与玻璃基板IlOB之间而进行初始剥离。接下来，如图11(e)及图11(f)所示，使挠性部件30B从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使加强片120B从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形。此时，使挠性部件30A从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使玻璃基板IlOB从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形。如此，将加强片120B从玻璃基板IlOB整面剥离。如此，能够容易地从层叠体100剥离加强片120A、120B，且能够抑制剥离时的损伤。在本实施方式中，形成为将框架16B固定并使框架16A进行升降的结构，但也可以形成为使框架16B进行升降并将框架16A固定的结构，还可以形成为使框架16B和框架16A 这双方进行升降的结构。总之只要是使框架16B和框架16A相对移动的结构即可。(第三实施方式)在本实施方式中，使用图9所示的剥离装置进行剥离，但剥离装置的动作不同。图12(a) 图12(f)是表示第三实施方式中的剥离方法的工序图。以使加强片120A成为上侧的方式将图5所示的层叠体100载置并真空吸附在挠性部件30B上。在该状态下，使能够相对于框架16B进行升降的框架16A下降而将板状的挠性部件30A按压到加强片120A上。然后，使框架16A停止，而使加强片120A真空吸附于挠性部件30A。在该状态下，如图12(a)所示，挠性部件30A及挠性部件30B成为平板状。接下来，将剥离刃20插入到层叠体100的加强片120A与玻璃基板IlOA之间而进行初始剥离。然后，如图12(b)及图12(c)所示，在将玻璃基板IlOA保持为平坦的状态下， 使挠性部件30A从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使加强片120A从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形而从玻璃基板IlOA整面剥离。在整面剥离时，在加强片120A的剥离前线附近，以使剥离区域的曲率半径成为 250mm 2500mm，更优选为500mm IOOOmm的方式进行剥离。由此，能够容易地进行剥离， 并能够抑制剥离时的破损。将加强片120A剥离后，使挠性部件30A上升到规定位置，在解除了由挠性部件30A 进行的真空吸附的基础上卸下加强片120A。接下来，使挠性部件30A下降而按压到玻璃基板IlOA上。然后，使玻璃基板IlOA真空吸附于挠性部件30A。在该状态下，如图12 (d)所示，挠性部件30A及挠性部件30B成为平板状。接下来，将剥离刃20插入到加强片120B与玻璃基板IlOB之间而进行初始剥离。 接下来，如图12(e)及图12(f)所示，在将玻璃基板IlOB保持为平坦的状态下，使挠性部件 30B从一端侧开始依次发生弯曲变形，并使加强片120B从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次发生弯曲变形而从玻璃基板IlOB整面剥离。在整面剥离时，在加强片120B的剥离前线附近，以使剥离区域的曲率半径成为 250mm 2500mm，更优选500mm IOOOmm的方式进行剥离。由此，能够容易地进行剥离，并能够抑制剥离时的破损。如此，能够容易地从层叠体100剥离加强片120A、120B，且能够抑制剥离时的损伤。在本实施方式中，使加强片120A、120B从一端侧开始依次弯曲变形而进行了剥离，但本发明并不局限于此。例如，也可以使加强片120A、120B从两端侧依次弯曲变形而进行剥离。
在本实施方式中，形成为将框架16B固定并使框架16A进行升降的结构，但也可以形成为使框架16B进行升降并将框架16A固定的结构，还可以形成为使框架16B和框架16A 这双方进行升降的结构。总之，只要是使框架16B和框架16A相对移动的结构即可。以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不局限于上述的实施方式，而在不脱离本发明的范围内，能够对上述的实施方式添加各种变形及置换。例如，在上述的实施方式中，使用剥离刃20进行了初始剥离，但本发明并不局限于此。例如，也可以喷吹压缩空气或液体而进行初始剥离。另外，在上述的实施方式中，剥离装置是将贴附在玻璃基板110上的加强片120剥离的装置，但本发明并不局限于此。例如，剥离装置也可以是将贴附在硅片或金属基板、塑料基板等基板上的加强片剥离的装置。作为金属基板的材料，并未特别限定，例如可列举有不锈钢、铜等。作为塑料基板的材料，并未特别限定，作为透明树脂，例如可列举聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂、透明含氟树脂等，作为不透明树脂，列举有聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、各种液晶聚合物树脂等。其中，从耐热性的观点出发，优选聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、各种液晶聚合物树脂等。所述材料中， 5%加热重量损失的温度为300°C以上，因此能够在基板上形成薄膜晶体管(TFT)等。更优选5%加热重量损失的温度为350°C以上。这种情况下，在耐热性方面，上述的玻璃基板全部适用。作为在耐热性观点上更优选的塑料基板，例示有聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、各种液晶聚合物树脂等。另外，基板也可以是将玻璃基板、硅片、金属板、塑料基板等相同材质或不同材质层叠后的层叠基板。例如，也可以是玻璃基板与塑料基板的层叠体、按照塑料基板、玻璃、塑料基板的顺序层叠后的层叠体、两张以上的玻璃基板彼此或将两张以上的塑料基板彼此的
层叠体等。另外，在上述的实施方式中，加强片120仅由玻璃片121构成、或由玻璃片121和形成在玻璃片121上的树脂层122构成，但本发明并不局限于此。例如，也可以取代玻璃片 121，而使用硅片或金属片、塑料片。作为金属片的材料，并未特别限定，列举有例如不锈钢、 铜等。另一方面，作为塑料片的材料，并未特别限定，例示有例如聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚丙烯酸树脂、各种液晶聚合物树脂、 聚硅氧烷树脂等。其中，从耐热性的观点出发，优选聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、 芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、各种液晶聚合物树脂等。所述材料中，为5%加热重量损失的温度为300°C以上，因此能够在基板上形成薄膜晶体管(TFT)等。更优选5%加热重量损失的温度为350°C以上。实施例以下，通过实施例具体说明本发明，但本发明并不受以下的实施例限定。[实施例1]
(加强片的制造)对纵长350mm、横宽300mm、厚度0. 4mm的玻璃片(旭硝子公司制、AN100)进行碱清洗，以纯水进行了超声波清洗后，接触80°C的IPA蒸气10分钟，进行干燥。通过旋转涂敷机在干燥后的玻璃片上涂敷加成反应型的液状硅酮(信越硅酮公司制、KNS-320A) 100质量份与钼系催化剂(信越硅酮公司制、CAT-PL-56) 2质量份的混合物(涂敷量30g/m2)。接下来，在180°C下在大气中进行10分钟的加热硬化，而制作了由玻璃片和硅酮树脂层构成的加强片。(玻璃基板与加强片的贴附)对纵长350mm、横宽300mm、厚度0. 3mm的玻璃基板(旭硝子公司制、AN100)进行碱清洗，在纯水清洗后，接触80°C的IPA蒸气10分钟，进行干燥。通过冲压装置将干燥后的玻璃基板和加强片在真空中进行贴附，而使玻璃基板与硅酮树脂层密接。(层叠体的制造)准备两组如此粘合的玻璃基板/加强片，通过双面胶带将玻璃基板彼此粘合而制造了层叠体。该层叠体是依次配置有加强片、玻璃基板、双面胶带(粘结剂层)、玻璃基板、 加强片而成的结构。粘结剂层取代图5所示的液晶层130。(剥离试验)使用图1、图2所示的剥离装置对上述层叠体进行了剥离。具体来说，将层叠体的第一主面真空吸附在工作台10上，并在层叠体的第二主面上真空吸附挠性部件30。接下来，将剥离刃20插入到层叠体的第二主面侧的加强片与玻璃基板之间而进行初始剥离，使多个杆60按杆60移动而使挠性部件30从一端侧开始依次发生弯曲变形， 并使加强片从一端侧开始(从进行了初始剥离的位置)依次弯曲变形而从玻璃基板整面剥
1 O加强片的剥离前线附近的剥离区域的曲率半径R和剥离试验的结果如表1所示。 加强片的剥离前线的平均移动速度设定为0. 4m/秒。[表1]
权利要求
1.一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元； 安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件； 固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫； 分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置；及对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置， 所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元支承所述层叠体的一个主面，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。
2.根据权利要求1所述的剥离装置，其中， 所述接头是球面接头。
3.根据权利要求1或2所述的剥离装置，其中，所述多个驱动装置经由多个缓冲部件中的任一个与一个框架连结。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的剥离装置，其中， 所述驱动装置是伺服电动机。
5.根据权利要求1 4中任一项所述的剥离装置，其中，所述挠性部件由安装部和规定部构成，所述安装部可拆卸地安装在所述层叠体的另一个主面上，所述规定部规定所述挠性部件的弯曲刚性。
6.根据权利要求5所述的剥离装置，其中， 所述安装部由橡胶构成。
7.根据权利要求1 6中任一项所述的剥离装置，其中， 所述加强片至少包含玻璃片。
8.根据权利要求1 7中任一项所述的剥离装置，其中，在所述基板上的与所述加强片侧相反的一侧的面上形成有电子设备用部件。
9.一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备安装在包含所述基板及所述加强片的层叠体的两个主面上的板状的挠性部件； 固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫； 分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置； 对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置， 所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使所述层叠体的一个主面从一端侧开始依次弯曲变形，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。
全文摘要
本发明涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿轴方向移动的多个驱动装置；对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，其中，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元对所述层叠体的一个主面进行支承，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。
文档编号H01L21/683GK102202994SQ201080003114
公开日2011年9月28日 申请日期2010年8月18日 优先权日2009年8月31日
发明者伊藤泰则, 江畑研一 申请人:旭硝子株式会社