剥离设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种剥离设备。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，人们对显示器的要求越来越高，轻薄化是显示器的发展趋势，也是人们追求的发展方向之一。目前常用的实现超薄显示的方法是对采用厚玻璃制备的显示面板进行化学减薄，以达到超薄显示的目的。然而这种工艺会给显示面板带来一系列的问题，比如减薄之后的表面不够平整，会有一些划痕等缺陷，容易导致显示器的破损，以及化学试剂带来污染和成本增加等。
[0003]现有的一种解决方法是将超薄玻璃搭载在较厚的载体玻璃上，完成显示面板的制备过程后，再将载体玻璃剥离，从而得到超薄显示器。这种制备工艺具有无需增加后续化学减薄工艺的优点，超薄玻璃与载体玻璃之间通常采用粘结层进行粘结，粘结过程比较容易，但剥离较难。
[0004]现有的较为成熟的方法是采用机器将载体玻璃直接吸附剥离。如图1所示，载体玻璃11与显示面板12相粘结，载体玻璃11吸附在剥离设备的吸附平台13上，吸附平台13能够绕轴旋转，达到剥离载体玻璃11的目的。在剥离过程中载体玻璃11的形变较大，容易导致破损，并且显示面板12也有较大的破损的风险，从而造成产能降低，严重影响产品的良率及成本。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种剥离设备，以降低资材破损的概率，提高剥离效率和良率。
[0006]为解决上述技术问题，本发明提供了一种剥离设备，所述剥离设备用于将第一基板与第二基板分离，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。
[0007]优选地，每个所述子机台对应多个所述开关阀，所述开关阀的数量与所述第一通孔的数量相等，位于所述子机台中的每个所述第一通孔均对应一个独立的所述开关阀。
[0008]优选地，每个所述子机台对应一个所述开关阀，所述开关阀同时控制位于所述子机台中的所有第一通孔与抽真空装置的通断。
[0009]优选地，所述剥离设备还包括吸气机台，所述剥离机台放置在所述吸气机台上，所述吸气机台上设置有贯穿该吸气机台的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通，所述开关阀设置在所述吸气机台上，并且所述开关阀通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制所述第一通孔与所述抽真空装置的通断。
[0010]优选地，相邻的所述子机台之间铰接。
[0011]优选地，多个所述第一通孔均匀分布在所述子机台上。
[0012]优选地，多个所述第一通孔呈阵列排布，每个所述开关阀用于控制其中一列或其中一行所述第一通孔与抽真空装置的通断。
[0013]优选地，制作所述子机台的材料包括聚甲醛或改性聚丙烯。
[0014]优选地，所述子机台的长度在3mm-20mm之间。
[0015]优选地，所述第一通孔的直径在0.5mm-5mm之间。
[0016]本发明中的剥离机台随着开关阀的状态不同能够实现柔软变动，因此能够将载体玻璃的形变控制在较小的范围内，从而降低了产品发生破损的风险，避免了对资材的浪费，提高了生产效率和良率。
【附图说明】
[0017]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。
[0018]图1是现有技术中的剥离过程示意图；
[0019]图2是本发明实施例中的剥离设备在非工作状态的示意图；
[0020]图3是本发明实施例中的剥离设备在工作状态的示意图；
[0021]图4是剥离机台的俯视图；
[0022]图5是子机台的俯视图。
[0023]在附图中，11-载体玻璃；12_显示面板；13_吸附平台；21_第一基板；22_第二基板；23_剥离机台；231_子机台；24_第一通孔；25_开关阀；26_吸气机台。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0025]本发明提供了一种剥离设备，如图2和图3所示，其中图2是所述剥离设备在非工作状态的示意图，图3是所述剥离设备在工作状态的示意图。
[0026]所述剥离设备用于将第一基板21与第二基板22分离，所述剥离设备包括用于与第一基板21的外侧相接触的剥离机台23，剥离机台23包括能够独立控制的多个子机台231 (如图4所示)，每个子机台231上均设置有多个贯穿该子机台231的第一通孔24，并且，每个子机台231对应至少一个开关阀25，开关阀25用于控制相应的子机台231中的第一通孔24与抽真空装置的通断。
[0027]在剥离过程中，按照子机台231的排列方向(图3中箭头所示方向)依次打开与各个子机台231相对应的开关阀25，其中，“〇”表示开关阀25打开状态，气体流通，可以进行吸附作用，“ X ”表示开关阀25关闭状态，无法完成吸附作用。当开关阀25打开时，与该开关阀25相对应的第一通孔24与抽真空装置连通，使相应位置处的第一基板21被吸附，从而逐渐与第二基板22分离。通常，第一通孔24可以通过管道与抽真空装置的吸气口相连，开关阀25设置在所述管道上。
[0028]本发明中的剥离机台23由多个独立控制的子机台231组成，随着开关阀25依次逐渐打开，各个子机台231依次向下移动，使得剥离机台23能够实现柔软变动，因此能够将第一基板21的形变控制在较小的范围内。
[0029]在本发明中，第一基板21可以是载体玻璃，第二基板22可以是显示面板，利用本发明所提供的剥离设备对载体玻璃和显示面板进行分离时，由于载体玻璃的形变变小，因此能够有效降低广品发生破损的风险，避免对资材的浪费，提尚生广效率和良率。
[0030]在本发明中，可以采用多种方式对子机台231上的第一通孔24进行控制。例如，作为本发明的第一种实施方式，每个子机台231对应多个开关阀25，开关阀25的数量与第一通孔24的数量相等，位于子机台231中的每个第一通