技术编号：10625641
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 分栅式闪存是一种常用的非易失性半导体存储器，其以无过擦除效应、电路设计 相对简单，以及低压、高速的运作特点已成为存储器件的主流技术，被广泛应用于诸如智能 卡、S頂卡、微控制器、手机等电子产品中。 参考图1所示，分栅式闪存半导体衬底10 ;位于半导体衬底10上的隧穿层11、位 于所述隧穿层11上的浮栅21，浮栅21上的绝缘层22、位于所述绝缘层22上的控制栅23， 以及位于所述隧穿层11上，且位于所述浮栅21和控制栅23 -侧的选择栅24。 先前工艺中，所...
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