技术编号:10685223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。气敏半导体元件可根据接触气体后自身物理性质变化的情况发挥不同的作用,通常用于有害气体的检测、实验气体的监控等方面。气敏半导体制备方法多种多样,包括气相沉淀等物理方法和溶胶凝胶等化学方法,但是这些制备方法通常制备过程较复杂,参数控制叫难,大部分方法不能满足批量生产的要求,或者使用方法所造成的污染较大并且成本较高。发明内容本发明的目的是为解决现有技术中的问题,公开了。为实现上述目的,本发明公开了,其具体制备步骤为(1)将器件用陶瓷管置入纯水中进行超声,超声时间...
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