技术编号:10743729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。挥发性有机物质在产业界广泛被使用,由此也随制程而排放到大气环境中,例如随半导体与光电业制程排放的有机废气,如IPA、丙酮、环己酮等等,易造成环境污染。各国对于挥发性有机物质皆有严格的空气污染管制标准,以维护环境及民众的健康,且政府环保部位已公告实施半导体制造业空气污染管制及排放标准,对于挥发性有机废气强制要求的消减率,以半导体业为例,至少应大于90%。有机废气的处理方法很多,热焚化分解是重要的方法之一,而蓄热焚化炉是其中一种,特色是热回效率可以高达90%以...
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