技术编号:10761659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。HIT太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池,相对传统单/多晶硅电池,具有更高的发电效率,更好的稳定性和更低的成本。透明导电氧化膜是HIT太阳能电池制备过程一道重要的工序,一般在板式PVD进行镀膜,而在PVD镀膜都要用到图1所示的载板,如图1所示在一整块金属板或非金属版上开槽和或孔制成大载板,在槽和或孔中放置硅片。然后将PVD中载板放置在如图2所示的基板上,并在若干个纯金属的靶材组成的腔室内工作,然后在硅片表面通过某种物理方式(如...
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