一种用于hit太阳能电池镀膜的载板的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，包括载板本体、设在载板本体四周的框架、设在载板本体上的螺纹孔、设在载板本体上的槽口、和螺纹孔相互啮合的弹簧提拉组件。本实用新型用于固定硅片沉积的新载板，由弹簧提拉弹片组件压住硅片四周，硅片由载板托起，使得被放置到由若干个纯金属的靶材等组成的腔室内工作的硅片就不会因载板的变形而受到影响，消除硅片与载板之间的间隙，改善硅片表面镀层质量，提高光电转换效率及生产良率。
【专利说明】
一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板
技术领域
[0001]本实用新型涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及制备HIT太阳能电池镀膜的载板。
【背景技术】
[0002]HIT太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，相对传统单/多晶硅电池，具有更高的发电效率，更好的稳定性和更低的成本。
[0003]透明导电氧化膜是HIT太阳能电池制备过程一道重要的工序，一般在板式PVD进行镀膜，而在PVD镀膜都要用到图1所示的载板，如图1所示在一整块金属板或非金属版上开槽和或孔制成大载板，在槽和或孔中放置硅片。然后将PVD中载板放置在如图2所示的基板上，并在若干个纯金属的靶材组成的腔室内工作，然后在硅片表面通过某种物理方式(如磁控溅射)镀上膜层。
[0004]由于载板较大，容易变形，使得硅片与载板之间产生间隙，导致放置在载板上的硅片无法完全接触到载板而产生缝隙，最终使硅片在镀膜层过程中部分等离子体穿过膜层而镀到硅片背面形成短路结构，导致一些成品硅片在受光产生电流条件下短路，严重影响太阳能电池的制备质量。
【实用新型内容】
[0005]针对上述问题，本实用新型提供了一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，用于固定硅片沉积的新载板，消除硅片与载板之间的间隙，改善硅片表面镀层质量，提高光电转换效率及生产良率。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是:一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，包括载板本体、设在载板本体四周的框架、设在载板本体上的螺纹孔、设在载板本体上的槽口、和螺纹孔相互啮合的弹簧提拉组件。
[0007]进一步的，所述载板本体为金属板或非金属板。
[0008]进一步的，所述弹簧提拉组件由螺丝、弹簧和弹片组成，所述螺丝和载板本体上的螺纹孔相啮合。
[0009]由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优占.V.
[0010]本实用新型一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，弹簧提拉弹片组件压住硅片四周，硅片由载板托起，使得被放置到由若干个纯金属的靶材等组成的腔室内工作的硅片就不会因载板的变形而受到影响，从而减少了硅片背光面的金属沉积，这对于稳定等离子体，提高HIT太阳能电池的制备质量，提高光电转换效率及生产良率有着重大意义。
【附图说明】
[0011]构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0012]图1为现有技术中的载板结构示意图。
[0013]图2为现有技术中的载板工作腔室结构示意图。
[0014]图3为本实用新型载板结构示意图。
[0015]图4为本实用新型安装弹簧提拉组件的载板结构示意图。
[0016]图5为本实用新型弹簧提拉组件的的结构示意图。
[0017]图6为本实用新型载板工作腔室结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0019]为了解决如图1和图2所述的载板过大，容易变形，使得硅片与载板之间产生间隙，导致放置在载板上的硅片无法完全接触到载板而产生缝隙，最终使硅片在镀膜层过程中部分等离子体穿过膜层而镀到硅片背面形成短路结构的现象，参考图3-4所示一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板的结构示意图，其包括载板本体1、设在载板本体I四周的框架2、设在载板本体I上的螺纹孔3、设在载板本体I上的槽口 4、和螺纹孔3相互啮合的弹簧提拉组件5，载板本体I为金属板或非金属板，弹簧提拉组件5由螺丝50、弹簧51和弹片52组成，所述螺丝50和载板本体I上的螺纹孔3相啮合，所述槽口 4为在框架2指定的位置用机械加工或蚀刻方式蚀刻出放置硅片的槽口 4。
[0020]先将预装好的弹簧提拉组件5安装到加工好的螺纹孔3位置上，此时可先将弹簧提拉组件5弹片的弹片52提至载板本体I未蚀刻区域，随后将硅片放置在槽口4中，最后将弹簧提拉弹片组件5的弹片52提至槽口 4压住硅片，这样硅片就被限制在由弹簧提拉组件5所形成的载板固定区域中；如图5-6所示，硅片由载板本体I托起，载板本体I放置在托板上6，并在若干个纯金属的靶材7等组成的腔室内工作，然后在硅片表面通过磁控溅射镀上膜层，硅片四周由弹簧提拉弹片组件5压住，所以放置到载板本体I的硅片就不会因载板本体I的变形而受到影响，从而改善了硅片表面镀层质量，且从实现自动化角度考虑更有利于硅片两面同时镀上膜层，这对于稳定等离子体，提高HIT太阳能电池的制备质量。
[0021]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，其特征在于:所述载板包括载板本体、设在载板本体四周的框架、设在载板本体上的螺纹孔、设在载板本体上的槽口、和螺纹孔相互啮合的弹簧提拉组件。2.根据权利要求1所述一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，其特征在于:所述载板本体为金属板或非金属板。3.根据权利要求1所述一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，其特征在于:所述弹簧提拉组件由螺丝、弹簧和弹片组成，所述螺丝和载板本体上的螺纹孔相啮合。
【文档编号】C23C14/56GK205443442SQ201620013453
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年1月7日
【发明人】倪鹏玉, 王树林, 杨与胜, 张明全
【申请人】钧石(中国)能源有限公司