一种太阳能电池表面镀膜工艺用反应腔腔体屏蔽门结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池片(包括薄膜太阳能电池)制造装备、等离子刻蚀、真空反应腔密闭技术领域，尤其是一种太阳能电池表面镀膜工艺用反应腔腔体屏蔽门结构。
【背景技术】
[0002]传统的反应腔腔体屏蔽门门板与墙壁贴合不紧密，反应室很难实现真空仓体，不利于太阳能电池表面镀膜；另外传统的不是弹性结构，门板密封没有自复位功能，上门板、下门板、转轴、门框表面易被腐蚀，门板的冷却效果差;导致寿命降低，增加生产成本。
【实用新型内容】
[0003]现有技术难以满足人们的需要，为了解决上述存在的问题，本实用新型提出了一种太阳能电池表面镀膜工艺用反应腔腔体屏蔽门结构。
[0004]为实现该技术目的，本实用新型采用的技术方案是:一种太阳能电池表面镀膜工艺用反应腔腔体屏蔽门结构，包括传动机构、翻转机构和密封转动机构；
[0005]所述传动机构包括气缸、第一连杆、第二连杆、第三连杆、第四连杆和轴销;所述气缸的推动杆与第四连杆连接，第四连杆的底端与第三连杆铰接，所述第三连杆的顶端通过轴销与第二连杆转动连接，所述第一连杆与第三连杆的顶端转动连接，第一连杆的右端与密封转动机构连接；
[0006]所述密封转动机构包括转轴、右传动轴套、右转动轴承座、旋转密封圈、张紧组合外套、张紧组合内套、通冷却水口、张紧组合环、旋转密封圈隔套、张紧组合摩擦盘、左座盖滑动轴套和端面密封压盖;所述右传动轴套套设在转轴的右端，所述右传动轴套设置在右转动轴承座内，在所述右转动轴承座内部右端设置有旋转密封圈和旋转密封圈隔套;所述张紧组合外套、张紧组合内套、张紧组合环和张紧组合摩擦盘套设在转轴上，并设置在右转动轴承座的右端;所述通冷却水口开设在转轴轴心位置的右端，转轴轴心处设置有管道;在转轴的左端设置有左座盖滑动轴套和端面密封压盖，所述左座盖滑动轴套套设在转轴的左端，所述端面密封压盖卡套在左座盖滑动轴套上；
[0007]所述翻转机构活动翻板连接模块、翻板进水模块、螺母、螺柱、垫圈、球面垫圈、锥面垫圈和蝶形弹簧;所述螺母的与螺柱的左端连接，所述螺柱连接活动翻板连接模块盖板与下门板;在螺柱的右端依次套设有球面垫圈、锥面垫圈、蝶形弹簧和垫圈；
[0008]所述传动机构与上门板连接，上门板通过翻转机构与下门板连接，所述上门板和下门板设置在门框内。
[0009]进一步，所述螺母、螺柱、垫圈、球面垫圈和锥面垫圈均采用不锈钢材质制成。
[0010]进一步，所述上门板、下门板、转轴和门框的表面均喷涂特氟龙或氧化铝涂层。
[0011]进一步，所述上门板和下门板内设置有冷却管道。
[0012]进一步，所述所述活动翻板连接模块有大小之分，在两个大的活动翻板连接模块之间设置有翻板进水模块，在两个大的活动翻板连接模块两侧连接有若干小翻板连接模块。
[0013]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:利用蝶形弹簧的伸缩性和大弹性系数让下门板与墙体壁贴合紧密，即使整个翻板系统有一些变形，蝶形弹簧相当于可伸长的压紧螺钉，恢复上门板对下门板的压紧；因为腔体内温度很高，通冷却水口，经过上门板和下门板的冷却管道，对上门板和下门板冷却;上门板、下门板、转轴、门框表面喷涂特氟龙或氧化铝涂层，防止腔体内高能粒子对屏蔽门的腐蚀;该太阳能电池表面镀膜工艺用反应腔腔体屏蔽门结构操作简单，实用性强，易于推广使用。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的气缸传动机构不意图；
[0015]图2为本实用新型的第二连杆结构示意图；
[0016]图3为本实用新型的活动翻板连接模块安装示意图；
[0017]图4为本实用新型的门板连接示意图；
[0018]图5为本实用新型的转轴连接示意图；
[0019]图6为本实用新型的翻转机构示意图；
[0020]图7为图5中A的局部放大图；
[0021 ] 附图标记中:1-气缸、11 -第一连杆、12-第二连杆、13-第三连杆、14_第四连杆、121-轴销、2-上门板、3-下门板、4-门框、5-活动翻板连接模块、51-翻板进水模块、52-螺母、53-螺柱、54-垫圈、55-球面垫圈、56-锥面垫圈、57-蝶形弹簧、6-转轴、61-右传动轴套、62-右转动轴承座、63-旋转密封圈、64-张紧组合外套、65-张紧组合内套、66-通冷却水口、67-张紧组合环、68-旋转密封圈隔套、69-张紧组合摩擦盘、610-左座盖滑动轴套、611-端面密封压盖。
【具体实施方式】
[0022]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0023]请参阅说明书附图1-7，在本实用新型实施例中，一种太阳能电池表面镀膜工艺用反应腔腔体屏蔽门结构，包括传动机构、翻转机构和密封转动机构；
[0024]所述传动机构包括气缸1、第一连杆11、第二连杆12、第三连杆13、第四连杆14和轴销121;所述气缸I的推动杆与第四连杆14连接，第四连杆14的底端与第三连杆13铰接，所述第三连杆13的顶端通过轴销121与第二连杆12转动连接，所述第一连杆11与第三连杆13的顶端转动连接，第一连杆11的右端与密封转动机构连接；
[0025]所述密封转动机构包括转轴6、右传动轴套61、右转动轴承座62、旋转密封圈63、张紧组合外套64、张紧组合内套65、通冷却水口 66、张紧组合环67、旋转密封圈隔套68、张紧组合摩擦盘69、左座盖滑动轴套610和端面密封压盖611;所述右传动轴套61套设在转轴6的右端，所述右传动轴套61设置在右转动轴承座62内，在所述右转动轴承座62内部右端设置有旋转密封圈63和旋转密封圈隔套68;所述张紧组合外套64、张紧组合内套65、张紧组合环67和张紧组合摩擦盘69套设在转轴6上，并设置在右转动轴承座62的右端;所述通冷却水口 66开设在转轴6轴心位置的右端，转轴6轴