板式pecvd用特气管路套环状出气孔的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池生产领域，尤其是一种涉及PECVD(等离子增强化学气相沉积)镀膜设备。
【背景技术】
[0002]目前太阳能电池镀膜设备平板PECVD，其镀膜原理为A与B气体从不同的管路的气孔中喷出来，进入真空腔体，利用微波管将气体等离子体化，进行反应，在硅片表面形成薄膜，如图1所示:
[0003]图1中，硅片1的下表面需要镀膜，微波管2位于硅片1下方；从A气体管路3和B气体管路4中分别喷出A气体和B气体，利用微波管2将气体等离子体化，形成A气体的等离子体和B气体的等离子体，然后在硅片1下表面形成薄膜5。在垂直于图1的纸面方向，A气体管路3和B气体管路4上均间隔分布有多个出气孔。A气体管路3和B气体管路4均称为特气管路。
[0004]而目前的腔体内的特气管路的喷淋孔(出气孔)直径只有1_左右，非常小，此种设计容易在孔上沉积反应生成物，导致出气孔逐渐堵塞，从而气体流量逐渐减少，最严重的结果为出气孔完全堵住，气体完全无法出来。堵孔处的镀膜厚度将大大降低，从而导致整道的膜厚不均匀度增大，产品质量降低，导致设备的维护周期大大缩短。
【发明内容】
[0005]针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种板式PECVD用特气管路套环状出气孔，能够解决板式PECVD中特气管路的出气孔堵孔问题。本实用新型采用的技术方案是:
[0006]—种板式PECVD用特气管路套环状出气孔，包括特气管路上设置的出气孔本体，其改进之处在于:
[0007]在出气孔本体周围设一套环，套环位于出气孔本体的外侧。
[0008]进一步地，套环与出气孔本体同圆心。
[0009]进一步地，套环的高度为4?7mm，内径为3?6mm，套环的壁厚为1?1.2mm。
[0010]更进一步地，套环的高度为5?6_，内径为4?5_。
[0011]进一步地，出气孔本体的直径为1?1.2mm。
[0012]本实用新型的优点在于:
[0013]1)可有效防止PECVD的特气管路出气孔堵塞；使得特气管道各处的镀膜厚度均匀。
[0014]2)结构简单，制作方便，套环选用不锈钢材质，使用寿命长，与特气管路焊接固定，对现有镀膜设备改造方便。
【附图说明】
[0015]图1为现有PECVD设备镀膜示意图。
[0016]图2为本实用新型的结构组成示意图。
[0017]图3为本实用新型的俯视示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0019]本实用新型提出的板式PECVD用特气管路套环状出气孔，如图2所示，包括特气管路上设置的出气孔本体10，所述出气孔本体10的直径优选为1?1.2mm ;
[0020]在出气孔本体10周围设一套环20，套环20可采用焊接方式固定在特气管路上，套环20位于出气孔本体10的外侧；套环20和特气管路通常都采用不锈钢材质。
[0021]套环20与出气孔本体10同圆心；套环20的高度优选为4?7mm，内径优选为3?6_，套环20的壁厚为1?1.2mm ;
[0022]在太阳能电池镀膜PECVD过程中，实验证明，当套环20的高度为5?6mm，内径为4?5mm时，防堵孔的效果最佳。
[0023]如图2所示，此套环20间接增大了出气孔口径，且套环20内为正压区，反应区域30在套环20上方，使得反应生成物沉积在套环20周围，而不会沉积在套环20内的出气孔本体10处，从而防止堵孔。
[0024]采用本实用新型后，太阳能电池镀膜的膜厚均匀性优，且稳定。镀膜设备的维护时间大大延长，维护周期从原来的3?4天延迟到8天以上。
【主权项】
1.一种板式PECVD用特气管路套环状出气孔，包括特气管路上设置的出气孔本体(10)，其特征在于: 在出气孔本体(10)周围设一套环(20)，套环(20)位于出气孔本体(10)的外侧。2.如权利要求1所述的板式PECVD用特气管路套环状出气孔，其特征在于: 套环(20)与出气孔本体(10)同圆心。3.如权利要求1所述的板式PECVD用特气管路套环状出气孔，其特征在于: 套环(20)的高度为4?7mm，内径为3?6mm，套环(20)的壁厚为1?1.2mm。4.如权利要求3所述的板式PECVD用特气管路套环状出气孔，其特征在于: 套环(20)的高度为5?6_，内径为4?5_。5.如权利要求1所述的板式PECVD用特气管路套环状出气孔，其特征在于: 出气孔本体(10)的直径为1?1.2mm。
【专利摘要】本实用新型提供一种板式PECVD用特气管路套环状出气孔，包括特气管路上设置的出气孔本体，其改进之处在于：在出气孔本体周围设一套环，套环位于出气孔本体的外侧。进一步地，套环与出气孔本体同圆心。进一步地，套环的高度为4～7mm，内径为3～6mm，套环的壁厚为1～1.2mm。更进一步地，套环的高度为5～6mm，内径为4～5mm。进一步地，出气孔本体的直径为1～1.2mm。本实用新型的优点在于：可有效防止PECVD的特气管路出气孔堵塞；使得特气管道各处的镀膜厚度均匀。
【IPC分类】C23C16/511, C23C16/513, C23C16/517, C23C16/455
【公开号】CN205011835
【申请号】CN201520776934
【发明人】鲁科, 乔琦, 陆红艳, 黄海涛, 陈如龙
【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年10月8日