技术编号：10817927
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。绝缘联轴器主要负责真空镀膜设备中靶材旋转的动力传动、冷却水的传递以及阴极和其他部件的绝缘。绝缘联轴器在设备整个真空镀膜的过程中，对设备的稳定性和产品的质量起了非常关键的作用。传统的绝缘联轴器在功能上满足了动力传动，冷却水的传递以及阴极和其它部件的绝缘。但随着长时间电弧放电真空镀膜，真空腔体内的剥落小碎片逐渐掉落，导致绝缘联轴器两端产生部分短路或完全短路。然而，阴极和其它部件部分或完全短路，导致设备无法正常工作。如果没有及时发现，一方面所有镀膜产品报废，另一...
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