一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，包括本体，所述本体顶部设有靶座连接凸台，本体底部设有用于连接水冷转轴安装盘的安装凹槽，所述安装凹槽侧壁设有卡口，所述本体和凸台设有贯通的通孔。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型绝缘联轴器结构，工作性能稳定，合理解决了设备维修周期过短的问题，大幅度提高了镀膜生产效率及镀膜质量。
【专利说明】
一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，属于机械领域。
【背景技术】
[0002]绝缘联轴器主要负责真空镀膜设备中靶材旋转的动力传动、冷却水的传递以及阴极和其他部件的绝缘。绝缘联轴器在设备整个真空镀膜的过程中，对设备的稳定性和产品的质量起了非常关键的作用。
[0003]传统的绝缘联轴器在功能上满足了动力传动，冷却水的传递以及阴极和其它部件的绝缘。但随着长时间电弧放电真空镀膜，真空腔体内的剥落小碎片逐渐掉落，导致绝缘联轴器两端产生部分短路或完全短路。然而，阴极和其它部件部分或完全短路，导致设备无法正常工作。如果没有及时发现，一方面所有镀膜产品报废，另一方面，靶座、绝缘联轴器和水冷转轴会被烧毁，导致严重设备故障。为此，设备需要频繁停机检查及清理清洁，不适宜长时间连续的工业生产。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构。
[0005]本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，其特征在于:包括本体，所述本体顶部设有靶座连接凸台，本体底部设有用于连接水冷转轴安装盘的安装凹槽，所述安装凹槽侧壁设有卡口，所述本体和凸台设有贯通的通孔。
[0006]本实用新型的设计及工作原理:本实用新型采用高强度绝缘材料制成新型绝缘联轴器，将其与不锈钢水冷转轴连接处，增加一定深度的空腔，装配时绝缘的联轴器将不锈钢水冷转轴安装盘彻底盖住。从而在长时间真空镀膜时，保证真空腔体内的剥落小碎片掉落到靶材转轴与阴极的缝隙间时，不会导致短路发生，大幅延长了镀膜设备的维修周期，显著降低了设备的故障率。
[0007]本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型绝缘联轴器结构，工作性能稳定，合理解决了设备维修周期过短的问题，大幅度提高了镀膜生产效率及镀膜质量。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型的结构示意图。
[0009]图2是本实用新型与水冷转轴的连接结构示意图。
[0010]图3是本实用新型安装在真空镀膜设备的内部结构示意图。
[0011 ]图4是本实用新型安装在真空镀膜设备的外部立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本实用新型进一步详述。
[0013]如图1、图2所示，一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，包括本体I，所述本体I顶部设有靶座连接凸台2，本体I底部设有用于连接水冷转轴安装盘9的安装凹槽3，所述安装凹槽3侧壁设有卡口 4，所述本体I和凸台2设有贯通的通孔5。
[0014]如图3、图4所示，装配时，本实用新型的绝缘联轴器顶部与靶座6连接，靶座连接靶材7，本实用新型的绝缘联轴器底部连接水冷转轴8，水冷转轴8插入通孔5中，且水冷转轴8上的安装盘9恰好嵌入本实用新型绝缘联轴器底部的安装凹槽3中，同时，水冷转轴8上设有真空贯穿件10和同步带轮11，水冷转轴8末端连接旋转式供水装置12。
[0015]本实用新型的设计及工作原理:本实用新型采用高强度绝缘材料制成新型绝缘联轴器，将其与不锈钢水冷转轴连接处，增加一定深度的空腔，装配时绝缘的联轴器将不锈钢水冷转轴安装盘彻底盖住。从而在长时间真空镀膜时，保证真空腔体内的剥落小碎片掉落到靶材转轴与阴极的缝隙间时，不会导致短路发生，大幅延长了镀膜设备的维修周期，显著降低了设备的故障率。
[0016]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，其特征在于:包括本体，所述本体顶部设有靶座连接凸台，本体底部设有用于连接水冷转轴安装盘的安装凹槽，所述安装凹槽侧壁设有卡口，所述本体和凸台设有贯通的通孔。
【文档编号】C23C14/24GK205501399SQ201521114328
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2015年12月29日
【发明人】黄裕祥
【申请人】广东耐信镀膜科技有限公司